一种轨道式晶圆清洗干燥机器人制造技术

本发明专利技术公开了一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，包括机架、分别设于机架左右两端的左滑台转移机构和右滑台转移机构，以及多个挂具机构、并排设于机架上且位于左滑台转移机构和右滑台转移机构之间的第一保持轨道和第二保持轨道，第一保持轨道转动设有第一移料轨道，第二保持轨道转动设有第二移料轨道，还包括清洗槽和清洗干燥槽，清洗槽和清洗干燥槽均位于第一保持轨道或第二保持轨道的下方，清洗干燥槽的两内侧壁上设有喷气组件，喷气组件用于对经过清洗后的晶圆进行干燥处理；本发明专利技术利用左、右滑台转移机构，第一、二移料轨道以及第一、二保持轨道相互配合实现挂具机构循环，从而可以连续进行晶圆的清洗干燥处理，提高生产效率，适合自动化生产。

A kind of orbital wafer cleaning and drying robot

【技术实现步骤摘要】
一种轨道式晶圆清洗干燥机器人
本专利技术涉及一种轨道式晶圆清洗干燥机器人。
技术介绍
在半导体集成电路的生产过程中，晶圆清洗、干燥是出现频率最高的生产工序，其清洗、干燥质量直接影响到最终芯片的良率。目前，晶圆片清洗干燥最先进的方式为Marangoni（马兰戈尼）干燥法，其通过将晶圆提拉出去离子水表面时，向晶圆和去离子水接触的弯液面喷射高温的IPA蒸汽和氮气混合气体以诱导水与晶圆片表面产生马兰戈尼效应，从而达到对晶圆进行干燥的目的。现有晶圆的干燥处理均采用间断式的生产方式，生产效率较低，不利于自动化生产。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服以上所述的缺点，提供一种轨道式晶圆清洗干燥机器人。为实现上述目的，本专利技术的具体方案如下：一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，包括机架、两个分别设于机架左右两端的左滑台转移机构和右滑台转移机构，以及多个挂具机构、并排设于机架上且位于左滑台转移机构和右滑台转移机构之间的第一保持轨道和第二保持轨道，所述左滑台转移机构和右滑台转移机构均用于承载挂具机构以及用于转移挂具机构，多个所述挂具机构分别用于夹持定位住晶圆，所述第一保持轨道转动设置有第一移料轨道，所述第二保持轨道转动设置有第二移料轨道，所述第一保持轨道上还固定有用于驱动第一移料轨道转动的第一驱动件，所述第二保持轨道上还固定有用于驱动第二移料轨道转动的第二驱动件；所述第一移料轨道用于将左滑台转移机构或右滑台转移机构上的挂具机构转移至第一保持轨道上，同时带动承载于第一保持轨道上的挂具机构步进式移动至右滑台转移机构或左滑台转移机构上；所述第二移料轨道用于将右滑台转移机构或左滑台转移机构的挂具机构转移至第二保持轨道，同时带动承载于第二保持轨道上的挂具机构步进式移动至左滑台转移机构或右滑台转移机构上；还包括并排设于机架上的清洗槽和清洗干燥槽，所述清洗槽和清洗干燥槽均位于第一保持轨道或第二保持轨道的下方，所述清洗干燥槽的两内侧壁上设有喷气组件，所述喷气组件用于对经过清洗后的晶圆进行干燥处理。其中，所述第一保持轨道和第二保持轨道的结构相同，所述第一保持轨道和第二保持轨道均包括两个并排且间隔设置的第一侧立板以及两个对应设于两个第一侧立板上的第二侧立板，第一侧立板固定连接在机架上，所述第二侧立板固定在第一侧立板的顶端；所述第一移料轨道与第二移料轨道的结构相同，所述第一移料轨道和第二移料轨道均包括四个移料摆动架以及两个移料定位板，四个所述移料摆动架设于两个第一侧立板之间、且呈矩形分布，所述移料摆动架的一端转动连接在第一侧立板上，所述移料摆动架的另一端转动连接在移料定位板上，每个所述移料定位板的两端分别对应与移料摆动架连接，所述第一驱动件的输出端与第一移料轨道的移料摆动架传动连接，所述第二驱动件的输出端与第二移料轨道的移料摆动架传动连接。其中，所述第二侧立板上间隔设有两个第一定位槽，所述移料定位板上间隔设有三个第二定位槽，相邻两个第二定位槽的间隔距离与两个第一定位槽的间隔距离相等。其中，所述左滑台转移机构和右滑台转移机构的结构相同，两者均包括直线电机本体和挂具转移板，所述直线电机本体固定在机架上，所述挂具转移板的一端固定在直线电机本体的输出端，所述挂具转移板的另一端设有U形缺口，所述U形缺口的口径大于两个移料定位板之间的距离。