预润湿设备、预润湿系统及晶圆预润湿的预处理方法技术方案

本发明专利技术公开了一种预润湿设备、预润湿系统及晶圆预润湿的预处理方法，预润湿设备用于晶圆的预润湿，包括第一箱体，所述第一箱体的内部具有容置腔，所述容置腔用于通入预润湿液体，所述预润湿设备还包括夹持部，所述夹持部设置在所述容置腔的内部，所述夹持部用于卡持所述晶圆的外圆面，以使所述晶圆浸没于所述预润湿液体中。本发明专利技术利用设置在容置腔内的夹持部卡住晶圆，再向容置腔内充入预润湿液体，从而将晶圆浸没在预润湿液体中，进而使得晶圆的两个侧面都能被预润湿液体浸润。本发明专利技术的预润湿设备结构简单，一次即可实现晶圆的两个侧面的润湿，有利于提高晶圆的预润湿的预处理的效率。

【技术实现步骤摘要】
预润湿设备、预润湿系统及晶圆预润湿的预处理方法
本专利技术涉及晶圆制备领域，特别涉及一种预润湿设备、预润湿系统及晶圆预润湿的预处理方法。
技术介绍
在对晶圆电镀之前，通常需要对晶圆进行预湿润的预处理。预湿润有利于提高晶圆的电镀品质，对具有较大深宽比等特征的晶圆，比如晶圆具有TSV沟槽，预湿润提高晶圆电镀品质的效果更加明显。如果晶圆电镀前不进行预润湿的预处理，则在电镀过程中，由于电镀液的表面张力，电镀液与晶圆表面之间的固液界面极易形成气体气泡，从而引起晶圆的镀膜金属夹断(pinchoff)，进而在晶圆的特征底部留下空隙而导致缺陷，诸如电路线被阻断等。为了对晶圆进行预湿润的预处理，可以采用将晶圆平放在能够转动的支架上，并将该支架设置在真空室内，同时利用喷嘴将预湿润流体喷射到晶圆的上侧面，以实现晶圆的预湿润，在该预处理过程中，支架需保持转动状态，以带动晶圆转动。该专利的技术方案结构复杂、操作不便，且只能对晶圆的上侧面喷射预湿润流体，不利于晶圆的两侧面同时进行预湿润的预处理。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是为了克服现有技术中晶圆的两侧面在预湿润的预处理中不能同时处理的缺陷，提供一种预润湿设备、预润湿系统及晶圆预润湿的预处理方法。本专利技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题：一种预润湿设备，用于晶圆的预润湿，包括第一箱体，所述第一箱体的内部具有容置腔，所述容置腔用于通入预润湿液体，其特点在于，所述预润湿设备还包括夹持部，所述夹持部设置在所述容置腔的内部，所述夹持部用于卡持所述晶圆的外圆面，以使所述晶圆浸没于所述预润湿液体中。在本实施例中，通过采用以上结构，利用设置在容置腔内的夹持部卡住晶圆，再向容置腔内充入预润湿液体，从而将晶圆浸没在预润湿液体中，进而使得晶圆的两个侧面都能被预润湿液体浸润。本方案的预润湿设备结构简单，一次即可实现晶圆的两个侧面的润湿，有利于提高晶圆的预润湿的预处理的效率。另外，本方案的预润湿设备在晶圆的预润湿的预处理过程中不需要转动晶圆，避免了动力设备的使用，从而有利于提高预润湿液体在第一箱体内的稳定性，有利于提高晶圆的预润湿的处理效果，有利于提高预润湿设备的稳定性。较佳地，所述夹持部具有卡槽，所述卡槽用于卡持所述晶圆的外圆面。在本实施例中，通过采用以上结构，利用结构简单的卡槽卡持晶圆，在简化预润湿设备的同时，也有利于提高晶圆的稳定性。较佳地，自所述卡槽的入口至所述卡槽的底部，所述卡槽的开口的宽度减小。在本实施例中，通过采用以上结构，利用卡槽较宽的开口，有利于降低晶圆卡入卡槽的难度，利用卡槽较窄的底部，有利于提高卡持晶圆的稳固性。较佳地，所述卡槽具有相对设置的第一面及第二面，所述第一面及所述第二面中至少一个设有沟槽。在本实施例中，通过采用以上结构，利用设置在第一面、第二面的沟槽，在提高卡槽与晶圆之间摩擦力的同时，还有利于减少卡槽与晶圆的接触面积，使得预润湿液体能够通过沟槽接触晶圆，有利于提高晶圆的预润湿的处理效果。较佳地，所述预润湿设备还包括防溅部，所述防溅部设置在所述容置腔的内部，所述防溅部具套设于所述晶圆的外部，以使至少部分所述晶圆的侧面被所述防溅部遮挡。在本实施例中，通过采用以上结构，利用防溅部遮挡晶圆，有利于避免预润湿液体飞溅至晶圆的侧面，进而有利于提高晶圆侧面的洁净度，有利于提高晶圆的预润湿的处理效果。