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本实用新型是关于单晶硅制备设备领域，涉及用于单晶硅生长炉坩埚提升架的防下滑辅助锁紧装置。包括驱动机构；驱动机构包括驱动电机与控制元件；辅助锁紧装置包括舵机、棘爪与棘轮；舵机设于机架上，通过第一传动轴与棘爪相连，棘爪尖端顶部与弹簧一端相连，弹...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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