一种用于晶圆多点测试的探针卡制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆多点测试的探针卡，涉及探针卡领域，包括PCB板，PCB板的前侧面中部固定连接有探针基座，探针基座的前侧面固定连接有多个探针，探针包括探针筒和探针柱，探针柱设置于探针筒的顶端，探针柱的顶端设置为半圆形，探针柱的底端插入探针筒，探针柱的底端固定连接有挡盘，挡盘的直径大于探针筒筒口的内径，挡盘的下表面设有探针弹簧。本实用新型专利技术通过探针筒、探针柱、挡盘、滑槽以及探针弹簧的配合使用，能够对测试时产生的压力进行缓冲，避免过大的压力对探针柱造成损坏，同时能够保证探针柱与芯片接触，通过将探针柱的顶端设置为半圆形，能够延长探针柱的使用寿命，结构简单实用。

A probe card for wafer multipoint test

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆多点测试的探针卡
本技术涉及探针卡领域，特别涉及一种用于晶圆多点测试的探针卡。
技术介绍
探针卡是一种测试接口，主要对晶圆进行测试，通过将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制对芯片参数进行测试。由于多根探针在安装时很难做到各个针头处于同一水平面，探针卡在进行晶圆多点同时测试(多点同测)时，需要对各个探针稍微施加压力，以确保每个探针都能可靠接触到芯片上的焊垫或凸块。但传统的探针卡的探针尖端为圆尖状，多次被施加压力进行测试后容易发生针尖损坏，使用寿命不长久。因此，专利技术一种用于晶圆多点测试的探针卡来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于晶圆多点测试的探针卡，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的探针卡的探针尖端为圆尖状，多次被施加压力进行测试后容易发生针尖损坏，使用寿命不长久的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于晶圆多点测试的探针卡，包括PCB板，所述PCB板的前侧面中部固定连接有探针基座，所述探针基座的前侧面固定连接有多个探针；所述探针包括探针筒和探针柱，所述探针柱设置于探针筒的顶端，所述探针柱的顶端设置为半圆形，所述探针柱的底端插入探针筒，所述探针柱的底端固定连接有挡盘，所述挡盘的直径大于探针筒筒口的内径，所述挡盘的下表面设有探针弹簧。可选的，多个所述探针设置有多排，每排多个所述探针等间距分布。可选的，所述PCB板呈圆形，所述PCB板的周向开设有多个定位槽，多个所述定位槽绕PCB板的圆心呈环形阵列分布。可选的，所述探针筒内开设有与所述挡盘适配的滑槽，所述挡盘与滑槽滑动连接。可选的，所述探针弹簧的顶端与挡盘贴合，所述探针弹簧的底端与探针筒的内底壁贴合。本技术的技术效果和优点：本技术通过探针筒、探针柱、挡盘、滑槽以及探针弹簧的配合使用，能够对测试时产生的压力进行缓冲，避免过大的压力对探针柱造成损坏，同时能够保证探针柱与芯片接触，通过将探针柱的顶端设置为半圆形，能够延长探针柱的使用寿命，结构简单实用。附图说明图1为本技术结构的示意图。图2为本技术探针基座结构的仰视图。图3为本技术探针结构的剖面示意图。图中：1、PCB板；2、探针基座；3、探针；4、定位槽；5、探针筒；6、探针柱；7、挡盘；8、滑槽；9、探针弹簧。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。本技术提供了如图1-3所示的一种用于晶圆多点测试的探针卡，包括PCB板1；由图1和图2所示，PCB板1的前侧面中部固定连接有探针基座2，探针基座2的前侧面固定连接有多个探针3，多个探针3设置有多排，每排多个探针3等间距分布，结构合理，PCB板1呈圆形，PCB板1的周向开设有多个定位槽4，多个定位槽4绕PCB板1的圆心呈环形阵列分布，方便定位安装。由图3所示，探针3包括探针筒5和探针柱6，探针柱6设置于探针筒5的顶端，探针柱6的顶端设置为半圆形，能够延长探针柱6的使用寿命，结构简单实用，探针柱6的底端插入探针筒5，探针柱6的底端固定连接有挡盘7，探针筒5内开设有与挡盘7适配的滑槽8，挡盘7与滑槽8滑动连接，结构合理，挡盘7的直径大于探针筒5筒口的内径，避免探针柱6脱离探针筒5，挡盘7的下表面设有探针弹簧9，探针弹簧9的顶端与挡盘7贴合，探针弹簧9的底端与探针筒5的内底壁贴合，能够对测试时产生的压力进行缓冲，避免过大的压力对探针柱6造成损坏，同时能够保证探针柱6与芯片接触。本实用工作原理：当进行晶圆多点测试时，探针柱6挤压芯片上的焊垫或凸块，探针柱6带动挡盘7挤压探针弹簧9，挡盘7在滑槽8内滑动，能够减少过多的压力对探针柱6造成损坏，同时能够保证探针柱6与芯片接触，通过将探针柱6的顶端设置为半圆形，能够延长探针柱6的使用寿命。最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶圆多点测试的探针卡，包括PCB板(1)，其特征在于：所述PCB板(1)的前侧面中部固定连接有探针基座(2)，所述探针基座(2)的前侧面固定连接有多个探针(3)；/n所述探针(3)包括探针筒(5)和探针柱(6)，所述探针柱(6)设置于探针筒(5)的顶端，所述探针柱(6)的顶端设置为半圆形，所述探针柱(6)的底端插入探针筒(5)，所述探针柱(6)的底端固定连接有挡盘(7)，所述挡盘(7)的直径大于探针筒(5)筒口的内径，所述挡盘(7)的下表面设有探针弹簧(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆多点测试的探针卡，包括PCB板(1)，其特征在于：所述PCB板(1)的前侧面中部固定连接有探针基座(2)，所述探针基座(2)的前侧面固定连接有多个探针(3)；
所述探针(3)包括探针筒(5)和探针柱(6)，所述探针柱(6)设置于探针筒(5)的顶端，所述探针柱(6)的顶端设置为半圆形，所述探针柱(6)的底端插入探针筒(5)，所述探针柱(6)的底端固定连接有挡盘(7)，所述挡盘(7)的直径大于探针筒(5)筒口的内径，所述挡盘(7)的下表面设有探针弹簧(9)。


2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆多点测试的探针卡，其特征在于：
多个所述探针(3)设置有多排，每排多个所述探针(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘家铭，张孝仁，苏华庭，
申请(专利权)人：元鼎丰投资有限公司，
类型：新型
国别省市：中国香港;81