同时生产三根硅芯的硅芯炉装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种同时生产三根硅芯的硅芯炉装置。其结构是提拉机械手与设备端以螺纹相连，籽晶轴头部悬挂并连接在提拉机械手上，提拉定位销与提拉定位槽相对应，进行定位，籽晶轴的尾端用螺母与籽晶盘相连接固定，籽晶盘与三个籽晶夹头用螺钉固定，籽晶安装在籽晶夹头上，线圈的法兰与设备端以螺钉连接，组成高频电回路及冷却水回路，籽晶转盘的中心孔与设备端用键和螺母进行定位紧固。本实用新型专利技术能够提高硅芯炉运行平稳性，大幅增加生产效率，并显著降低能耗，本装置的生产规格为3根／组，3组／炉。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种同时生产三根硅芯的硅芯炉装置。二
技术介绍
单根组硅芯炉是早期用于生产多晶硅用硅芯的晶体区熔设备。硅芯是在还原过程中作为CVD载体的细硅棒，由于其无污染、纯度高、损耗小、收率高等特点，使用区熔硅芯作为还原电子级多晶硅成为一种普遍的方法。但对于目前而言，单根组硅芯炉单位产量较低(只能同时生产一根)，在如今的硅芯区熔生长技术中已失去原有优势。三、技术的内容本技术的目的是提出一种能够同时生产三根硅芯的硅芯炉装置。其能够提高其生产效率，并显著降低能耗。本技术的目的是这样来实现的:一种同时生产三根硅芯的硅芯炉装置，它包括:线圈、籽晶转盘、籽晶轴、籽晶盘、提拉机械手、籽晶、硅棒、籽晶夹头、提拉定位槽、提拉定位销、放置定位销、设备端、内孔、中孔、水流槽、强化槽孔、放置定位槽、轨道、放置平台构成，提拉机械手与设备端以螺纹相连，籽晶轴头部悬挂并连接在提拉机械手上，提拉定位销与提拉定位槽相对应，进行定位，籽晶轴的尾端用螺母与籽晶盘相连接固定，籽晶盘与三个籽晶夹头用螺钉固定，籽晶安装在籽晶夹头上，线圈的法兰与设备端以螺钉连接，组成高频电回路及冷却水回路，籽晶转盘的中心孔与设备端用键和螺母进行定位紧固；所述的线圈正盘面上有斜平面，背盘面上有直角台阶，线圈盘面上有120°均布排列三个内孔和预热的中孔，均为通孔，正盘面上的孔面均为斜平面；强化槽孔与中孔相连为通孔，水流槽在线圈内部，与铜管及法兰连通，构成冷却水回路，接地端连接在线圈上，并有一通孔；所述的籽晶转盘的中心孔与设备端轴通过键槽相连，籽晶转盘以此轴为中心进行旋转；籽晶转盘盘面上设有轨道及放置平台，背盘面上有直角台阶，放置定位槽与籽晶轴上的放置定位销相对应，轨道、放置定位槽为通孔，放置平台为凹槽；所述的籽晶轴头端为台锥体，台锥体的侧面有提拉定位销，籽晶轴中端为圆柱体，圆柱体的侧面设有放置定位销，籽晶轴尾端为螺纹结构，通过螺母把籽晶盘固定在籽晶轴上；所述的籽晶盘上有120°均布的三个夹头螺孔，用螺钉与籽晶夹头固定；所述的提拉机械手中心通透，顶部有螺孔与设备端固定；底部有通孔为斜面，与籽晶轴头端的台锥体相对应，并设有提拉定位槽。本技术能够提高硅芯炉运行平稳性，大幅增加生产效率，并显著降低能耗，本装置的生产规格为3根/组，3组/炉。附图说明附图1为本技术的结构示意图。附图2为本技术线圈的结构示意图。附图3为本技术线圈的仰视图。附图4为本技术线圈的B-B剖视图。附图5为本技术籽晶转盘的结构示意图。附图6为本技术籽晶盘的结构示意图。其中:1---线圈、2---籽晶转盘、3---籽晶轴、4---籽晶盘、5---提拉机械手、6---籽晶、7硅棒、8籽晶夹头、9提拉定位槽、10提拉定位销、11放置定位销、12螺母、13设备端、14内孔、15中孔、16水流槽、17铜管、18法兰、19接地端、20强化槽孔、21 放置定位槽、22轨道、23放置平台、24夹头螺孔。 