较佳地，所述防溅部包括两个相对设置的宽板及两个相对设置的窄板，两个所述窄板设置在两个所述宽板的两端，所述晶圆插设于两个所述宽板之间。在本实施例中，通过采用以上结构，利用宽板及窄板围设在晶圆的外侧，有效地减少了预润湿液体飞溅至晶圆的侧面，进而有利于提高晶圆侧面的洁净度，有利于提高晶圆的预润湿的处理效果。较佳地，所述宽板设有缺口，沿晶圆进入所述防溅部的方向，所述缺口的宽度减小。在本实施例中，通过采用以上结构，利用缺口，有利于降低晶圆插入防溅部的难度，有利于避免晶圆触碰到防溅部的内壁。较佳地，远离所述晶圆进入所述防溅部的一端，所述窄板凸出于所述宽板。在本实施例中，通过采用以上结构，利用凸出的窄板连接第一箱体的内壁，使得宽板与第一箱体的内壁之间形成空隙，该空隙有利于预润湿液体顺利地进入防溅部的内部，从而使得预润湿液体能够更加充分的接触到晶圆的侧面，有利于提高晶圆的预润湿的处理效果。较佳地，所述润湿设备还包括卡板组件，所述卡板组件固定设置在所述第一箱体的内侧面，所述卡板组件包括两个相对设置的卡板，两个所述宽板卡设于两个所述卡板之间。在本实施例中，通过采用以上结构，利用卡板固定防溅部，有利于降低防溅部安装至第一箱体的难度，有利于提高防溅部安装的精度，有利于提高更换不同规格的防溅部的便利性，也有利于提高防溅部的稳定性。较佳地，所述宽板设有固定部，所述固定部用于固定所述夹持部。在本实施例中，通过采用以上结构，利用固定部安装夹持部，使得防溅部与夹持部组成一整体结构，有利于降低夹持部的安装难度，有利于通过更换防溅部，从而实现夹持部的同步更换，有利于提高更换不同规格的夹持部的便利性。较佳地，所述夹持部包括固定柱，所述固定柱的圆周方向设有卡槽，所述固定柱的两端插分别设于所述宽板内。在本实施例中，通过采用以上结构，将设有卡槽的固定柱安装至宽板，有利于简化卡槽安装的难度，也有利于提高卡槽的稳定性。较佳地，所述夹持部还包括套管，所述卡槽设置在所述套管上，所述套管套设于所述固定柱的外侧面。在本实施例中，通过采用以上结构，通过套管连接卡槽与固定柱，简化了固定卡槽的设计形式，也有利于提高卡槽的稳固性。较佳地，所述固定柱的两端均设有螺纹，所述固定柱的两端分别设有螺母，所述螺母自所述宽板的外侧面沿所述螺纹旋紧。在本实施例中，通过采用以上结构，利用螺母及固定柱两端的螺纹，在实现安装固定柱的同时，也便捷地实现了固定柱相对于宽板的位置的调节，进而实现了卡槽位置的调节，有利于卡槽更加稳固的卡槽晶圆。较佳地，所述固定部为固定槽，所述固定槽设置在所述宽板上，自远离所述晶圆进入所述防溅部的一端，所述固定槽向所述晶圆进入所述防溅部的一端延伸。在本实施例中，通过采用以上结构，利用固定槽，便捷地实现了固定柱在固定槽深度方向的调节，从而有利于固定柱的卡槽能够卡持不同尺寸的晶圆，有利于提高预润湿设备的使用范围。较佳地，所述固定部的数量为多个，每个所述固定部内均设有夹持部。在本实施例中，通过采用以上结构，利用多个设置在固定部内的夹持部，有利于提高晶圆的稳定性。较佳地，所述预润湿设备包括多个所述防溅部，多个所述防溅部并列设置在所述容置腔内。在本实施例中，通过采用以上结构，利用多个并列设置的防溅部，并在每个防溅部的固定部中安装夹持部，并在每个夹持部内均放入晶圆，从而实现多个晶圆的同时进行预润湿的预处理，有效地提高了晶圆预润湿的效率。较佳地，所述防溅部设置在所述第一箱体的底部。较佳地，所述晶圆的侧面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种预润湿设备，用于晶圆的预润湿，包括第一箱体，所述第一箱体的内部具有容置腔，所述容置腔用于通入预润湿液体，其特征在于，所述预润湿设备还包括夹持部，所述夹持部设置在所述容置腔的内部，所述夹持部用于卡持所述晶圆的外圆面，以使所述晶圆浸没于所述预润湿液体中。/n

【技术特征摘要】
1.一种预润湿设备，用于晶圆的预润湿，包括第一箱体，所述第一箱体的内部具有容置腔，所述容置腔用于通入预润湿液体，其特征在于，所述预润湿设备还包括夹持部，所述夹持部设置在所述容置腔的内部，所述夹持部用于卡持所述晶圆的外圆面，以使所述晶圆浸没于所述预润湿液体中。


