一种晶体生长引晶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶体生长引晶装置，包括籽晶杆；旋转伺服电机，与所述籽晶杆驱动连接；升降支撑臂，承载所述旋转伺服电机；保护管件，套设于所述籽晶杆靠近所述升降支撑臂的一端部；波纹管，套设于所述籽晶杆远离所述升降支撑臂的一端部；减震支架，一端连接所述保护管件，另一端连接所述升降支撑臂；以及重量感应器，设置于所述保护管件，且位于所述减震支架一端与所述升降支撑臂之间。所述晶体生长引晶装置中，减震支架设置在重量感应器与波纹管之间，将重量感应器与波纹管进行隔离，进而隔离波纹管震动和弹力的影响，能够保证重量感应器的称重精确度，从而进一步提高晶体生长的质量。

A kind of crystal growth device

【技术实现步骤摘要】
一种晶体生长引晶装置
本技术涉及人造晶体制备
，特别是指一种晶体生长引晶装置。
技术介绍
在晶体制备工艺中，利用籽晶杆完成引晶步骤之后晶体开始生长，在这一过程中，晶体生长速度过快则会导致晶体质量较差，晶体生长速度过慢则可能导致晶体粘锅的问题，因此需要对引晶完成后的晶体生长速度进行严格控制。对于晶体生长速度的控制将晶体重量的变化快慢作为衡量与判断的标准的，这就对晶体的重量称量的精确度提出了非常高的要求。现有的晶体生长炉中，晶体的提拉杆结构和包裹提拉杆的波纹管是连接到一起的，晶体在提拉方向上会受到波纹管的震动和弹力的影响，使得设置在晶体生长炉上方的固定横梁上的重量感应器输出结果存在偏差。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提出一种能够隔离波纹管震动和弹力影响，提高晶体称重精确度的晶体生长引晶装置。基于上述目的本技术提供的一种晶体生长引晶装置，其特征在于，包括：籽晶杆；旋转伺服电机，与所述籽晶杆驱动连接；升降支撑臂，承载所述旋转伺服电机；保护管件，套设于所述籽晶杆靠近所述升降本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶体生长引晶装置，其特征在于，包括：/n籽晶杆；/n旋转伺服电机，与所述籽晶杆驱动连接；/n升降支撑臂，承载所述旋转伺服电机；/n保护管件，套设于所述籽晶杆靠近所述升降支撑臂的一端部；/n波纹管，套设于所述籽晶杆远离所述升降支撑臂的一端部；/n减震支架，一端连接所述保护管件，另一端连接所述升降支撑臂；以及/n重量感应器，设置于所述保护管件，且位于所述减震支架一端与所述升降支撑臂之间。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶体生长引晶装置，其特征在于，包括：
籽晶杆；
旋转伺服电机，与所述籽晶杆驱动连接；
升降支撑臂，承载所述旋转伺服电机；
保护管件，套设于所述籽晶杆靠近所述升降支撑臂的一端部；
波纹管，套设于所述籽晶杆远离所述升降支撑臂的一端部；
减震支架，一端连接所述保护管件，另一端连接所述升降支撑臂；以及
重量感应器，设置于所述保护管件，且位于所述减震支架一端与所述升降支撑臂之间。


2.根据权利要求1所述的引晶装置，其特征在于，所述旋转伺服电机通过联轴器与所述籽晶杆驱动连接；
所述籽晶杆穿过所述升降支撑臂设置；
所述旋转伺服电机与所述保护管件相对设置在所述升降支撑臂两侧。


3.根据权利要求1所述的引晶装置，其特征在于，所述减震支架的一端设置于所述保护管件的下端部；
所述籽晶杆穿过所述减震支架...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宗，
申请(专利权)人：王宗，
类型：新型
国别省市：甘肃;62