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本实用新型提供了一种固晶焊头组合机构，属于芯片加工技术领域，包括晶圆焊头机构、摆臂机构以及摆臂组件，所述晶圆焊头机构包括电机以及设置在所述电机输出端的连杆，所述摆臂组件包括Z轴活动座、Z轴、滑块以及导轨，所述Z轴活动座与所述连杆相连，所述Z...
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