【技术实现步骤摘要】
一种光学晶体生长反应釜的冷却结构
本技术属于光学晶体生产、加工设备领域，具体为一种光学晶体生长反应釜的冷却结构。
技术介绍
光学晶体生长反应釜又叫单晶硅生长炉，它用于单晶硅的生产和制造，在用光学晶体生长反应釜进行单晶硅的生产时，常规会用到以下步骤：1）把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚，通过石墨加热器产生的高温将其熔化；2）对熔化的硅液稍做降温，使之产生一定的过冷度，再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体（称作籽晶）插入熔体表面，待籽晶与熔体熔和后，慢慢向上拉籽晶，晶体便会在籽晶下端生长；3）控制籽晶生长出一段长为100mm左右、直径为3～5mm的细颈，用于消除高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错，这个过程就是引晶；4）放大晶体直径到工艺要求的大小，一般为75～300mm，这个过程称为放肩；5）突然提高拉速进行转肩操作，使肩部近似直角；6）进入等径工艺，通过控制热场温度和晶体提升速度，生长出一定直径规格大小的单晶柱体；7）待大部分硅溶液都已经完成结晶时，再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体，称为收尾工艺。这样一个单晶拉...
【技术保护点】
1.一种光学晶体生长反应釜的冷却结构，包括反应釜本体（1），其特征在于，所述反应釜本体（1）的中部开设有环形槽（2），环形槽（2）的内部设置有主冷却组件，主冷却组件由圆管（3）、若干个环形管（4）、入液管（5）、排液管（6）和阀门（7）组成，圆管（3）设置在环形槽（2）内部的两侧，环形槽（2）内腔两侧的顶部和底部均设置有辅助冷却组件，辅助冷却组件由环形散热板（8）、固定块（9）、固定杆（10）、支架（11）、插销（12）和拉伸弹簧（13）组成，环形散热板（8）设置在环形槽（2）内部的一侧，固定块（9）的相对侧分别与环形散热板（8）的顶端和底端固定连接，固定杆（10）的外部与...
【技术特征摘要】
1.一种光学晶体生长反应釜的冷却结构，包括反应釜本体（1），其特征在于，所述反应釜本体（1）的中部开设有环形槽（2），环形槽（2）的内部设置有主冷却组件，主冷却组件由圆管（3）、若干个环形管（4）、入液管（5）、排液管（6）和阀门（7）组成，圆管（3）设置在环形槽（2）内部的两侧，环形槽（2）内腔两侧的顶部和底部均设置有辅助冷却组件，辅助冷却组件由环形散热板（8）、固定块（9）、固定杆（10）、支架（11）、插销（12）和拉伸弹簧（13）组成，环形散热板（8）设置在环形槽（2）内部的一侧，固定块（9）的相对侧分别与环形散热板（8）的顶端和底端固定连接，固定杆（10）的外部与固定块（9）的内部穿插连接，固定杆（10）的一端均与反应釜本体（1）的一侧固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种光学晶体生长反应釜的冷却结构，其特征在于，若干个环形管（4）均与圆管（3）连通，若干个环形管（4）等距分布在两个圆管（3）之间，圆管（3）和若...
【专利技术属性】
技术研发人员：王依福，王炳予，
申请(专利权)人：兴山兴蓝光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42
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