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一种硅芯铸锭炉用热场结构制造技术
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文档序号:24282669
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本实用新型提供了一种硅芯铸锭炉用热场结构,包括:由内往外依次设置的石英坩埚,为长方形;加热器,设于石英坩埚的四周和顶部,包括上加热器和侧面加热器;保温层,设于加热器的外部,所述保温层包括侧保温层、底保温层和上保温层,所述侧保温层设于石英坩埚...
该专利属于浙江晶阳机电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶阳机电有限公司授权不得商用。
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