一种硅芯铸锭炉用热场结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种硅芯铸锭炉用热场结构，包括：由内往外依次设置的石英坩埚，为长方形；加热器，设于石英坩埚的四周和顶部，包括上加热器和侧面加热器；保温层，设于加热器的外部，所述保温层包括侧保温层、底保温层和上保温层，所述侧保温层设于石英坩埚的四个侧面，所述底保温层设于石英坩埚的底面，所述上保温层设于石英坩埚的顶面；支撑柱，设于石英坩埚的底部；隔热笼，设于保温层的外部。本实用新型专利技术具有结构合理、使用效果好，本长方形热场结构能够在硅芯铸锭过程中，通过热场结构更好的为铸锭提供生长的环境，热场结构能更好的提高热场的保温性，确保铸锭工作的顺利进行；而且铸锭的尺寸没有局限性，产品的质量佳。

Heat field structure for ingot furnace with silicon core

【技术实现步骤摘要】
一种硅芯铸锭炉用热场结构
本技术属于隔热笼
，涉及一种硅芯铸锭炉用热场结构。
技术介绍
硅芯铸锭炉是多晶硅转化为多晶硅芯工艺过程中的必备设备，而多晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的多晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。现有技术一般采用正方形或者圆形的结构，正方形或者圆形结构能够保证铸锭环境中的温度，但是上述的两种结构虽然相对来说温度梯度小，控制容易，但是对铸锭的尺寸有局限性，制备的铸锭的尺寸和数量都有影响。综上所述，为解决现有的隔热笼结构上的不足，本技术设计了一种结构合理、保温性佳、使用效果好的长方形硅芯铸锭炉用热场结构。
技术实现思路
本技术为解决现有技术存在的问题，提供了一种结构合理、使用效果好的硅芯铸锭炉用热场结构。本技术的目的可通过以下技术方案来实现：一种硅芯铸锭炉用热场结构，包括：由内往外依次设置的石英坩埚，为长方形；<br>加热器，设于石本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅芯铸锭炉用热场结构，其特征在于，包括：/n由内往外依次设置的/n石英坩埚(1)，为长方形；/n加热器(2)，设于石英坩埚(1)的四周和顶部，包括上加热器(22)和侧面加热器(23)；/n保温层(3)，设于加热器的外部，所述保温层包括侧保温层(31)、底保温层(32)和上保温层(33)，所述侧保温层(31)设于石英坩埚(1)的四个侧面，所述底保温层(32)设于石英坩埚(1)的底面，所述上保温层(33)设于石英坩埚(1)的顶面；/n支撑柱(4)，设于石英坩埚(1)的底部；/n隔热笼(5)，设于保温层(3)的外部。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅芯铸锭炉用热场结构，其特征在于，包括：
由内往外依次设置的
石英坩埚(1)，为长方形；
加热器(2)，设于石英坩埚(1)的四周和顶部，包括上加热器(22)和侧面加热器(23)；
保温层(3)，设于加热器的外部，所述保温层包括侧保温层(31)、底保温层(32)和上保温层(33)，所述侧保温层(31)设于石英坩埚(1)的四个侧面，所述底保温层(32)设于石英坩埚(1)的底面，所述上保温层(33)设于石英坩埚(1)的顶面；
支撑柱(4)，设于石英坩埚(1)的底部；
隔热笼(5)，设于保温层(3)的外部。


2.根据权利要求1所述的一种硅芯铸锭炉用热场结构，其特征在于，所述上加热器(22)包括第一电阻加热器...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐凌翔，
申请(专利权)人：浙江晶阳机电有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33