一种换环组合机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种换环组合机构，涉及晶圆加工技术领域，包括上下换环机构和旋转换环机构，上下换环机构包括Z方向座，Z方向座上固定安装有导轨，导轨的内部设置有滑块，滑块的外部固定安装有料架，Z方向座与料架之间安装有升降驱动器，该升降驱动器驱动料架上下运动，料架用于存放晶圆，旋转换环机构包括固定座，固定座的一侧固定连接有连接板，连接板与Z方向座固定连接。本实用新型专利技术通过将多个晶圆存放至各个载料板之间，驱动料架的升降，使料架中的晶圆逐渐与夹爪座对接，再控制旋转座旋转，带动夹爪座靠近料架使夹爪与料架中的晶圆对接，实现晶圆盘的搬运，且设备操作简单，转运效率高，适配更广。适配更广。适配更广。

【技术实现步骤摘要】
一种换环组合机构


[0001]本技术涉及晶圆加工
，具体涉及一种换环组合机构。

技术介绍

[0002]晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。晶圆制造厂再把此多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”。硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料——硅晶圆片，这就是“晶圆”[0003]在固晶加工工作中，经常需要进行晶圆盘上料盘、下料盘操作，而现有的操作技术多需要人工进行，导致操作效率低、耽误时间。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种换环组合机构，以解决现有技术中的上述不足之处。
[0005]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种换环组合机构，包括上下换环机构和旋转换环机构，上下换环机构包括Z方向座，Z方向座上固定安装有导轨，导轨的内部设置有滑块，滑块的外部固定安装有料架，Z方向座与料架之间安装有升降驱动器，该升降驱动器驱动料架上下运动，料架用于存放晶圆，旋转换环机构包括固定座，固定座的一侧固定连接有连接板，连接板与Z方向座固定连接，固定座的顶端固定连接有旋转基座，固定座的外侧设置有旋转座，旋转座通过转轴与旋转基座转动连接，旋转基座与旋转座之间设置有旋转驱动器，该旋转驱动器驱动旋转座左右旋转，即靠近料架和远离料架，旋转座的底部设置有夹爪座，夹爪座上设置有夹爪，夹爪通过第一气缸与夹爪座连接，夹爪座通过第二气缸与旋转座连接，进而可以通过第一气缸控制夹爪开合对晶圆进行夹持，利用第二气缸控制夹爪座进行升降，以更好的驱动夹爪对准料架上的晶圆。
[0006]优选的，料架包括多组载料板，且各载料板通过晶圆挡杆固定连接，晶圆挡杆设置在载料板的边缘，并贯穿各个载料板，进而使各个载料板之间形成存储空间，将多个晶圆存放至各个载料板之间，利用晶圆挡杆作为阻挡限位，使晶圆稳定存放。
[0007]优选的，升降驱动器包括第一步进电机，第一步进电机固定安装在Z方向座上，第一步进电机的输出轴端固定连接有丝杆，丝杆转动安装在导轨的内部，且丝杆贯穿滑块，并与滑块螺纹配合，进而利用第一步进电机驱动丝杆转动，即可实现对料架的升降控制。
[0008]优选的，料架的外部设置有活动挡杆，活动挡杆的顶端固定连接有转杆，转杆的一端通过旋转气缸与顶部的载料板转动连接，活动挡杆的底端固定连接有连杆，连杆与底部的载料板转动连接，进而利用旋转气缸控制转杆旋转，即可改变活动挡杆在载料板外围的位置，从而控制活动挡杆运动，使其与晶圆挡杆共同对晶圆进行限位时，晶圆即无法取出，
实现对晶圆的稳定存放，而当需要取晶圆时，控制活动挡杆移走即可，且位于顶部的载料板上固定安装有用于限制转杆的转动区域的阻挡环。
[0009]优选的，旋转驱动器包括第二步进电机，第二步进电机固定安装在旋转基座的内部，第二步进电机的输出轴端通过皮带组件与旋转座内部的转轴传动配合，从而利用第二步进电机控制旋转座的旋转。
[0010]优选的，固定座与料架之间设置有光电传感器组，该光电传感器组用于识别料架中晶圆与转杆的对接。
[0011]在上述技术方案中，本技术提供的技术效果和优点：
