一种硅芯铸锭炉用加热结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种硅芯铸锭炉用加热结构，包括：顶板，所述顶板的下方平行设有均匀分布的顶部加热器，所述顶板侧面的四周皆设有均匀分布的侧面加热器，侧面加热器通过连接板与顶部加热器相连或侧面加热器和顶部加热器未通过连接板相连，顶部加热器与顶板之间设有石墨电极，所述顶板上方还连接有铜电极。本实用新型专利技术结构合理、控温均匀，对比现有技术的四面的加热方式，本实用新型专利技术采用五面加热，顶部加热+四周加热，解决了温控难度大的问题，而且采用三组并联的方式，将加热区平均分布。

A heating structure for ingot furnace with silicon core

【技术实现步骤摘要】
一种硅芯铸锭炉用加热结构
本技术属于隔热笼
，涉及一种硅芯铸锭炉用加热结构。
技术介绍
硅芯铸锭炉是多晶硅转化为多晶硅芯工艺过程中的必备设备。硅芯铸锭炉在使用过程中，需要进行高温的加热，通过加热器对石英坩埚内的硅料进行化料，在上述过程中，对石英坩埚的温度控制要均匀，现有技术中的加热方式不能够对石英坩埚进行均匀加热，温度控制不佳，最终会到最后温度梯度控制难度加大，最终影响到硅芯成品率。综上所述，为解决现有的隔热笼结构上的不足，本技术设计了一种结构合理、采用顶部加热加四周加热、控温均匀、使用效果好的硅芯铸锭炉用加热结构。
技术实现思路
本技术为解决现有技术存在的问题，提供了一种结构合理、控温均匀、使用效果好的硅芯铸锭炉用加热结构。本技术的目的可通过以下技术方案来实现：一种硅芯铸锭炉用加热结构，包括：顶板，所述顶板的下方平行设有均匀分布的顶部加热器，所述顶板侧面的四周皆设有均匀分布的侧面加热器，侧面加热器通过连接板与顶部加热器相连或侧面加热器和顶部加热器未通过连接板相连，顶部加热器与顶板之间设有石墨电极，所述顶板上方还连接有铜电极。作为进一步的改进，所述顶部加热器包括第一电阻加热器和第二电阻加热器，所述第一电阻加热器和所述第二电阻加热器相邻设置，所述第一电阻加热器和第二电阻加热器皆为闭合结构。作为进一步的改进，所述第一电阻加热器包括第一部、第二部和第三部，所述第一部与第二部为F型结构，且第一部与第二部的凸出部分相对设置，第一部与第二部相连通。所述第二部由若干U型结构相邻连接构成，所述第三部为长方形结构且远离第一部的一侧设置有向内凹的弧形段，所述第三部靠近第一部的一侧与第二部连通。作为进一步的改进，所述第一电阻加热器和第二电阻加热器对称设于长方形的顶板下方。作为进一步的改进，所述侧面加热器由若干个U型结构相连构成。作为进一步的改进，所述顶板上设有若干观察套筒，所述观察套筒由外部延伸至顶板的下方。与现有技术相比，本技术结构设置合理，在硅芯铸锭炉作业过程中，采用顶部加热加四周加热，顶部为长方形，为解决温控难度大，采用了三组并联的加热方式，而且加热器分布均匀，使得整个工作过程中，加热均匀，温度控制准确。通过顶部加热器和四周的侧面加热器的设置以及结构的排布，进一步使得温控均匀，最终的硅芯成品率提高，便于推广应用。附图说明图1是本技术硅芯铸锭炉用加热结构的立体结构示意图；图2是本技术硅芯铸锭炉用加热结构的结构示意图；图3是本技术硅芯铸锭炉用加热结构的左视图；图4是本技术硅芯铸锭炉用加热结构的仰视图；图5是本技术硅芯铸锭炉用加热结构的方案一的电控图；图6是本技术硅芯铸锭炉用加热结构中方案二的立体结构示意图；图7是本技术硅芯铸锭炉用加热结构中方案二的电控图；具体实施方式下面结合实施例及附图，对本技术的技术方案作进一步的阐述。如图1～7所示，本硅芯铸锭炉用加热结构包括：顶板1，所述顶板1的下方平行设有均匀分布的顶部加热器2，所述顶板1的四周皆设有均匀分布的侧面加热器3，侧面加热器3通过连接板4与顶部加热器2相连或侧面加热器3和顶部加热器2未通过连接板4相连，顶部加热器与顶板之间设有石墨电极5，所述顶板上方还连接有铜电极8。硅芯铸锭炉是多晶硅转化为多晶硅芯工艺过程中的必备设备。硅芯铸锭炉在使用过程中，需要进行高温的加热，通过加热器对石英坩埚内的硅料进行化料，在上述过程中，对石英坩埚的温度控制要均匀，现有技术中的加热方式不能够对石英坩埚进行均匀加热，温度控制不佳，最终会到最后温度梯度控制难度加大，最终影响到硅芯成品率。如图1～7所示，为此本技术设计了一种硅芯铸锭炉用加热结构，通过在顶板1的下方以及四个侧边均匀设有顶部加热器2和侧面加热器3，侧面加热器3通过若干连接板4与顶部加热器2相连，如此设置使得，在进行高温加热的过程中，石英坩埚能够温度控制均匀，温度梯度控制容易，最终的硅芯成品率高。