用于单晶硅生长炉坩埚提升架的防下滑辅助锁紧装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术是关于单晶硅制备设备领域，涉及用于单晶硅生长炉坩埚提升架的防下滑辅助锁紧装置。包括驱动机构；驱动机构包括驱动电机与控制元件；辅助锁紧装置包括舵机、棘爪与棘轮；舵机设于机架上，通过第一传动轴与棘爪相连，棘爪尖端顶部与弹簧一端相连，弹簧另一端与机架相连；棘轮设于棘爪旁侧，中心连接第二传动轴，传动轴两端各通过联轴器与驱动电机和滚珠丝杆螺旋升降机相连。控制元件分别与驱动电机与舵机相连。本实用新型专利技术能够在除了抱闸电机对安装在滚珠丝杆上的坩埚提升架提供防止下滑的功能外，提供额外的辅助锁紧功能，能够确保坩埚提升架在实际的生产过程中，在提升和下降的过程中，杜绝出现可能的下落风险，确保生产过程的安全性。

Anti sliding auxiliary locking device for crucible lifting frame of monocrystalline silicon growth furnace

【技术实现步骤摘要】
用于单晶硅生长炉坩埚提升架的防下滑辅助锁紧装置
本技术是关于单晶硅制备设备领域，涉及一种用于单晶硅生长炉坩埚提升架的防下滑辅助锁紧装置。
技术介绍
单晶硅是电子信息材料和光伏行业中的最基础性材料，而直拉法单晶炉是生产硅单晶的关键技术装备。单晶炉在生产的过程中，需要完成坩埚提升架的升降，从而带动完成单晶炉的主炉室内坩埚的升降，在这个过程中，需要保证坩埚提升架在停止状态下不会产生下滑的动作。现有的技术方案是在坩埚提升这套机构中，驱动部件直接使用抱闸电机，带抱闸的电机保证了，在电机停止运动时，驱动坩埚提升架升降的滚珠丝杆螺旋升降机停止运动，由于滚珠丝杆没有梯形丝杆的自锁性能，但是带抱闸的电机内的抱闸机构能够完成对电机轴的锁紧，从而保证了和滚珠丝杆连接的提升架不会产生下滑的运动。但是此技术方案仅能够保证抱闸电机的抱闸机构在正常稳定工作条件下时，完成对滚珠丝杆的锁紧，而并没有考虑到出现一定几率意外时候的情况。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种用于单晶硅生长炉坩埚提升架的防下滑辅助锁紧装置。...

【技术保护点】
1.一种用于单晶硅生长炉坩埚提升架的防下滑辅助锁紧装置，其特征在于：包括驱动机构、辅助锁紧装置与滚珠丝杆螺旋升降机；/n所述驱动机构包括驱动电机与控制元件；/n所述辅助锁紧装置包括舵机、棘爪与棘轮；所述舵机设于机架上，通过第一传动轴与棘爪相连，棘爪尖端顶部与弹簧一端相连，弹簧另一端与机架相连；棘轮设于棘爪旁侧，中心连接第二传动轴，传动轴两端各通过联轴器与驱动电机和滚珠丝杆螺旋升降机相连；/n所述控制元件分别与驱动电机与舵机相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶硅生长炉坩埚提升架的防下滑辅助锁紧装置，其特征在于：包括驱动机构、辅助锁紧装置与滚珠丝杆螺旋升降机；
所述驱动机构包括驱动电机与控制元件；
所述辅助锁紧装置包括舵机、棘爪与棘轮；所述舵机设于机架上，通过第一传动轴与棘爪相连，棘爪尖端顶部与弹簧一端相连，弹簧另一端与机架相连；棘轮设于棘爪旁侧，中心连接第二传动轴，传动轴两端各通过联轴器与驱动电机和滚珠丝杆螺旋升降机相连；
所述控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，傅林坚，胡建荣，高宇，倪军夫，叶钢飞，春伟博，谭庆，冯贤剑，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33