温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种晶棒取出防护组件、晶棒取出装置及晶棒取出方法，该晶棒取出防护组件包括：保护模块，包括保护支架、两个旋转轴及第一动力部件，保护支架包括两个旋转臂及连接两个旋转臂的托板，旋转臂可绕旋转轴旋转；第一动力部件驱动旋转轴旋转；升降模块，...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。