2.如权利要求1所述的预润湿设备，其特征在于，所述夹持部具有卡槽，所述卡槽用于卡持所述晶圆的外圆面。


3.如权利要求2所述的预润湿设备，其特征在于，自所述卡槽的入口至所述卡槽的底部，所述卡槽的开口的宽度减小。


4.如权利要求2所述的预润湿设备，其特征在于，所述卡槽具有相对设置的第一面及第二面，所述第一面及所述第二面中至少一个设有沟槽。


5.如权利要求1中任意一项所述的预润湿设备，其特征在于，所述预润湿设备还包括防溅部，所述防溅部设置在所述容置腔的内部，所述防溅部套设于所述晶圆的外部，以使至少部分所述晶圆的侧面被所述防溅部遮挡。


6.如权利要求5所述的预润湿设备，其特征在于，所述防溅部包括两个相对设置的宽板及两个相对设置的窄板，两个所述窄板设置在两个所述宽板的两端，所述晶圆插设于两个所述宽板之间。


7.如权利要求6所述的预润湿设备，其特征在于，所述宽板设有缺口，沿晶圆进入所述防溅部的方向，所述缺口的宽度减小。


8.如权利要求6所述的预润湿设备，其特征在于，远离所述晶圆进入所述防溅部的一端，所述窄板凸出于所述宽板。


9.如权利要求6所述的预润湿设备，其特征在于，所述润湿设备还包括卡板组件，所述卡板组件固定设置在所述第一箱体的内侧面，所述卡板组件包括两个相对设置的卡板，两个所述宽板卡设于两个所述卡板之间。


10.如权利要求6所述的预润湿设备，其特征在于，所述宽板设有固定部，所述固定部用于固定所述夹持部。


11.如权利要求10所述的预润湿设备，其特征在于，所述夹持部包括固定柱，所述固定柱的圆周方向设有卡槽，所述固定柱的两端插分别设于所述宽板内。


12.如权利要求11所述的预润湿设备，其特征在于，所述夹持部还包括套管，所述卡槽设置在所述套管上，所述套管套设于所述固定柱的外侧面。


13.如权利要求11所述的预润湿设备，其特征在于，所述固定柱的两端均设有螺纹，所述固定柱的两端分别设有螺母，所述螺母自所述宽板的外侧面沿所述螺纹旋紧。


14.如权利要求11所述的预润湿设备，其特征在于，所述固定部为固定槽，所述固定槽设置在所述宽板上，自远离所述晶圆进入所述防溅部的一端，所述固定槽向所述晶圆进入所述防溅部的一端延伸。


15.如权利要求10所述的预润湿设备，其特征在于，所述固定部的数量为多个，每个所述固定部内均设有夹持部。


16.如权利要求10所述的预润湿设备，其特征在于，所述预润湿设备包括多个所述防溅部，多个所述防溅部并列设置在所述容置腔内。


17.如权利要求5-16中任意一项所述的预润湿设备，其特征在于，所述防溅部设置在所述第一箱体的底部。


18.如权利要求17所述的预润湿设备，其特征在于，所述晶圆的侧面与水平面的夹角的范围为≥0度且≤90度。


19.如权利要求1所述的预润湿设备，其特征在于，所述第一箱体的侧壁设有抽气口及泄压口，所述抽气口用于连接抽气装置，所述抽气口位置高于所述容置腔内的预润湿液体的最高位置。


20.如权利要求1所述的预润湿设备，其特征在于，所述第一箱体的底部设有进液口及排液口，所述进液口用于输入预润湿液体，所述排液口用于排出所述预润湿液体。


21.一种预润湿系统，其特征在于，所述预润湿系统包括如权利要求1-20中任意一项所述的预润湿设备。


22.如权利要求21所述的预润湿系统，其特征在于，所述预润湿系统还包括抽气装置及储液槽，所述抽气装置与所述预润湿设备相连通；所述储液槽用于存储预润湿液体，所述储液槽利用管道与所述预润湿设备相连通。


23.如权利要求22所述的预润湿系统，其特征在于，所述预润湿系统还包括第一控制器、第一执行器及第一液位传感器，所述第一液位传感器设置在所述储液槽内，所述第一控制器与第一执行器、所述第一液位传感器通信连接；
其中，当所述储液槽内的预润湿液体的液位到达第一预设位置时，所述第一液位传感器用于向所述第一控制器发出充满信号；
当所述第一控制器接收到所述充满信号后，所述第一控制器用于向所述第一执行器发出关闭信号，所述第一执行器关闭所述储液槽的预润湿液体的入口。


24.如权利要求23所述的预润湿系统，其特征在于，当所述储液槽内的预润湿液体的液位...

【专利技术属性】
技术研发人员：史蒂文·贺·汪，
申请(专利权)人：新阳硅密上海半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31