五具体实施方式以下结合附图及实施例来对本技术做进一步说细描述。参照附图，本技术一种同时生产三根硅芯的硅芯炉装置，它包括:线圈1、籽晶转盘2、籽晶轴3、籽晶盘4、提拉机械手5、籽晶6、硅棒7、籽晶夹头8、提拉定位槽9、提拉定位销10、放置定位销11、设备端13、内孔14、中孔15、水流槽16、强化槽孔20、放置定位槽21、轨道22、放置平台23构成，提拉机械手5与设备端13以螺纹相连，籽晶轴3头部悬挂并连接在提拉机械手5上，提拉定位销10与提拉定位槽9相对应，进行定位，籽晶轴3的尾端用螺母12与籽晶盘4相连接固定，籽晶盘4与三个籽晶夹头8用螺钉固定，籽晶6安装在籽晶夹头8上，线圈I的法兰18与设备端13以螺钉连接，组成高频电回路及冷却水回路，籽晶转盘2的中心孔25与设备端13用键和螺母进行定位紧固；所述的线圈I正盘面上有斜平面，背盘面上有直角台阶，线圈I盘面上有120°均布排列三个内孔14和预热的中孔15，均为通孔，正盘面上的孔面均为斜平面；强化槽孔20为通孔，并与中孔15相连，用于加强电磁场；水流槽16在线圈I内部，与铜管17及法兰18形成冷却水回路，对线圈I进行降温，接地端19连接在线圈I上，并有一通孔，线圈I为紫铜材质，镀银。所述的籽晶转盘2的中心孔25与设备端轴通过键槽相连，籽晶转盘2以此轴为中心进行旋转；籽晶转盘2盘面上设有轨道22及放置平台23，放置定位槽21与籽晶轴3上的放置定位销11相对应，用于籽晶轴3的定位，轨道22、放置定位槽21为通孔，放置平台23为凹槽；籽晶转盘2是用于悬挂籽晶轴3，可进行多组生产，籽晶转盘2用不锈铡材质制成。背盘面上有直角台阶，用于减轻自重。所述的籽晶轴3头端为台锥体，台锥体的侧面有提拉定位销10，在提拉机械手5上悬挂并定位，籽晶轴3中端为圆柱体，圆柱体的侧面设有放置定位销11，可将籽晶轴3悬挂并定位，籽晶轴3尾端为螺纹结构，通过螺母12把籽晶盘(4)固定在其上；籽晶轴3是不锈钢材质制成。所述的籽晶盘4上有120°均布排列有三个夹头螺孔24，可与籽晶夹头8以螺钉进行固定。籽晶盘4为不锈钢材质制成。所述的提拉机械手5中心通透，顶部有螺孔与设备端13固定；底部有通孔为斜面，与籽晶轴3头端的台锥体相对应，并设有提拉定位槽9。提拉机械手5为不锈钢材质制成。操作过程:对籽晶轴3、籽晶盘4，籽晶夹头8、籽晶6进行组装，共组装三组，具体组装过程如下:籽晶轴3的尾端与籽晶盘4用螺母12进行固定，籽晶盘4与三组籽晶夹头8用螺钉固定，并将三组籽晶6安装在籽晶夹头8上；将其中一组悬挂在提拉机械手5上，并通过提拉定位销10和提拉定位槽9进行定位。降低提拉机械手5，使三组籽晶6穿过线圈I的三个内孔14至距离硅棒7顶端2mm处；将其他两组悬挂在籽晶转盘2任意一侧的放置平台23上，并通过放置定位销11和放置定位槽21进行定位；对线圈I通入循环冷却水并启动电源，线圈I对硅棒7加热，使硅棒7顶端熔化；降低提拉机械手5将籽晶6插入硅棒7顶端的熔硅中并充分熔接；同时使提拉机械手5及硅棒7按照一定的速度比提升，三组籽晶6穿过线圈I的三个内孔14对硅棒7顶端的熔硅进行提拉，提拉完成后，快速提升提拉机械手5使其与硅棒7脱离；旋转籽晶盘4，将籽晶轴3悬挂在籽晶转盘2另一侧空余的放置平台23上；提拉机械手5依次抓取其他两组未使用的籽晶轴3重复以上熔接、提拉操作，直至三组全部提拉完毕。