一种固晶焊头组合机构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种固晶焊头组合机构，属于芯片加工技术领域，包括晶圆焊头机构、摆臂机构以及摆臂组件，所述晶圆焊头机构包括电机以及设置在所述电机输出端的连杆，所述摆臂组件包括Z轴活动座、Z轴、滑块以及导轨，所述Z轴活动座与所述连杆相连，所述Z轴安装在所述Z轴活动座一侧，所述导轨安装在所述Z轴活动座一侧，所述滑块与所述导轨滑动配合，所述摆臂机构包括基座、摆臂连接座以及摆臂，所述基座安装在所述Z轴一侧，所述摆臂连接座安装在所述基座一侧，所述摆臂设置在所述摆臂连接座远离所述基座的一端。本实用新型专利技术实施例相较于现有技术，能够实现晶圆芯片的自动吸取和搬运操作，具有晶圆芯片搬运效果好以及搬运效率高的优点。优点。优点。

【技术实现步骤摘要】
一种固晶焊头组合机构


[0001]本技术属于芯片加工
，具体是一种固晶焊头组合机构。

技术介绍

[0002]目前，半导体晶圆芯片的加工包括：从晶体上将半导体晶圆切割下来，接下来是许多连续的去除材料的加工步骤。
[0003]在晶圆芯片从一个加工工位转移至另一个加工工位时往往需要借助人工搬运，人工搬运较为耗时耗力，搬运效率较为低下，亟需改进。

