【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及干涉仪，尤其涉及一种灵敏度标定方法、标定工件及掠入射干涉仪。
技术介绍
1、对于平整度误差达微米量级的表面，如蓝宝石基片、硅晶圆等，其面形变化达几个微米，已经超出了传统的正入射干涉仪的测量范围，因此需要掠入射干涉仪来测量其面形。与正入射干涉仪相比，掠入射干涉仪的测量灵敏度更高，能够有效地拓展干涉仪的测量范围，可以对微米级平整度误差的表面进行测量，甚至可以用于粗糙面的面形分布检测。然而，由于机械和光学装配过程中可能存在误差，实际掠入射角往往与设计值存在一定的偏差，导致测量灵敏度的计算存在误差，进而会影响表面形貌测量准确性。因此，在掠入射干涉仪中，准确、快速地标定测量灵敏度成为提高干涉仪测量精度的关键因素。
2、目前常用的灵敏度标定方法主要有两种：其一为采用标准角度的校准棱镜校准，常用于自准直式掠入射干涉仪。通过使用已知标准角度的棱镜底角，可以调节进入棱镜的光束角度，从而将掠入射角度校准至与校准棱镜一致的标准角度，由此获得干涉仪的测量灵敏度。其二为采用已知矢高的校准平晶标定，通过相移算法得到平晶面形的相位分布，再根...
【技术保护点】
1.一种灵敏度标定方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的灵敏度标定方法，其特征在于，根据所述目标特征信息和所述检测参数确定掠入射角度包括：
3.根据权利要求2所述的灵敏度标定方法，其特征在于，根据所述目标特征信息和所述检测参数计算第一倾角包括：
4.根据权利要求2所述的灵敏度标定方法，其特征在于，根据所述第一倾角和所述检测参数确定所述掠入射角度包括：
5.根据权利要求1所述的灵敏度标定方法，其特征在于，基于所述掠入射角度确定所述掠入射干涉仪的灵敏度包括：
6.一种标定工件，其特征在于，所述标定工件...
【技术特征摘要】
1.一种灵敏度标定方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的灵敏度标定方法，其特征在于，根据所述目标特征信息和所述检测参数确定掠入射角度包括：
3.根据权利要求2所述的灵敏度标定方法，其特征在于，根据所述目标特征信息和所述检测参数计算第一倾角包括：
4.根据权利要求2所述的灵敏度标定方法，其特征在于，根据所述第一倾角和所述检测参数确定所述掠入射角度包括：
5.根据权利要求1所述的灵敏度标定方法，其特征在于，基于所述掠入射角度确定所述掠入射干涉仪的灵敏度包括：
6.一种标定工件，其特征在于，所述标定工件包括特征标记，所述特征标记包括刻线标识和/或凸起标识，所述特征标记的尺寸小于相机的拍摄视场，所述特...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，王悦，俞晨阳，陈淑楠，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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