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种同时生产三根硅芯的硅芯炉装置，它包括：线圈(1)、籽晶转盘(2)、籽晶轴(3)、籽晶盘(4)、提拉机械手(5)、籽晶(6)、硅棒(7)、籽晶夹头(8)、提拉定位槽(9)、提拉定位销(10)、放置定位销(11)、设备端(13)、内孔(14)、中孔(15)、水流槽(16)、强化槽孔(20)、放置定位槽(21)、轨道(22)、放置平台(23)构成，其特征在于：提拉机械手(5)与设备端(13)以螺纹相连，籽晶轴(3)头部悬挂并连接在提拉机械手(5)上，提拉定位销(10)与提拉定位槽(9)相对应，进行定位，籽晶轴(3)的尾端用螺母(12)与籽晶盘(4)相连接固定，籽晶盘(4)与三个籽晶夹头(8)用螺钉固定，籽晶(6)安装在籽晶夹头(8)上，线圈(1)的法兰(18)与设备端(13)以螺钉连接，组成高频电回路及冷却水回路，籽晶转盘(2)的中心孔(25)与设备端(13)用键和螺母进行定位紧固；所述的线圈(1)正盘面上有斜平面，背盘面上有直角台阶，线圈(1)盘面上有120°均布排列三个内孔(14)和预热的中孔(15)，均为通孔，正盘面上的孔面均为斜平面；强化槽孔(20)与中孔(15)相连为通孔，水流槽(16)在线圈(1)内部，与铜管(17)及法兰(18)形成冷却水回路，接地端(19)连接在线圈(1)上，并有一通孔；所述的籽晶转盘(2)的中心孔(25)与设备端轴通过键槽相连，籽晶转盘(2)以此轴为中心进行旋转；旋转籽晶转盘(2)盘面上设有轨道(22)及放置平台(23)，放置定位槽(21)与籽晶轴(3)上的放置定位销(11)相对应，轨道(22)、放置定位槽(21)为通孔，放置平台(23)为凹槽；所述的籽晶轴(3)头端为台锥体，台锥体的侧面有提拉定位销(10)，籽晶轴(3)中端为圆柱体，圆柱体的侧面设有放置定位销(11)，籽晶轴(3)尾 端为螺纹结构，通过螺母(12)把籽晶盘(4)固定在籽晶轴(3)上；所述的籽晶盘(4)上有120°均布的三个夹头螺孔(24)，用螺钉与籽晶夹头(8)固定；所述的提拉机械手(5)中心通透，顶部有螺孔与设备端(13)固定；底部有通孔为斜面，与籽晶轴(3)头端的台锥体相对应，并设有提拉定位槽(9)。...

【技术特征摘要】
1.一种同时生产三根硅芯的硅芯炉装置，它包括:线圈(I)、籽晶转盘(2)、籽晶轴(3)、籽晶盘(4)、提拉机械手(5)、籽晶￠)、硅棒(7)、籽晶夹头(8)、提拉定位槽(9)、提拉定位销(10)、放置定位销(11)、设备端(13)、内孔(14)、中孔(15)、水流槽(16)、强化槽孔(20)、放置定位槽(21)、轨道(22)、放置平台(23)构成，其特征在于:提拉机械手(5)与设备端(13)以螺纹相连，籽晶轴(3)头部悬挂并连接在提拉机械手(5)上，提拉定位销(10)与提拉定位槽(9)相对应，进行定位，籽晶轴(3)的尾端用螺母(12)与籽晶盘(4)相连接固定，籽晶盘⑷与三个籽晶夹头⑶用螺钉固定，籽晶(6)安装在籽晶夹头⑶上，线圈⑴的法兰(18)与设备端(13)以螺钉连接，组成高频电回路及冷却水回路，籽晶转盘(2)的中心孔(25)与设备端(13)用键和螺母进行定位紧固； 所述的线圈(I)正盘面上有斜平面，背盘面上有直角台阶，线圈(I)盘面上有120°均布排列三个内孔(14)和预热的中孔(15)，均...

【专利技术属性】
技术研发人员：李栋，薛涛，尹敏，李波，张玉泉，王相君，何克周，
申请(专利权)人：陕西天宏硅材料有限责任公司，
类型：实用新型
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