一种芯片点测机制造技术
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种点测机，更具体的说，涉及一种应用于集成电路，LED 晶圆，二极管晶圆等半导体电性测试的点测机。
技术介绍
在现有技术中，芯片点测机是半导体制造工艺当中的一个不可或缺的工序，近年来，随着光电、半导体产业的迅猛发展，高集成和高性能的半导体芯片需求也越来越大，在芯片大批量生产中，往往在一片芯片同时制作成百上千个芯片，通过点测机进行芯片晶圆切割后的电性测试。当前的测试设备在测试过程中存在着效率低，难于适应大批量生产的技术缺陷，成为本领域技术人员急待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的技术目的是克服现有技术中，芯片点测机存在着测试效率低而对于适应大批量生产中的测试的技术问题。提供一种测试定位精准，测试结构可靠稳定的芯片点测机。为实现以上技术目的，本技术的技术方案是一种芯片点测机，包括有一基座，所述基座上设有XYZ精密定位工作台，XYZ精密定位工作台上方设有一安装板；所述XYZ精密定位工作台上滑动有调整滑块，所述调整滑块上设有芯片检测座，所述芯片检测座上方设有一显微镜，所述芯片检测座上方设有积分球组件，在所述芯片检测座上外周，设有寻边探针模组。更进一步的，所述寻边探针模组为4组。在所述芯片检测座上设有微孔吸盘，所述微孔吸盘上方设有积分球组件。本技术通过XYZ轴滑轨，调整了最上方滑块位置，进而调节了芯片检测座的3维座标。本技术的有益技术效果是：使用方便，设备的利用率高，降低了生产成本，生产效率高，故障率低等优点。附图说明图1是本技术一个实施例的结构示意图。具体实施方式结合图1，详细说明本技术的具体实施方式，但不对权利要求作任何限定。在图1中，本技术的一种...
【技术保护点】
一种芯片点测机，包括有一基座，其特征是：所述基座上设有XYZ精密定位工作台，XYZ精密定位工作台上方设有一安装板；所述XYZ精密定位工作台上滑动有调整滑块，所述调整滑块上设有芯片检测座，所述芯片检测座上方设有一显微镜，所述芯片检测座上方设有积分球组件，在所述芯片检测座上外周，设有寻边探针模组。
【技术特征摘要】
1.一种芯片点测机，包括有一基座，其特征是：所述基座上设有XYZ精密定位工作台，XYZ精密定位工作台上方设有一安装板；所述XYZ精密定位工作台上滑动有调整滑块，所述调整滑块上设有芯片检测座，所述芯片检测座上方设有一显微镜，所述芯片检测座上方设...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓朝旭，
申请(专利权)人：深圳市朝阳光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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