【技术实现步骤摘要】
全自动炉室升降旋转系统
本技术是关于单晶硅制备设备领域,特别涉及一种全自动炉室升降旋转系统。
技术介绍
单晶硅是电子信息材料和光伏行业中的最基础性材料,而直拉法单晶炉是生产硅单晶的关键技术装备。单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将原料硅熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。在装料,取晶棒,清理等环节,根据不同的需求,需要将副炉室,隔离阀,炉盖或主炉室提升至一定高度并旋开,以便完成不同的任务要求。目前,在实现炉室升降旋转的方案中,使用的是靠液压油缸升降,电机和链轮控制旋转。虽然实现了一定程度的自动化,但是为了实现该方法,使用液压系统存在漏油会污染环境,半导体设备对环境要求严格,且漏油在高温下易燃烧,存在安全隐患。现有设备没有主室旋转功能,而链轮传动的旋转系统则存在启动慢,旋转精度等问题。鉴于上述问题,因此选择更加适当的驱动方式和传动方式,并设计更为简便的结构是本领域技术人员目前需要解决的问题。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术的不足,提供一种全自动炉体升降旋转机构。为了解决上述技术问题,本技术提供如下技术方案:一种全自动炉体升降旋转机构,包括立柱本体、旋转机构、提升机构与托架组件。立柱本体侧壁上自上至下沿线性依次设有上支撑座、升降机支座与下支撑座;升降机支座内设有通过伺服电机驱动的升降机组件;提升机构包括丝杆,丝杆下端与升降机组件相连;丝杆中部通过螺母连接有提升板,丝杆顶端设有丝杆顶座,丝杆顶座固设于立柱本体上;第二导向轴下端固设于升降机支座内; ...
【技术保护点】
1.一种全自动炉室升降旋转系统,其特征在于,包括立柱本体、旋转机构、提升机构与托架组件;/n所述立柱本体侧壁上自上至下沿线性依次设有上支撑座、升降机支座与下支撑座;所述升降机支座内设有通过伺服电机与行星减速机驱动的升降机组件;/n所述提升机构包括丝杆,丝杆下端与升降机组件相连;丝杆中部通过螺母连接有提升板,丝杆顶端设有丝杆顶座,丝杆顶座固设于立柱本体上;第二导向轴下端固设于升降机支座内;/n所述旋转机构固设于提升板上端面上,提升轴承座与旋转机构相连,第一导向轴下端通过自润滑轴承设于提升轴承座内,上端与上支撑座相连;第一导向轴上端设于上支撑座内;/n所述第一导向轴与第二导向轴均穿过提升板,并分别通过自润滑轴承与直线轴承进行固定于定位;/n所述托架组件包括托架、调节支架和提升块;提升块一端和炉体连接,另一端通过调节支架与托架相连,托架固设于提升轴承座侧部。/n
【技术特征摘要】
1.一种全自动炉室升降旋转系统,其特征在于,包括立柱本体、旋转机构、提升机构与托架组件;
所述立柱本体侧壁上自上至下沿线性依次设有上支撑座、升降机支座与下支撑座;所述升降机支座内设有通过伺服电机与行星减速机驱动的升降机组件;
所述提升机构包括丝杆,丝杆下端与升降机组件相连;丝杆中部通过螺母连接有提升板,丝杆顶端设有丝杆顶座,丝杆顶座固设于立柱本体上;第二导向轴下端固设于升降机支座内;
所述旋转机构固设于提升板上端面上,提升轴承座与旋转机构相连,第一导向轴下端通过自润滑轴承设于提升轴承座内,上端与上支撑座相连;第一导向轴上端设于上支撑座内;
所述第一导向轴与第二导向轴均穿过提升板,并分别通过自润滑轴承与直线轴承进行固定于定位;
所述托架组件包括托架、调节支架和提升块;提升块一端和炉体连...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹建伟,傅林坚,胡建荣,高宇,倪军夫,叶钢飞,春伟博,谭庆,梁成锋,
申请(专利权)人:浙江晶盛机电股份有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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