[0012]本技术通过将多个晶圆存放至各个载料板之间，驱动料架的升降，使料架中的晶圆逐渐与夹爪座对接，再控制旋转座旋转，带动夹爪座靠近料架使夹爪与料架中的晶圆对接，再利用第一气缸控制夹爪开合对晶圆进行夹持，而后再驱动旋转座旋转离开，靠近其他设备，并利用第二气缸控制夹爪座进行升降，对取出的晶圆进行调位，实现晶圆盘从换环组合至T环工作台、T环工作台至换环组合间的搬运，且设备操作简单，转运效率高，适配更广。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1为本技术的整体结构示意图。
[0015]图2为本技术上下换环机构的整体结构示意图。
[0016]图3为本技术旋转换环机构的整体结构示意图。
[0017]附图标记说明：
[0018]1、Z方向座；2、导轨；3、料架；31、载料板；32、晶圆挡杆；33、旋转气缸；34、阻挡环；4、第一步进电机；41、丝杆；5、转杆；51、活动挡杆；52、连杆；6、固定座；61、连接板；62、旋转基座；63、第二步进电机；64、皮带组件；7、旋转座；71、第二气缸；8、夹爪座；81、夹爪；82、第一气缸；9、光电传感器组；
[0019]a、晶圆。
具体实施方式
[0020]为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面将结合附图对本技术作进一步的详细介绍。
[0021]实施例1
[0022]本技术提供了如图1
‑
3所示的一种换环组合机构，包括上下换环机构和旋转换环机构，上下换环机构包括Z方向座1，Z方向座1上固定安装有导轨2，导轨2的内部设置有滑块，滑块的外部固定安装有料架3，Z方向座1与料架3之间安装有升降驱动器，该升降驱动器驱动料架3上下运动，料架3用于存放晶圆a，旋转换环机构包括固定座6，固定座6的一侧固定连接有连接板61，连接板61与Z方向座1固定连接，固定座6的顶端固定连接有旋转基座62，固定座6的外侧设置有旋转座7，旋转座7通过转轴与旋转基座62转动连接，旋转基座62
与旋转座7之间设置有旋转驱动器，该旋转驱动器驱动旋转座7左右旋转，即靠近料架3和远离料架3，旋转座7的底部设置有夹爪座8，夹爪座8上设置有夹爪81，夹爪81通过第一气缸82与夹爪座8连接，夹爪座8通过第二气缸71与旋转座7连接，进而可以通过第一气缸82控制夹爪81开合对晶圆a进行夹持，利用第二气缸71控制夹爪座8进行升降，以更好的驱动夹爪81对准料架3上的晶圆a。
[0023]进一步的，在上述技术方案中，料架3包括多组载料板31，且各载料板31通过晶圆挡杆32固定连接，晶圆挡杆32设置在载料板31的边缘，并贯穿各个载料板31，进而使各个载料板31之间形成存储空间，将多个晶圆a存放至各个载料板31之间，利用晶圆挡杆32作为阻挡限位，使晶圆稳定存放。
[0024]进一步的，在上述技术方案中，升降驱动器包括第一步进电机4，第一步进电机4固定安装在Z方向座1上，第一步进电机4的输出轴端固定连接有丝杆41，丝杆41转动安装在导轨2的内部，且丝杆41贯穿滑块，并与滑块螺纹配合，进而利用第一步进电机4驱动丝杆41转动，即可实现对料架3的升降控制。
[0025]进一步的，在上述技术方案中，料架本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种换环组合机构，包括上下换环机构和旋转换环机构，其特征在于：所述上下换环机构包括Z方向座(1)，所述Z方向座(1)上固定安装有导轨(2)，所述导轨(2)的内部设置有滑块，所述滑块的外部固定安装有料架(3)，所述Z方向座(1)与料架(3)之间安装有升降驱动器，所述旋转换环机构包括固定座(6)，所述固定座(6)的一侧固定连接有连接板(61)，所述连接板(61)与Z方向座(1)固定连接，所述固定座(6)的顶端固定连接有旋转基座(62)，所述固定座(6)的外侧设置有旋转座(7)，所述旋转座(7)通过转轴与旋转基座(62)转动连接，所述旋转基座(62)与旋转座(7)之间设置有旋转驱动器，所述旋转座(7)的底部设置有夹爪座(8)，所述夹爪座(8)上设置有夹爪(81)，所述夹爪(81)通过第一气缸(82)与夹爪座(8)连接，所述夹爪座(8)通过第二气缸(71)与旋转座(7)连接。2.根据权利要求1所述的一种换环组合机构，其特征在于：所述料架(3)包括多组载料板(31)，且各载料板(31)通过晶圆挡杆(32)固定连接，所述晶圆挡杆(32)设置在载料板(31)的边缘，并贯穿各个载料板(31)。3.根据权利要求1所述的一种换...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓朝旭，
申请(专利权)人：深圳市朝阳光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：