下载一种晶体生长引晶装置的技术资料

文档序号:24376302

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本实用新型公开了一种晶体生长引晶装置,包括籽晶杆;旋转伺服电机,与所述籽晶杆驱动连接;升降支撑臂,承载所述旋转伺服电机;保护管件,套设于所述籽晶杆靠近所述升降支撑臂的一端部;波纹管,套设于所述籽晶杆远离所述升降支撑臂的一端部;减震支架,一端...
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