一种改进型硅芯铸锭炉用加热结构及加热方法技术

本发明专利技术提供了一种改进型硅芯铸锭炉用加热结构及加热方法，顶板；顶部加热器，该顶部加热器平行设于顶板的下方，顶部加热器与顶板之间设有石墨电极；侧面加热器，该侧面加热器均匀分布于顶板四周的侧面，侧面加热器通过连接板与顶部加热器相连；底面加热器，设于侧面加热器的下方且与顶板平行设置。本发明专利技术结构合理、控温均匀，对比现有技术的加热方式，本发明专利技术采用六面加热，顶部加热+四周加热——底部加热，解决了温控难度大的问题，具备控温均匀、硅锭的铸锭效率提高的特点。

An improved heating structure and method for ingot furnace with silicon core

【技术实现步骤摘要】
一种改进型硅芯铸锭炉用加热结构及加热方法
本专利技术属于硅芯铸锭炉
，涉及一种改进型硅芯铸锭炉用加热结构及加热方法。
技术介绍
硅芯铸锭炉是多晶硅转化为多晶硅芯工艺过程中的必备设备，而多晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的多晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。硅芯铸锭炉用加热方式的作用如下：在硅芯铸锭过程中，通过加热器对石英坩埚内的硅料化料。现有技术的硅芯铸锭炉都加热器布局不均匀，温度梯度很难控制，容易造成控制温度不准确，最终会影响硅芯的成品率。综上所述，为解决现有的隔热笼结构上的不足，本专利技术设计了一种结构合理、采用顶部加热+四周加热+底部加热、保证热场的梯度、控温均匀、硅锭的铸锭效率提高的改进型硅芯铸锭炉用加热结构及加热方法。
技术实现思路
本专利技术为解决现有技术存在的问题，提供了一种结构合理、控温均匀、使用效果好的改进型硅芯铸锭炉用加热结构及加热方法。<br>本专利技术的目本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种改进型硅芯铸锭炉用加热结构，其特征在于，包括：/n顶板(1)；/n顶部加热器(2)，该顶部加热器(2)平行设于顶板(1)的下方，顶部加热器与顶板(1)之间设有石墨电极(5)；/n侧面加热器(3)，该侧面加热器均匀分布于顶板(1)四周的侧面，侧面加热器(3)通过连接板(4)与顶部加热器(2)相连；/n底面加热器(8)，设于侧面加热器(3)的下方且与顶板(1)平行设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种改进型硅芯铸锭炉用加热结构，其特征在于，包括：
顶板(1)；
顶部加热器(2)，该顶部加热器(2)平行设于顶板(1)的下方，顶部加热器与顶板(1)之间设有石墨电极(5)；
侧面加热器(3)，该侧面加热器均匀分布于顶板(1)四周的侧面，侧面加热器(3)通过连接板(4)与顶部加热器(2)相连；
底面加热器(8)，设于侧面加热器(3)的下方且与顶板(1)平行设置。


2.根据权利要求1所述的改进型硅芯铸锭炉用加热结构，其特征在于，所述底面加热器(8)包括底面电阻加热器(81)和底面石墨电极(82)，底面电阻加热器(81)均匀排布，底面石墨电极(82)设于底面电阻加热器(81)的下方。


3.根据权利要求2所述的改进型硅芯铸锭炉用加热结构，其特征在于，所述底面石墨电极(82)为两组，两组设置数量相等且在长度方向上均匀设置。


4.根据权利要求3所述的改进型硅芯铸锭炉用加热结构，其特征在于，所述底面石墨电极(82)每组设置的数量为三个，长度方向上的底面石墨电极(82)交错排列。


5.根据权利要求1所述的一种改进型硅芯铸锭炉用加热结构，其特征在于，所述顶部加热器(2)包括第一电阻加热器(21)和第二电阻加热器(22)，所述第一电阻加热器(21)和所述第二电阻加热器(22)相邻设置，所述第一电阻加热器(21)和第二电阻加热器(21)皆为闭合结构。


6.根据权利要求2所述的一种改进型硅芯铸锭炉用加热结构，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨金海，
申请(专利权)人：浙江晶阳机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33