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本发明涉及一种高效坩埚及其制备方法。所述高效坩埚包括坩埚本体和设置于坩埚本体底部内表面之上的第一氮化硅涂层和设置在所述坩埚本体侧壁内表面的第二碳化硅涂层；第一氮化硅涂层包括第一碳化硅颗粒，第二氮化硅涂层包括第二氮化硅颗粒；其中，2μm≤第一...
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