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本发明公开了一种灵敏度标定方法、标定工件及掠入射干涉仪，方法包括：获取标定工件的检测图像；根据检测图像获取目标特征信息；获取掠入射干涉仪的检测参数，检测参数包括干涉仪棱镜的折射率；根据目标特征信息和检测参数确定掠入射角度；基于掠入射角度确定...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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