作为进一步的改进，所述顶部加热器2包括第一电阻加热器21和第二电阻加热器22，所述第一电阻加热器21和所述第二电阻加热器22相邻设置，所述第一电阻加热器21和第二电阻加热器21皆为闭合结构。作为进一步的改进，所述第一电阻加热器21包括第一部211、第二部212和第三部213，所述第一部211与第二部为F型结构，且第一部211与第二部212的凸出部分相对设置，第一部211与第二部212相连通。所述第二部212由若干U型结构相邻连接构成，所述第三部213为长方形结构且远离第一部211的一侧设置有向内凹的弧形段2111，所述第三部213靠近第一部211的一侧与第二部212连通。作为进一步的改进，所述第二电阻加热器22包括第一电阻部221、第二电阻部222和第三电阻部223，所述第三电阻部223上设有缺口二224。作为进一步的改进，所述第一电阻加热器21上还设置有缺口一214。更具体的为，所述第一电阻加热器21和第二电阻加热器22对称设于长方形的顶板1下方。第一电阻加热器21和第二电阻加热器22的结构以及分布方式对比现有技术，在整个硅芯铸锭炉的上表面分布均匀，有利于温度梯度的控制以及有效提高了硅芯成品率。作为进一步的改进，所述侧面加热器3为若干个U型结构相连连接构成。对比现有技术，本硅芯铸锭炉用加热结构在顶板1的下方以及四个侧面皆设置有电阻加热器，分别为顶部加热器2和侧面加热器3，如此设置使得硅芯铸锭炉能够加热均匀，温度梯度控制容易。更加进一步的，侧面加热器3和顶部加热器2的结构设置均匀，侧面加热器3为若干个U型结构相接构成，顶部加热器3结构对称且均匀排布，对比现有技术的结构排布，在加热过程中，温控能够准确而且加热均匀，使得炉体里面的受热均匀。作为进一步的改进，所述顶板1上设有若干观察套筒6，所述观察套筒由外部延伸至顶板1的下方。关于电控，可以有下述两个方案进行操作：方案一如图5所示，通过一个电源柜控制加热，顶部加热器2和侧面加热器3通过连接板4连接在一起，本方案中，采用的是顶部和四侧面的周围排布有加热器。由于电阻均匀排布，对比现有技术，在工作过程中，化料速度明显加快，温度能够均衡，温度梯度控制容易。其中，第一电阻加热器21、第二电阻加热器22和侧面加热器3采用三组并联的方式，提高了控制了准确性。方案二如图6和7所示，通过两个电源柜7：电源柜一71和电源柜二72分别控制顶部加热器2和侧面加热器3，其中顶板加热器2中的第一电阻加热器21和第二电阻加热器22采用两组并联的方式，由电源柜一71控制。由于电阻均匀排布，对比现有技术，在工作过程中，化料速度明显加快，温度能够均衡，温度梯度控制容易。本方案中，采用两个电源柜7分别对顶部加热器2和侧面加热器3进行控制，进一步提高了控制的准确性。对比本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅芯铸锭炉用加热结构，其特征在于，包括：/n顶板(1)，所述顶板(1)的下方平行设有均匀分布的顶部加热器(2)，所述顶板(1)侧面的四周皆设有均匀分布的侧面加热器(3)，侧面加热器(3)通过连接板(4)与顶部加热器(2)相连/n或侧面加热器(3)和顶部加热器(2)未通过连接板(4)相连，顶部加热器与顶板(1)之间设有石墨电极(5)，所述顶板上方还连接有铜电极(8)。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅芯铸锭炉用加热结构，其特征在于，包括：
顶板(1)，所述顶板(1)的下方平行设有均匀分布的顶部加热器(2)，所述顶板(1)侧面的四周皆设有均匀分布的侧面加热器(3)，侧面加热器(3)通过连接板(4)与顶部加热器(2)相连
或侧面加热器(3)和顶部加热器(2)未通过连接板(4)相连，顶部加热器与顶板(1)之间设有石墨电极(5)，所述顶板上方还连接有铜电极(8)。


2.根据权利要求1所述的一种硅芯铸锭炉用加热结构，其特征在于，所述顶部加热器(2)包括第一电阻加热器(21)和第二电阻加热器(22)，所述第一电阻加热器(21)和所述第二电阻加热器(22)相邻设置，所述第一电阻加热器(21)和第二电阻加热器(22)皆为闭合结构。


3.根据权利要求2所述的一种硅芯铸锭炉用加热结构，其特征在于，所述第一电阻加热器(21)包括第一部(211)、第二部(212)和第三部...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨金海，
申请(专利权)人：浙江晶阳机电有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33