流体收集装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种流体收集装置，包括基板载台、收集单元以及驱动组件。基板载台用于固定及旋转基板，收集单元则围绕基板载台以收集来自基板的流体。驱动组件连接且用于升降收集单元，其中驱动组件包括传动轴、连接传动轴的动力件以及第一升降支撑件连接传动轴与收集单元，其中传动轴具有长轴，而动力件用以驱动传动轴绕着长轴旋转，其中传动轴绕着长轴的旋转驱动第一升降支撑件升降收集单元。

Fluid collection device

【技术实现步骤摘要】
流体收集装置
本专利技术涉及一种可应用于湿工艺的设备，尤其涉及一种能收集使用后的流体的装置。
技术介绍
现今使用于半导体湿工艺的设备，例如蚀刻设备与清洗设备，通常具有废液收集装置，以回收使用过后的蚀刻液与清洗液。目前有的湿工艺设备还具有可旋转的载台，而废液收集装置包括收集环。基板，例如晶圆(wafer)，可固定在上述载台上，并随着载台的旋转而旋转。收集环可以垂直升降，以使收集环能围绕载台。如此，旋转中的载台能产生离心力，以使基板与载台上的液体(例如蚀刻液与清洗液)能被甩到收集环中。此外，单一个收集环通常会连接两个动力源，例如气压缸或马达。也就是说，单一个收集环的升降通常是由两个动力源来控制。
技术实现思路
本专利技术提供一种流体收集装置，其具有传动轴以及用来收集流体的收集单元，而流体收集装置是利用传动轴的旋转来升降收集单元。本专利技术所提供的流体收集装置包括基板载台、收集单元以及驱动组件。基板载台用于固定及旋转基板，而收集单元则围绕基板载台以收集来自基板的流体。驱动组件连接并用于升降收集单元，其中驱动组件包括传动轴、连接传动轴的动力件以及连接传动轴与收集单元的第一升降支撑件。传动轴具有长轴，而动力件用以驱动传动轴绕着长轴旋转，其中传动轴绕着长轴的旋转驱动第一升降支撑件升降收集单元。在本专利技术的一实施例中，上述的驱动组件更包括第二升降支撑件。第一升降支撑件与第二升降支撑件分别设置于传动轴的两端部，且皆连接于收集单元。在本专利技术的一实施例中，流体收集装置更包括多个收集单元与多个驱动组件，其中多个驱动组件分别连接多个收集单元，而各驱动组件驱动其所连接的收集单元升降，以使多个收集单元个别地升降。驱动组件的数量等于收集单元的数量。在本专利技术的一实施例中，这些驱动组件的多个传动轴彼此并列。在本专利技术的一实施例中，各个收集单元的形状为环形，且这些收集单元呈同心圆排列。这些驱动组件还包括多个传动轴、多个第一升降支撑件与多个第二升降支撑件，其中这些传动轴具有彼此不同的长度，且其中一个第一升降支撑件与其中一个第二升降支撑件分别设置于同一个传动轴的两端部。在本专利技术的一实施例中，上述的传动轴水平设置于基板载台的下方。在本专利技术的一实施例中，上述第一升降支撑件包括垂直升降杆以及连杆。垂直升降杆的两端分别连接于收集单元的底部与连杆一端，而连杆的另一端固定设置于传动轴，以使绕着长轴而旋转的传动轴转动连杆，而转动的连杆驱动垂直升降杆升降收集单元。在本专利技术的一实施例中，上述的动力件与第一升降支撑件彼此分离，并且分别固定设置于传动轴的不同位置。在本专利技术的一实施例中，上述的动力件设置于基板载台的下方以及基板载台的周边。在本专利技术的一实施例中，上述的动力件水平设置于基板载台的下方。本专利技术收集单元的升降是由单一的动力件驱动传动轴以及第一降支撑件达成，因此收集单元可具有同步的升降动力。利用动力件的驱动，传动轴能绕着其长轴而旋转，并且能同时驱动第一升降支撑件来升降收集单元。由此可知，利用以上传动轴，流体收集装置可以只要用一个动力件来驱动一个收集单元。相较于现有的废液收集装置，本专利技术的流体收集装置可用较少数量的动力件来升降所有收集单元，所以本专利技术能帮助减少装设动力件的数量，以降低装设动力件的成本。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的特征和优点能够更明显易懂，以下特举实施例，并配合附图,详细说明如下。附图说明图1A显示本专利技术一实施例的流体收集装置的剖面示意图。图1B显示图1A中的流体收集装置的立体示意图。图1C至图1D显示图1A中的流体收集装置在运作时的侧视示意图。图2A显示本专利技术另一实施例的流体收集装置的局部剖面示意图。图2B显示图2A中的流体收集装置的局部立体示意图。具体实施方式图1A显示本专利技术一实施例的流体收集装置的剖面示意图。请参阅图1A，流体收集装置100包括基板载台102，其中基板载台102可供基板5置放，而基板5可为晶圆(wafer)，例如是用以制作积体电路或太阳能板的硅晶圆或用以制作发光二极管的蓝宝石或砷化镓晶圆。或者，基板5也可为用以制作液晶显示器的玻璃基板。基板载台102能固定并旋转基板5，其中基板载台102可用静电吸附、真空吸附或机构接触的方式来固定基板5。以图1A为例，基板载台102可包括承载部102a与转轴102b，其中转轴102b连接于承载部102a，而基板5可放置于承载部102a上。转轴102b可连接于旋转机构(未绘示)，其可具有马达与传动组件(transmission)，其中传动组件例如可包括齿轮、链条、皮带与滑轮其中至少一种。当马达运转时，马达所产生的机械能可经由传动组件传递至转轴102b，以使转轴102b旋转。如此，旋转的转轴102b能带动承载部102a旋转，进而旋转基板5。流体收集装置100可应用于蚀刻或清洗机台(未绘示)，其中此蚀刻机台与清洗机台可包含流体供应装置(未绘示)，而此流体供应装置可具有喷嘴(nozzle)。喷嘴可设置于基板载台102的上方，以使从喷嘴而来的流体(例如蚀刻液或清洗液)能流到基板5的上表面，以进行湿蚀刻程序或清洗程序。由于基板载台102能旋转基板5，而旋转中的基板5能产生离心力，因此位于基板5与基板载台102的流体会受到上述离心力的驱使而往外甩出。图1B显示图1A中的流体收集装置的立体示意图，其中图1A是图1B中沿着线1B-1B剖面所绘制的剖面示意图。请参阅图1A与图1B，流体收集装置100还包括收集单元104，其中收集单元104的形状可为环形，且收集单元104围绕基板载台102。例如，收集单元104的形状可以相同或相似于轮胎的形状。当基板5旋转时，从基板5与基板载台102而来的流体会被甩入至收集单元104。如此，收集单元104可用于收集来自于基板载台102与基板5的流体。流体收集装置100还包括驱动组件106，其中驱动组件106连接收集单元104，并能升降收集单元104。具体而言，驱动组件106包括传动轴101以及连接传动轴101的动力件103。传动轴101具有长轴101a，并可水平设置于基板载台102的下方。所以，传动轴101的长轴101a实质上是沿着水平面而延伸。动力件103能驱动传动轴101绕着长轴101a而旋转，让传动轴101沿着长轴101a而自转(spin)。具体而言，动力件103可包括动力源103c与曲柄105，其中动力源103c枢接曲柄105，以使曲柄105能相对于动力源103c旋转。在图1A与图1B所示的实施例中，动力源103c可为气压缸，并包括缸体103b与插设于缸体103b的推杆103a，其中推杆103a的末端枢接于曲柄105，所以曲柄105能相对于推杆103a旋转。曲柄105的一端枢接于推杆103a，但曲柄105的另一端却是固定设置于传动轴101。因此，当曲柄105绕着长轴101a而旋转时，传动轴101也会绕着长轴本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体收集装置，其特征在于，包括：/n一基板载台，用于固定及旋转一基板；/n一收集单元，围绕所述基板载台，并用以收集从所述基板而来的流体；以及/n一驱动组件，连接所述收集单元，并用于升降所述收集单元，其中所述驱动组件包括：/n一传动轴，具有一长轴；/n一动力件，连接所述传动轴，并用以驱动所述传动轴绕着所述长轴而旋转；以及/n一第一升降支撑件，连接所述传动轴与所述收集单元，其中所述传动轴绕着所述长轴的旋转驱动所述第一升降支撑件升降所述收集单元。/n

