单晶炉加热器提升装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及机械技术领域，具体涉及一种单晶炉加热器提升装置。包括伺服电机；伺服电机连接减速机的输入端，减速机安装在减速机支座上，减速机的输出端连接提升装置；换向器固定在底板上，换向器一端与减速机输出端连接，一端连接丝杆下端；丝杆上设有丝杆螺母，丝杆螺母通过支撑板与密封装置相连；丝杆上端连接固定板，固定板上设有炉底板，炉底板上设有加热器；密封座与支撑板相连，提升杆下端装设于密封座内；提升杆上端穿过炉底板并与加热器连接，本实用新型专利技术改善了以前单晶炉设备中主炉室加热器无法提升的弊端，又能保证与单晶炉整体之间的密封性。加热器随着坩埚一起提升，使传递到坩埚上的热量更均匀，而且减少了能量的损耗。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉加热器提升装置
本技术涉及机械
，具体涉及一种单晶炉加热器提升装置。
技术介绍
单晶炉，即全自动直拉单晶生长炉，是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。拉晶炉的主炉室为圆柱形炉体，主炉室包括内筒和外筒，外筒套设在内筒的外部，在中炉体的内筒内设置石墨加热器，以提供热场。在现有技术中，加热器不可移动，而坩埚在拉晶过程中是不断上升的，这就导致加热器的部分热量无法辐射到坩埚上，造成能量的浪费，而且加热器随着坩埚一起提升，能使受热更均匀。
技术实现思路
本技术的主要目的在于，克服现有技术中的不足，提供一种单晶炉加热器提升装置。本技术所采用的技术方案为：提供一种单晶炉加热器提升装置，包括动力装置、提升装置和密封装置；动力装置包括伺服电机与减速机；伺服电机连接减速机的输入端，减速机安装在减速机支座上，减速机的输出端连接提升装置；提升装置包括底板、换向器与丝杆；换向器固定在底板上，换向器一端与减速机输出端连接，一端连接丝杆下端；丝杆上设有丝杆螺母，丝杆螺母通过支撑板与密封装置相连；丝杆上端连接固定板，固定板上设有炉底板，炉底板上设有加热器；密封装置包括密封座，密封座与支撑板相连，提升杆下端装设于密封座内；提升杆上端穿过炉底板并与加热器连接，波纹管套设于提升杆外部，波纹管顶端与炉底板相连。波纹管随着密封座伸缩运动时，能保证密封装置和单晶炉体之间整体的密封性。作为一种改进，提升装置有多组并由连杆连接，实现同步运动。作为一种改进，波纹管为不锈钢波纹管，能够承受大于100℃的高温。作为一种改进，提升杆为陶瓷提升杆，既能耐高温又能保证在于加热器连接时绝缘。作为一种改进，波纹管与炉底板通过上法兰连接，且上法兰与炉底板之间设有O型圈用于密封。作为一种改进，波纹管下端与密封座通过下法兰连接，且下法兰与密封座之间设有O型圈用于密封。与现有技术相比，本技术的有益效果是：改善了以前单晶炉设备中主炉室加热器无法提升的弊端，在控制加热器的升降的过程中，又能保证与单晶炉整体之间的密封性。加热器随着坩埚一起提升，使传递到坩埚上的热量更均匀，而且减少了能量的损耗。附图说明图1为本技术的整体结构示意图。图2为本技术的密封装置局部结构示意图。图中标记为：1—伺服电机；2—减速机；3—减速机支座；4—底板；5—换向器；6—连杆；7—丝杆螺母；8—丝杆；9—支撑板；10—密封座；11—固定板；12—炉底板；13—波纹管；14—提升杆；15—加热器。具体实施方式为了更清楚地说明本技术实施的技术方案，下面结合附图对本技术的具体实施方式做进一步详细描述：如图1所示的一种单晶炉加热器提升装置，包含动力装置、提升装置和密封固定装置，用于控制单晶炉主炉室中加热器15的自动升降。动力装置包括伺服电机1与减速机2；伺服电机1连接减速机2的输入端，减速机2安装在减速机支座3上，减速机2的输出端连接提升装置；提升装置有两组，并由连杆6连接；提升装置包括底板4、换向器5与丝杆8；换向器5固定在底板4上，换向器5一端与减速机2输出端连接，一端连接丝杆8下端；丝杆8上设有丝杆螺母7，丝杆螺母7通过支撑板9与密封装置相连；丝杆8上端连接固定板11，固定板上设有炉底板12，炉底板12上设有加热器15；密封装置包括密封座10，密封座10与支撑板9相连，提升杆14下端装设于密封座10内；提升杆14为陶瓷提升杆，既能耐高温又能保证在与加热器15连接时绝缘。提升杆14上端穿过炉底板12并与加热器15连接，波纹管13套设于提升杆14外部，波纹管13顶端与炉底板12相连。波纹管13与炉底板12通过上法兰连接，且上法兰与炉底板12之间设有O型圈用于密封。波纹管13下端与密封座10通过下法兰连接，且下法兰与密封座10之间设有O型圈用于密封。波纹管13为不锈钢波纹管，能够承受大于100℃的高温。波纹管13随着密封座10伸缩运动时，能保证密封装置和单晶炉体之间整体的密封性。本技术的工作过程为：单晶炉加热器提升装置控制加热器15在拉晶过程中的自动上升，其中伺服电机1提供运动动力，经过换向器5换向带动丝杆8运动，丝杆8运动带动密封座10上升，密封座10上升使波纹管13被压缩，同时密封座10上固定的加热器15也随着密封座10的上升而提升。最后，需要注意的是，以上列举的仅是本技术的具体实施例。显然，本技术不仅限于以上实施例，还存有许多变形。本领域的相关技术人员能从本技术公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉加热器提升装置，其特征在于，包括动力装置、提升装置和密封装置；/n所述动力装置包括伺服电机与减速机；伺服电机连接减速机的输入端，减速机安装在减速机支座上，减速机的输出端连接提升装置；/n所述提升装置包括底板、换向器与丝杆；换向器固定在底板上，换向器一端与减速机输出端连接，一端连接丝杆下端；丝杆上设有丝杆螺母，丝杆螺母通过支撑板与密封装置相连；丝杆上端连接固定板，固定板上设有炉底板，炉底板上设有加热器；/n所述密封装置包括密封座，密封座与所述支撑板相连，提升杆下端装设于密封座内；提升杆上端穿过炉底板并与加热器连接，波纹管套设于提升杆外部，波纹管顶端与炉底板相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉加热器提升装置，其特征在于，包括动力装置、提升装置和密封装置；
所述动力装置包括伺服电机与减速机；伺服电机连接减速机的输入端，减速机安装在减速机支座上，减速机的输出端连接提升装置；
所述提升装置包括底板、换向器与丝杆；换向器固定在底板上，换向器一端与减速机输出端连接，一端连接丝杆下端；丝杆上设有丝杆螺母，丝杆螺母通过支撑板与密封装置相连；丝杆上端连接固定板，固定板上设有炉底板，炉底板上设有加热器；
所述密封装置包括密封座，密封座与所述支撑板相连，提升杆下端装设于密封座内；提升杆上端穿过炉底板并与加热器连接，波纹管套设于提升杆外部，波纹管顶端与炉底板相连。

【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，傅林坚，胡建荣，高宇，倪军夫，叶钢飞，春伟博，谭庆，黄伟，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33