The utility model discloses a single crystal silicon rod rod taking protection device, which comprises: a protection ring for setting at the bottom end of the auxiliary chamber of the single crystal furnace; a connector for fixedly connecting the protection ring with the auxiliary chamber, wherein the diameter of the inner ring of the protection ring is smaller than the diameter of the inner wall of the auxiliary chamber and larger than the diameter of the single crystal silicon rod; and When the connector is connected with the sub chamber, the protection ring is located at the lower port of the sub chamber, and the lower end of the single crystal silicon rod is located in the inner ring of the protection ring. When the sub chamber rotates, the protection ring limits the shaking range of the single crystal silicon rod and avoids the collision between the single crystal silicon rod and the inner wall of the sub chamber, so as to reduce the possibility of crushing when the single crystal silicon rod and the protection ring collide.
【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅棒取棒保护装置
本技术涉及单晶硅生产制造领域,特别是涉及一种单晶硅棒取棒保护装置。
技术介绍
加料式拉制单晶硅是目前生产单晶硅棒常用的方式之一,即单晶硅棒拉制一定长度后,将单晶硅棒取出,重新加料熔化,继续第二根单晶硅棒的拉制。单晶硅棒在拉制成型后,在出棒的过程中,需要将单晶硅棒先从坩埚中升高至副室中,副室为圆柱型空腔结构,单晶硅棒位于空腔中心轴位置,且只有上端固定。当副室的旋转带动单晶硅棒移出时,会造成单晶硅棒的晃动,尤其在旋转启动、停止过程中由于惯性作用会加剧单晶硅棒的晃动,容易造成单晶硅棒的掉落及晶棒与副室内壁的磕碰。目前单晶炉为了防止单晶硅棒掉落,在副室侧部会增加一个晶托装置,在副室升起后,将晶托装置打开,能够防止因副室旋转而单晶硅棒掉落,但对于副室旋转过程中引起的晶棒晃动却没有明显得到改善。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本技术提供一种单晶硅棒取棒保护装置,包括:用于设置于单晶炉的副室底端的保护环;以及和所述保护环固定连接,用于将所述保护环可拆卸地和副室相连接的连接件;其中,所述保护环的内环直径小于所述副室的内壁直径且大于单晶硅棒的直径;当所述连接件和所述副室相连接时,所述保护环位于所述副室的下端口,且单晶硅棒的下端位于所述保护环的内环中。其中,所述连接件包括圆形卡环,以及连接所述圆形卡环和所述保护环的连接杆;其中,所述圆形卡环的内径和所述副室的外径相等,用于可拆卸地卡扣在所述副室的外周部。其中,所述保护环的内环直径和所述单 ...
【技术保护点】
1.一种单晶硅棒取棒保护装置,其特征在于,包括:/n用于设置于单晶炉的副室底端的保护环;/n以及和所述保护环固定连接,用于将所述保护环可拆卸地和副室相连接的连接件;/n其中,所述保护环的内环直径小于所述副室的内壁直径且大于单晶硅棒的直径;当所述连接件和所述副室相连接时,所述保护环位于所述副室的下端口,且单晶硅棒的下端位于所述保护环的内环中。/n
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅棒取棒保护装置,其特征在于,包括:
用于设置于单晶炉的副室底端的保护环;
以及和所述保护环固定连接,用于将所述保护环可拆卸地和副室相连接的连接件;
其中,所述保护环的内环直径小于所述副室的内壁直径且大于单晶硅棒的直径;当所述连接件和所述副室相连接时,所述保护环位于所述副室的下端口,且单晶硅棒的下端位于所述保护环的内环中。
2.如权利要求1所述的单晶硅棒取棒保护装置,其特征在于,所述连接件包括圆形卡环,以及连接所述圆形卡环和所述保护环的连接杆;
其中,所述圆形卡环的内径和所述副室的外径相等,用于可拆卸地卡扣在所述副室的外周部。
...
【专利技术属性】
技术研发人员:汪沛渊,樊同帅,张涛,杨俊,廖才超,刘宏磊,邓清香,金浩,
申请(专利权)人:晶科能源有限公司,浙江晶科能源有限公司,
类型:新型
国别省市:江西;36
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