【技术特征摘要】
1.一种流体收集装置，其特征在于，包括：
一基板载台，用于固定及旋转一基板；
一收集单元，围绕所述基板载台，并用以收集从所述基板而来的流体；以及
一驱动组件，连接所述收集单元，并用于升降所述收集单元，其中所述驱动组件包括：
一传动轴，具有一长轴；
一动力件，连接所述传动轴，并用以驱动所述传动轴绕着所述长轴而旋转；以及
一第一升降支撑件，连接所述传动轴与所述收集单元，其中所述传动轴绕着所述长轴的旋转驱动所述第一升降支撑件升降所述收集单元。


2.如权利要求1所述的流体收集装置，其特征在于，所述驱动组件更包括一第二升降支撑件，所述第一升降支撑件与所述第二升降支撑件分别设置于所述传动轴的两端部，且皆连接于所述收集单元。


3.如权利要求2所述的流体收集装置，其特征在于，所述流体收集装置更包括多个所述收集单元与多个所述驱动组件，其中这些所述驱动组件分别连接这些所述收集单元，而各个所述驱动组件驱动其所连接的所述收集单元升降，以使这些所述收集单元个别地升降，其中这些所述驱动组件的数量等于这些所述收集单元的数量。


4.如权利要求3所述的流体收集装置，其特征在于，这些所述驱动组件的多个所述传动轴彼此并列。


5.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘茂林，
申请(专利权)人：辛耘企业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71