一种多功能的铸锭炉制造技术

技术编号:24813207 阅读:59 留言:0更新日期:2020-07-08 01:07
本实用新型专利技术提供了一种多功能的铸锭炉,包括:长方形的多功能铸锭炉;石英坩埚,设于铸锭炉内;热场结构,所述石英坩埚上设有热场结构,该热场结构包括设于石英坩埚上方和侧面的加热器,所述热场结构外还设有保温板。本实用新型专利技术具有与现有技术相比,具备下述有益效果:1、热场结构:现有技术的多晶炉热场都是正方形,本多功能的铸锭炉的硅芯铸锭炉热场为长方形;2、加热方式:本硅芯铸锭炉热场为5面或者6面加热;3、铸造硅锭的规格:本硅锭铸锭炉可铸锭110块,产量大且成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种多功能的铸锭炉
本技术属于隔热笼
,涉及一种多功能的铸锭炉。
技术介绍
硅芯铸锭炉是多晶硅转化为多晶硅芯工艺过程中的必备设备,而多晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的多晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。当今社会,对多晶材料的需求也是日益增加。但是,现有技术中的硅芯铸锭炉制备的多晶硅锭不仅数量少,而且制备的多晶硅锭尺寸受限,无法制备长尺寸的硅芯铸锭炉。综上所述,为解决现有的结构上的不足,本技术设计了一种结构合理、适合多规格的硅芯或者多晶硅锭、使用效果好的多功能的铸锭炉。
技术实现思路
本技术为解决现有技术存在的问题,提供了一种结构合理、适合多规格的硅芯或者多晶硅锭、使用效果好的多功能的铸锭炉。本技术的目的可通过以下技术方案来实现:一种多功能性的铸锭炉,包括:长方形的多功能铸锭炉;石英坩埚,设于铸锭炉内;热场结构,所述石英坩埚上设有热场结构,该热场结构包括设于石英坩埚上方和侧面的加热器,所述热场结构外还设有保温板。优选的,多功能的铸锭炉的外部设有隔热笼结构,隔热笼结构包括:至少双层结构的上笼体和下笼体,上笼体,为长方形,包括内角板一、外角板和拉板,所述内角板首尾相接构成上笼体的上框架,所述外角板首尾相接构成下笼的下框架,所述拉板互相平行设置于内角板一和外角板之间;下笼体,为长方形,设置于上笼体的下方,包括拉板和内角板二,所述内角板二首尾相接构成下龙体的下框架,该下框架与地面接触,所述拉板互相平行设置且设置于外角板和内角板二之间;拉板,包括支撑部和连接部,所述连接部对称设置于支撑部的两端,所述支撑部和所述连接部之间设置有弧形过渡部。优选的,所述上笼体的宽度方向上至少设置两个平行设置的吊板,所述吊板为U型且两端设置有吊块。优选的,加热器包括顶部加热器和侧面加热器,侧面加热器通过若干连接板与顶部加热器相连。优选的,所述顶部加热器包括第一电阻加热器和第二电阻加热器,所述第一电阻加热器和所述第二电阻加热器相邻设置,所述第一电阻加热器和第二电阻加热器皆为闭合结构。与现有技术相比,本技术结构设置合理,具备下述有益效果:1、热场结构:现有技术的多晶炉热场都是正方形,本多功能的铸锭炉的硅芯铸锭炉热场为长方形,在热量布局上有独特之处;2、加热方式:现有技术的多晶炉热场加热面一般为四面或者五面加热(增加顶部加热),本硅芯铸锭炉热场为5面或者6面加热;3、铸造硅锭的规格:现有技术的多晶炉只能铸造一种规格的规定,硅芯铸锭炉可铸造多种规格的硅锭,如果铸锭与多晶炉铸锭同种规格的硅锭,本硅芯铸锭炉一次可铸锭多块,比如铸锭采用G8规格的热场铸锭硅锭,多晶炉最多铸锭64块,如图3和图4所示,本硅锭铸锭炉可铸锭110块,产量大且成本低;4、外部隔热笼的设置使得即使是长方形的整体结构,也能在高温的情况下承受一定程度的变形,使用效果佳;5、顶部加热器和侧面加热器,使得硅芯铸锭炉能够加热均匀,温度梯度控制容易。附图说明图1是本技术多功能的铸锭炉的长度方向的结构示意图;图2是本技术多功能的铸锭炉的宽度方向的结构示意图;图3是本技术多功能的铸锭炉的硅锭铸锭炉内可铸锭分布图;图4是本技术多功能的铸锭炉的结构图;图5是本技术多功能的铸锭炉隔热笼结构的立体结构示意图;图6是本技术多功能的铸锭炉隔热笼结构的主示图;图7是本技术多功能的铸锭炉隔热笼结构的俯视图;图8是本技术多功能的铸锭炉隔热笼结构的A部分的局部放大图;图9是本技术多功能的铸锭炉隔热笼结构的B部分的局部放大图;图10是本技术多功能的铸锭炉隔热笼结构中吊板的立体结构示意图;图11是本技术多功能的铸锭炉隔热笼结构中吊块的立体结构示意图;图12是本技术多功能的铸锭炉隔热笼结构中拉板的立体结构示意图。