一种带有上炉体升降装置的单晶炉制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种带有上炉体升降装置的单晶炉，包括与上炉体固定连接的升降装置，升降装置包括方立柱，在所述方立柱上由上至下间隔设置有第一支座、第二支座、第三支座，液压缸，液压缸的驱动杆穿过第三支座连接推力球轴承，推力球轴承连接传动轴，第一支座、第二支座与所述传动轴之间径向固定轴向滑动配合，提升架，提升架一端与传动轴固定连接，另一端与上炉体固定连接，第二支座位于上连接座和下连接座之间。利用三个支座布置在液压缸、上、下连接座及传动轴的相对位置上，实现三点支撑，有效的降低了传动轴的受力点，使得传动轴不变形，提高了上炉体升降的安全性和准确性，降低对设备的损坏程度。

A Single Crystal Furnace with Upper Furnace Body Lifting Device

【技术实现步骤摘要】
一种带有上炉体升降装置的单晶炉
本技术涉及单晶炉控制技术，具体涉及一种带有上炉体升降装置的单晶炉。
技术介绍
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。一般的单晶炉，都采用两个支座来控制，这种结构存在受力点不均衡，容易造成传动轴变形，上炉体倾斜，影响单晶炉作业等现象。
技术实现思路
针对上述技术问题，本技术提供了一种带有上炉体升降装置的单晶炉，利用三个支座（第一、第二、第三支座）布置在液压缸、上、下连接座及传动轴的相对位置上，实现三点支撑，有效的降低了传动轴的受力点，使得传动轴不变形，提高了上炉体升降的安全性和准确性，降低对设备的损坏程度，同时，因为其投入少，为操作方便，便于推广。为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：一种带有上炉体升降装置的单晶炉，包括与上炉体固定连接的升降装置，升降装置包括方立柱，在所述方立柱上由上至下间隔设置有第一支座、第二支座、第三支座，液压缸，液压缸固定在安装方立柱上且位于第三支座下方，液压缸的驱动杆穿过第三支座连接推力球轴承，推力球轴承连接传动轴，第一支座、第二支座与所述传动轴之间径向固定轴向滑动配合，提升架，提升架一端与传动轴固定连接，另一端与上炉体固定连接，提升架通过上连接座、下连接座固定连接传动轴，第二支座位于上连接座和下连接座之间。单晶炉用上炉体升降装置的作用如下：在单晶硅作业过程中，通过上炉体升降装置对单晶炉上炉体提升或者降落，通过三个支撑点更好的降低了受力点的不均衡性，以便于单晶炉更稳定的运行。在上述方案的基础上，作为优选，上炉体上固定有连接架，连接架与提升架之间通过连接板固定连接。在上述方案的基础上，作为优选，连接板有两个；连接板一端与连接架固定连接，另一端与提升架固定连接。在上述方案的基础上，作为优选，驱动杆固定连接抱箍A，抱箍A固定连接推力球轴承，推力球轴承固定连接抱箍B，抱箍B固定连接传动轴。本技术的有益效果是：1、在单晶炉作业过程中，采用新型上炉体升降装置，有效的提高了作业的效率，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的操作不方便、上炉体升降易卡死的现象；2、新型上炉体升降装置，减少工作时间，提高控制的准确性；3、新型上炉体升降装置，利用三个支座均匀的布置在液压缸、两个支座及传动轴顶部位置，有效的降低了传动轴的受力点，使得传动轴不变形，提高了上炉体升降的安全性和准确性，降低对设备的损坏程度，同时，因为其投入少，为操作方便，便于推广。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是本技术的立体图。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。需要理解的是，“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系的术语，在本技术的描述中，是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，出现的如“安装”、“相连”、“连接”的术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。如图1-2所示，一种带有上炉体升降装置的单晶炉，包括与上炉体固定连接的升降装置，升降装置包括方立柱1，在所述方立柱上由上至下间隔设置有第一支座12、第二支座10、第三支座3；液压缸2，液压缸固定在安装方立柱上且位于第三支座下方，液压缸的驱动杆穿过第三支座连接推力球轴承6，推力球轴承连接传动轴9，第一支座、第二支座与所述传动轴之间径向固定轴向滑动配合，提升架13，提升架一端与传动轴固定连接，另一端与上炉体16固定连接，提升架通过上连接座11、下连接座8固定连接传动轴，第二支座位于上连接座和下连接座之间。在上述的方案中，液压缸的驱动杆升出，通过驱动杆将传动轴顶起，在连接座的带动下，提升架、上炉体一起向上升起。利用三个支座（第一、第二、第三支座）布置在液压缸、上、下连接座及传动轴的相对位置上，实现三点支撑，有效的降低了传动轴的受力点，使得传动轴不变形，提高了上炉体升降的安全性和准确性，降低对设备的损坏程度，同时，因为其投入少，为操作方便，便于推广。通过在驱动杆和传动轴之间设置推力球轴承，使得在驱动杆的推动下，传动杆可在轴向上运动，且还可保持传动轴的转动性。对于上炉体和提升架之间的连接，具体的说，上炉体上固定有连接架15，连接架与提升架之间通过连接板14固定连接，因上炉体通常为圆管状结构，以便于更换将提升架和上炉体进行固定。其中，连接板有两个；连接板一端与连接架固定连接，另一端与提升架固定连接，便于提升架与上炉体之间进行装配与调校。其中，驱动杆固定连接抱箍A5，抱箍A固定连接推力球轴承，推力球轴承固定连接抱箍B7，抱箍B固定连接传动轴，便于安装、拆卸。在本实施例中，对于连接架上炉体之间的连接，具体的说，连接架包括第一联接板151，第二联接板152，第三联接板153，第一联接板、第三联接板位于第二联接板两端，在上炉体侧壁开槽形成平面，上炉体外壁上在开槽后形成凹槽161，凹槽有两个，在同一竖直面上，第一联接板、第三联接板安装在对应的凹槽内与上炉体之间通过螺丝等方式固定连接，在该安装方式中，第一联接板、第三联接板与上炉体之间形成面面接触的配合方式，提高配合的稳定性及强度。第二联接板与第一联接板、第三联接板之间最佳也采用面面接触的配合方式，有助于提高整体的配合强度。对于本领域的技术人员来说，依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带有上炉体升降装置的单晶炉，其特征在于，包括与上炉体固定连接的升降装置，升降装置包括方立柱，在所述方立柱上由上至下间隔设置有第一支座、第二支座、第三支座，液压缸，液压缸固定在安装方立柱上且位于第三支座下方，液压缸的驱动杆穿过第三支座连接推力球轴承，推力球轴承连接传动轴，第一支座、第二支座与所述传动轴之间径向固定轴向滑动配合，提升架，提升架一端与传动轴固定连接，另一端与上炉体固定连接，提升架通过上连接座、下连接座固定连接传动轴，第二支座位于上连接座和下连接座之间。

【技术特征摘要】
1.一种带有上炉体升降装置的单晶炉，其特征在于，包括与上炉体固定连接的升降装置，升降装置包括方立柱，在所述方立柱上由上至下间隔设置有第一支座、第二支座、第三支座，液压缸，液压缸固定在安装方立柱上且位于第三支座下方，液压缸的驱动杆穿过第三支座连接推力球轴承，推力球轴承连接传动轴，第一支座、第二支座与所述传动轴之间径向固定轴向滑动配合，提升架，提升架一端与传动轴固定连接，另一端与上炉体固定连接，提升架通过上连接座、下连接座固定连接传动轴，第...

【专利技术属性】
技术研发人员：许永根，
申请(专利权)人：浙江晶阳机电有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33