技术实现思路

[0004]针对上述现有技术的不足，本技术实施例要解决的技术问题是提供一种固晶焊头组合机构。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供了如下技术方案：
[0006]一种固晶焊头组合机构，包括晶圆焊头机构、摆臂机构以及摆臂组件，
[0007]所述晶圆焊头机构包括电机以及设置在所述电机输出端的连杆，
[0008]所述摆臂组件包括Z轴活动座、Z轴、滑块以及导轨，所述Z轴活动座与所述连杆相连，所述Z轴安装在所述Z轴活动座一侧，所述导轨安装在所述Z轴活动座一侧，所述滑块与所述导轨滑动配合，
[0009]所述摆臂机构包括基座、摆臂连接座以及摆臂，所述基座安装在所述Z轴一侧，所述摆臂连接座安装在所述基座一侧，所述摆臂设置在所述摆臂连接座远离所述基座的一端。
[0010]作为本技术进一步的改进方案：所述Z轴活动座一侧还设置有导轨固定座以及导轨活动座，
[0011]所述导轨固定设置在所述导轨固定座一侧，所述导轨活动座与所述Z轴活动座通过锁紧螺母相连。
[0012]作为本技术进一步的改进方案：所述连杆与所述Z轴活动座之间通过轴承转动配合，所述轴承一端设置有轴承端盖板，
[0013]所述连杆外部还设置有偏心轴和马达抱扣，所述偏心轴和马达抱扣外部设置有马达座，所述电机固定安装在所述马达座一侧，
[0014]所述马达座侧壁还设置有Z旗、菱形销、定位销以及光耦，所述光耦一侧还设置有R传感器片。
[0015]作为本技术进一步的改进方案：所述基座一侧还设置有步进电机，
[0016]所述步进电机输出端与Z轴活动座、R轴夹板、交叉导轨以及Z轴相连。
[0017]作为本技术再进一步的改进方案：所述Z轴活动座一侧还通过轴承连接有Z轴承压板。
[0018]作为本技术再进一步的改进方案：所述步进电机外部设置有散热片固定座，
所述散热片固定座外部设置有散热片。
[0019]作为本技术再进一步的改进方案：所述基座与所述摆臂之间通过内六角顶丝相连，所述基座一侧还通过平头螺丝连接有弹簧座，
[0020]所述弹簧座一侧依次设置有杯头螺丝、弹簧、弹弓座、螺母以及六角螺母，所述基座与所述摆臂之间设有下接触点。
[0021]作为本技术再进一步的改进方案：所述平头螺丝与所述弹簧座之间还设置有平垫以及弹垫，所述摆臂一侧还设置有平头十字螺丝，另一侧还设置有弹片和弹片压板，所述摆臂远离所述基座的一端还通过六角螺母连接有吸嘴。
[0022]作为本技术再进一步的改进方案：所述吸嘴为钨钢吸嘴。
[0023]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0024]本技术实施例中，通过电机带动连杆转动，进而带动Z轴摆动，Z轴摆动时可带动基座、摆臂连接座以及摆臂进行一定角度的摆动，同时通过滑块与导轨的滑动配合，使得基座、摆臂连接座以及摆臂进行一定距离的上下移动，相较于现有技术，能够实现晶圆芯片的自动吸取和搬运操作，具有晶圆芯片搬运效果好以及搬运效率高的优点。
附图说明
[0025]图1为本技术的结构示意图；
[0026]图2为本技术中晶圆焊头机构的结构示意图；
[0027]图3为本技术中摆臂组件的结构示意图；
[0028]图4为本技术中摆臂机构的结构示意图。
具体实施方式
[0029]下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
[0030]下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。
[0031]请参阅图1
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4，本实施例提供了一种固晶焊头组合机构，包括晶圆焊头机构100、摆臂机构200以及摆臂组件300，所述晶圆焊头机构100包括电机29以及设置在所述电机29输出端的连杆2，所述摆臂组件300包括Z轴活动座7、Z轴9、滑块25以及导轨24，所述Z轴活动座7与所述连杆2相连，所述Z轴安装在所述Z轴活动座7一侧，所述导轨24安装在所述Z轴活动座7一侧，所述滑块25与所述导轨24滑动配合，所述摆臂机构200包括基座1、摆臂连接座31以及摆臂32，所述基座1安装在所述Z轴9一侧，所述摆臂连接座31安装在所述基座1一侧，所述摆臂32设置在所述摆臂连接座31远离所述基座1的一端。
[0032]通过电机29带动连杆2转动，进而带动Z轴9摆动，Z轴9摆动时可带动基座1、摆臂连接座31以及摆臂32进行一定角度的摆动，同时通过滑块25与导轨24的滑动配合，使得基座1、摆臂连接座31以及摆臂32进行一定距离的上下移动。
[0033]在一个实施例中，所述Z轴活动座7一侧还设置有导轨固定座4以及导轨活动座5，所述导轨24固定设置在所述导轨固定座4一侧，所述导轨活动座5与所述Z轴活动座7通过锁紧螺母6相连。
[0034]在一个实施例中，所述连杆2与所述Z轴活动座7之间通过轴承26转动配合，所述轴承26一端设置有轴承端盖板3，所述连杆2外部还设置有偏心轴12和马达抱扣13，所述偏心轴12和马达抱扣13外部设置有马达座14，所述电机29固定安装在所述马达座14一侧，所述马达座14侧壁还设置有Z旗10、菱形销21、定位销22以及光耦27/28，所述光耦28一侧还设置有R传感器片18。
[0035]在一个实施例中，所述基座1一侧还设置有步进电机30，所述步进电机30输出端与Z轴活动座7、R轴夹板16、交叉导轨8以及Z轴9相连。
[0036]步进电机30可通过Z轴活动座7、R轴夹板16以及交叉导轨8带动Z轴9摆动。
[0037]在一个实施例中，所述Z轴活动座7一侧还通过轴承26连接有Z轴承压板27。
[0038]在一个实施例中，所述步进电机30外部设置有散热片固定座20，所述散热片固定座20外部设置有散热片19，通过散热片19的设置，可对步进电机30工作时产生的热量散出。
[0039]在一个实施例中，所述基座31与所述摆臂32之间通过内六角顶丝41相连，所述基座31一侧还通过平头螺丝45连接有弹簧座33，所述弹簧座33一侧依次设置有杯头螺丝43、弹簧36、弹弓座37、螺母38以及六角螺母42，所述基座1与所述摆臂2之间设有下接触点39。
[0040]通过螺母38以及六角螺母42的设置可实现摆臂上下高度的调本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固晶焊头组合机构，其特征在于，包括晶圆焊头机构、摆臂机构以及摆臂组件，所述晶圆焊头机构包括电机以及设置在所述电机输出端的连杆，所述摆臂组件包括Z轴活动座、Z轴、滑块以及导轨，所述Z轴活动座与所述连杆相连，所述Z轴安装在所述Z轴活动座一侧，所述导轨安装在所述Z轴活动座一侧，所述滑块与所述导轨滑动配合，所述摆臂机构包括基座、摆臂连接座以及摆臂，所述基座安装在所述Z轴一侧，所述摆臂连接座安装在所述基座一侧，所述摆臂设置在所述摆臂连接座远离所述基座的一端。2.根据权利要求1所述的一种固晶焊头组合机构，其特征在于，所述Z轴活动座一侧还设置有导轨固定座以及导轨活动座，所述导轨固定设置在所述导轨固定座一侧，所述导轨活动座与所述Z轴活动座通过锁紧螺母相连。3.根据权利要求1所述的一种固晶焊头组合机构，其特征在于，所述连杆与所述Z轴活动座之间通过轴承转动配合，所述轴承一端设置有轴承端盖板，所述连杆外部还设置有偏心轴和马达抱扣，所述偏心轴和马达抱扣外部设置有马达座，所述电机固定安装在所述马达座一侧，所述马达座侧壁还设置有Z旗、菱形销、定位销以及光耦，所述光耦一...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓朝旭，
申请(专利权)人：深圳市朝阳光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：