图13是本技术多功能的铸锭炉加热结构的立体结构示意图;图14是本技术多功能的铸锭炉加热结构的结构示意图;图15是本技术多功能的铸锭炉加热结构的左视图;图16是本技术多功能的铸锭炉加热结构的仰视图;具体实施方式下面结合实施例及附图,对本技术的技术方案作进一步的阐述。实施例1如图1所示,本多功能的铸锭炉7包括:该多功能铸锭炉的整体结构为长方形,石英坩埚1,设于铸锭炉内,热场结构,所述石英坩埚1上设有热场结构,该热场结构包括设于石英坩埚1上方和侧面的加热器2,所述热场结构外还设有保温板9。硅芯铸锭炉是多晶硅转化为多晶硅芯工艺过程中的必备设备,而多晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的多晶材料之一,对多晶材料的需求也是日益增加。但是,现有技术中的硅芯铸锭炉制备的多晶硅锭不仅数量少,而且制备的多晶硅锭尺寸受限,无法制备长尺寸的硅芯铸锭炉。为此本技术设计了一种多功能的铸锭炉,该多功能铸锭炉的整体结构为长方形,具体结构为,石英坩埚1设于铸锭炉内且石英坩埚1被热场结构包围,加热均匀,而且长方形的结构使得可以根据实际的需求,安装不同的石英坩埚,制备多规格的硅芯或者多晶硅锭8,使得铸锭炉功能性提升。石墨坩埚8和石英坩埚1在具体使用的过程中,芯铸锭开始前,需要在石英坩埚1内放入硅料,热场内的加热器将石英坩埚2内的硅料熔化,再通过工艺控制,使得石英坩埚1内熔化的硅料定向凝固。而且,石英坩埚2的大小和数量可根据具体情况,具体设定。具体的,该热场结构包括设于石英坩埚1上方和侧面的加热器。如图1~16所示,对比现有技术的铸锭炉,本技术的多功能的铸锭炉具备下述有益效果:1、热场结构:现有技术的多晶炉热场都是正方形,本多功能的铸锭炉的硅芯铸锭炉热场为长方形,在热量布局上有独特之处;2、加热方式:现有技术的多晶炉热场加热面一般为四面或者五面加热(增加顶部加热),本硅芯铸锭炉热场为5面或者6面加热;3、铸造硅锭的规格:现有技术的多晶炉只能铸造一种规格的规定,硅芯铸锭炉可铸造多种规格的硅锭,如果铸锭与多晶炉铸锭同种规格的硅锭,本硅芯铸锭炉一次可铸锭多块,比如铸锭采用G8规格的热场铸锭硅锭,多晶炉最多铸锭64块,如图3和图4所示,本硅锭铸锭炉可铸锭110块,产量大且成本低。实施例2如图5~16所示,实施例2与实施例1的区别仅仅在于:多功能的铸锭炉的外部设有隔热笼结构4,隔热笼结构包括:至少双层结构的上笼体42和下笼体43,上笼体42,为长方形,包括内角板一431、外角板433和拉板44,所述内角板首尾相接构成上笼体42的上框架,所述外角本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多功能的铸锭炉,其特征在于,包括:/n长方形的多功能铸锭炉;/n石英坩埚(1),设于铸锭炉内;/n热场结构,所述石英坩埚(1)上设有热场结构,该热场结构包括设于石英坩埚(1)上方和侧面的加热器(2),所述热场结构外还设有保温板(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种多功能的铸锭炉,其特征在于,包括:
长方形的多功能铸锭炉;
石英坩埚(1),设于铸锭炉内;
热场结构,所述石英坩埚(1)上设有热场结构,该热场结构包括设于石英坩埚(1)上方和侧面的加热器(2),所述热场结构外还设有保温板(9)。


2.根据权利要求1所述的多功能的铸锭炉,其特征在于,多功能的铸锭炉的外部设有隔热笼结构(4),隔热笼结构包括:至少双层结构的上笼体(42)和下笼体(43),
上笼体(42),为长方形,包括内角板一(431)、外角板(433)和拉板(44),所述内角板首尾相接构成上笼体(42)的上框架,所述外角板(433)首尾相接构成下笼的下框架,所述拉板(44)互相平行设置于内角板一(431)和外角板(433)之间;
下笼体(43),为长方形,设置于上笼体的下方,包括拉板(44)和内角板二(432),所述内角板二(432)首尾相接构成下龙体(443)的下框架,该下框架与地面接触,所述拉板(44)互相平行设置且设置于外...

【专利技术属性】
技术研发人员:唐凌翔
申请(专利权)人:浙江晶阳机电有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1