【技术实现步骤摘要】
一种晶棒取出防护组件、晶棒取出装置及晶棒取出方法
本专利技术涉及晶体生长
，尤其涉及一种晶棒取出防护组件、晶棒取出装置及晶棒取出方法。
技术介绍
多晶硅是生产太阳能光伏产品和半导体产品的主要原材料。丘克拉尔斯基(Czochralski，简称Cz)法是单晶硅最常用的制备方法之一，高纯度固态多晶硅原料在晶体生长炉内的坩埚中熔化形成熔体，通过籽晶提拉机构下降籽晶，使籽晶与旋转坩埚中的熔融状态下的硅熔汤接触，然后，将籽晶按照一定的工艺方法提拉出，熔体围绕籽晶凝固形成单晶硅棒。传统的Cz晶体生长炉在完成一炉原料拉晶生产后，需要为晶棒的取出做很多繁杂的工作，包括冷却、牵引室移动、人工保护晶棒下降、晶棒在运晶小车上固定、晶颈剪断、运晶小车移动、天车吊取晶棒转运、晶棒成品车储放等工序。这些工序费时费力，严重影响了拉制完成的单晶硅棒的取出，制约了直拉式单晶硅的生产效率，且存在单晶硅棒容易损坏的风险；此外，在牵引室移动、人工保护晶棒下降、晶棒在运晶小车上固定、晶颈剪断、天车吊取晶棒转运的过程中，大量涉及人工操作，在此人工操作过程中...
【技术保护点】
1.一种晶棒取出防护组件，用于在晶棒随牵引室转移取出过程中保护晶棒，所述牵引室内部设有容纳晶棒的腔室，所述牵引室的底部设有开口；其特征在于，所述晶棒取出防护组件包括：/n保护模块，包括保护支架、两个旋转轴及第一动力部件，所述保护支架包括平行设置的两个旋转臂、以及连接在两个所述旋转臂之间的托板，两个所述旋转轴分别设置在所述牵引室的外壁上的相对两侧，每一所述旋转臂对应枢接于一个所述旋转轴，且所述旋转臂能够绕对应的所述旋转轴旋转，以带动所述托板在第一状态和第二状态之间切换，在所述第一状态，所述托板位于所述牵引室的开口下方，以承托自所述开口伸出的晶棒；在所述第二状态，所述托板移动至...
【技术特征摘要】
1.一种晶棒取出防护组件，用于在晶棒随牵引室转移取出过程中保护晶棒，所述牵引室内部设有容纳晶棒的腔室，所述牵引室的底部设有开口；其特征在于，所述晶棒取出防护组件包括：
保护模块，包括保护支架、两个旋转轴及第一动力部件，所述保护支架包括平行设置的两个旋转臂、以及连接在两个所述旋转臂之间的托板，两个所述旋转轴分别设置在所述牵引室的外壁上的相对两侧，每一所述旋转臂对应枢接于一个所述旋转轴，且所述旋转臂能够绕对应的所述旋转轴旋转，以带动所述托板在第一状态和第二状态之间切换，在所述第一状态，所述托板位于所述牵引室的开口下方，以承托自所述开口伸出的晶棒；在所述第二状态，所述托板移动至避让开所述牵引室的开口的位置；所述第一动力部件与两个所述旋转轴中的至少一个旋转轴连接，以驱动所述两个旋转轴中至少一个旋转轴旋转；
升降模块，所述保护模块通过所述升降模块连接在所述牵引室的外壁上，且所述升降模块能够驱动所述保护模块在第一方向上进行升降运动，所述第一方向为所述牵引室内的晶棒的长度方向；
以及，侧面防护模块，包括：两个移动杆，每一所述旋转臂上连接一个所述移动杆，且两个所述移动杆一端连接在所述旋转臂上，另一端相向设置，并能够在与所述托板平行的方向上进行相向或相反运动；防护元件，设置在两个所述移动杆的相向设置的一端；及用于驱动所述移动杆往复移动的第三动力部件，所述第三动力部件与所述移动杆连接。
2.根据权利要求1所述的晶棒取出防护组件，其特征在于，
所述升降模块包括：
直线导轨，所述直线导轨沿所述第一方向延伸；
以及，第二动力部件，驱动所述保护模块沿所述直线导轨在所述第一方向上往复运动。
3.根据权利要求2所述的晶棒取出防护组件，其特征在于，
所述托板上设有用于对晶棒进行定位的定位元件。
4.根据权利要求3所述的晶棒取出防护组件，其特征在于，
所述托板上设有用于对晶棒进行缓冲保护的柔性缓冲元件。
5.根据权利要求4所述的晶棒取出防护组件，其特征在于，
所述定位元件包括：开设于所述托...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘佳奇，
申请(专利权)人：西安奕斯伟硅片技术有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西;61
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