一种高效坩埚及其制备方法技术

技术编号:24700181 阅读:36 留言:0更新日期:2020-06-30 23:03
本发明专利技术涉及一种高效坩埚及其制备方法。所述高效坩埚包括坩埚本体和设置于坩埚本体底部内表面之上的第一氮化硅涂层和设置在所述坩埚本体侧壁内表面的第二碳化硅涂层;第一氮化硅涂层包括第一碳化硅颗粒,第二氮化硅涂层包括第二氮化硅颗粒;其中,2μm≤第一氮化硅颗粒的中位粒径D50≤3.5μm,1μm≤第二氮化硅颗粒的中位粒径D50<2μm。第一氮化硅涂层中的氮化硅颗粒的中位粒径D50较大,可使坩埚本体底部的涂层蓬松,提高硅锭的引晶效果;第二氮化硅涂层中的氮化硅颗粒的中位粒径D50较小,可使坩埚本体侧面涂层更加致密,降低坩埚侧壁内表面的硅锭粘埚率,进而提高光电转换效率。

An efficient crucible and its preparation method

【技术实现步骤摘要】
一种高效坩埚及其制备方法
本申请涉及多晶硅太阳能电池
,特别涉及一种高效坩埚及其制备方法。
技术介绍
伴随着太阳能电池产业的快速发展,相比于单晶硅,多晶硅由于具备制造工艺简单,成本低适于规模化生产越来越受到本行业的青睐。目前,实际生产太阳能多晶硅铸锭时,需使用石英坩埚来填装硅料,且将硅料投入石英坩埚后,通常情况下还需经预热、熔化(也称熔料)、长晶(也称定向凝固结晶)、退火、冷却等步骤,才能完成多晶硅铸锭过程。目前,太阳能多晶硅铸锭过程中,所采用的坩埚喷涂过程中使用的是氮化硅材料作为喷涂材料,利用氮化硅可以有效的隔离硅料与坩埚之间的反应而防止粘锅,但在利用高效坩埚进行高效多晶生产的过程中,在坩埚底部喷涂氮化硅涂层往往会影响坩埚底部粗糙度,影响硅锭底部的引晶效果;而如果将涂层喷涂的比较蓬松,又会影响坩埚侧壁内表面的粘锅效果。
技术实现思路
针对以上问题,本专利技术提供了一种高效坩埚,所述高效坩埚包括坩埚本体和设置于所述坩埚本体底部内表面之上的第一氮化硅涂层和设置在所述坩埚本体侧壁内表面的第二碳化硅涂层;所述第一氮化硅涂层包本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高效坩埚,其特征在于,包括坩埚本体和设置于所述坩埚本体底部内表面之上的第一氮化硅涂层和设置在所述坩埚本体侧壁内表面的第二碳化硅涂层;所述第一氮化硅涂层包括第一碳化硅颗粒,所述第二氮化硅涂层包括第二氮化硅颗粒;其中,2μm≤所述第一氮化硅颗粒的中位粒径D50≤3.5μm,1μm≤所述第二氮化硅颗粒的中位粒径D50<2μm。/n

【技术特征摘要】
1.一种高效坩埚,其特征在于,包括坩埚本体和设置于所述坩埚本体底部内表面之上的第一氮化硅涂层和设置在所述坩埚本体侧壁内表面的第二碳化硅涂层;所述第一氮化硅涂层包括第一碳化硅颗粒,所述第二氮化硅涂层包括第二氮化硅颗粒;其中,2μm≤所述第一氮化硅颗粒的中位粒径D50≤3.5μm,1μm≤所述第二氮化硅颗粒的中位粒径D50<2μm。


2.一种高效坩埚的制备方法,该方法采用喷枪在坩埚本体内表面喷涂氮化硅浆料,其特征在于,对所述坩埚本体底部内表面喷涂第一氮化硅浆料,对所述坩埚本体侧壁内表面喷涂第二氮化硅浆料;所述第一氮化硅浆料包括第一氮化硅颗粒,所述第二氮化硅浆料包括第二氮化硅颗粒,其中,2μm≤所述第一氮化硅颗粒的中位粒径D50≤3.5μm,1μm≤所述第二氮化硅颗粒的中位粒径D50<2μm。


3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,喷涂所述第一氮化硅浆料时,所述第一氮化硅浆料的流量为100-150ml/min;喷涂所述第二氮化硅浆料时,所述第二氮化硅浆料的流量为120-160ml/min。


4.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,喷涂所述第一氮化硅浆料时,喷嘴的喷幅宽度为40-90mm,喷涂长度...

【专利技术属性】
技术研发人员:范波波梁万松赵卫陈袆蔡保山
申请(专利权)人:比亚迪股份有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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