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本发明公开了一种流体收集装置，包括基板载台、收集单元以及驱动组件。基板载台用于固定及旋转基板，收集单元则围绕基板载台以收集来自基板的流体。驱动组件连接且用于升降收集单元，其中驱动组件包括传动轴、连接传动轴的动力件以及第一升降支撑件连接传动轴...
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