其中，所述喷气组件包括喷气固定座、旋转喷管以及用于驱动旋转喷管旋转的第三驱动件，所述喷气固定座设于清洗干燥槽的内侧壁，所述喷气固定座具有进气嘴和用于与旋转喷管的形状配合的容置槽，所述旋转喷管的两端转动连接在喷气固定座上，所述旋转喷管的一侧延伸有圆弧导板，所述圆弧导板活动嵌入容置槽内并与容置槽形成有腔体，所述旋转喷管还设有喷口，所述喷口沿旋转喷管的长度方向贯穿旋转喷管和圆弧导板后与腔体连通，所述进气嘴与腔体连通，所述旋转喷管的另一侧突伸出容置槽，所述第三驱动件固定在喷气固定座的一端，所述第三驱动件的输出端与旋转喷管的一端连接。其中，所述挂具机构包括有T形的悬挂臂和环状的挂框，所述悬挂臂的竖直端连接在挂框的外环壁上，所述挂框上嵌设有四个卡紧组件，四个所述卡紧组件呈十字形分布，所述卡紧组件包括电磁铁、卡紧弹簧和卡爪，所述电磁铁嵌设在挂框内，所述卡爪的一端活动嵌设在挂框内，所述卡紧弹簧的两端分别抵靠在电磁铁和卡爪的一端上；所述卡爪的自由端部内凹形成有凹槽，所述凹槽沿卡爪的宽度方向贯穿卡爪的两侧，所述凹槽的侧壁呈弧形设置。本专利技术的有益效果为：与现有技术相比，本专利技术利用左、右滑台转移机构，第一、二移料轨道以及第一、二保持轨道相互配合实现挂具机构循环，从而可以连续进行晶圆的清洗干燥处理，提高生产效率，适合自动化生产。附图说明图1是本专利技术的结构示意图；图2是第一保持轨道与第一移料轨道或第二保持轨道与第二移料轨道配合的结构示意图；图3是本专利技术中清洗干燥槽与喷气组件配合的结构示意图；图4是本专利技术中挂具机构的结构示意图；图5是图4中I处的局部放大示意图；图6是本专利技术中喷气组件的分解示意图；图7是图6中II处的局部放大示意图；附图标记说明：1-机架；2-左滑台转移机构；3-右滑台转移机构；4-挂具机构；41-悬挂臂；42-挂框；43-卡紧组件；431-电磁铁；432-卡紧弹簧；433-卡爪；5-第一保持轨道；6-第二保持轨道；7-第一移料轨道；8-第二移料轨道；10-第一驱动件；20-第二驱动件；30-清洗槽；40-清洗干燥槽；50-喷气组件；501-喷气固定座；5011-进气嘴；5012-容置槽；502-旋转喷管；5021-圆弧导板；5022-喷口；503-第三驱动件；60-第一侧立板；70-第二侧立板；80-移料摆动架；90-移料定位板。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步详细的说明，并不是把本专利技术的实施范围局限于此。如图1至图7所示，本实施例所述的一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，包括机架1、两个分别设于机架1左右两端的左滑台转移机构2和右滑台转移机构3，以及多个挂具机构4、并排设于机架1上且位于左滑台转移机构2和右滑台转移机构3之间的第一保持轨道5和第二保持轨道6，所述左滑台转移机构2和右滑台转移机构3均用于承载挂具机构4以及用于转移挂具机构4，多个所述挂具机构4分别用于夹持定位住晶圆，所述第一保持轨道5转动设置有第一移料轨道7，所述第二保持轨道6转动设置有第二移料轨道8，所述第一保持轨道5上还固定有用于驱动第一移料轨道7转动的第一驱动件10，所述第二保持轨道6上还固定有用于驱动第二移料轨道8转动的第二驱动件20；所述第一移料轨道7用于将右滑台转移机构3上的挂具机构4转移至第一保持轨道5上，同时带动承载于第一保持轨道5上的挂具机构4步进式移动至左滑台转移机构2上；所述第二移料轨道8用于将左滑台转移机构2的挂具机构4转移至第二保持轨道6，同时带动承载于第二保持轨道6上的挂具机构4步进式移动至右滑台转移机构3上；还包括并排设于机架1上的清洗槽30和清洗干本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，其特征在于，其特征在于，其特征在于（1）（1）（1），包括机架（1）、两个分别设于机架（1）左右两端的左滑台转移机构（2）和右滑台转移机构（3），以及多个挂具机构（4）、并排设于机架（1）上且位于左滑台转移机构（2）和右滑台转移机构（3）之间的第一保持轨道（5）和第二保持轨道（6），所述左滑台转移机构（2）和右滑台转移机构（3）均用于承载挂具机构（4）以及用于转移挂具机构（4），多个所述挂具机构（4）分别用于夹持定位住晶圆，所述第一保持轨道（5）转动设置有第一移料轨道（7），所述第二保持轨道（6）转动设置有第二移料轨道（8），所述第一保持轨道（5）上还固定有用于驱动第一移料轨道（7）转动的第一驱动件（10），所述第二保持轨道（6）上还固定有用于驱动第二移料轨道（8）转动的第二驱动件（20）；/n所述第一移料轨道（7）用于将左滑台转移机构（2）或右滑台转移机构（3）上的挂具机构（4）转移至第一保持轨道（5）上，同时带动承载于第一保持轨道（5）上的挂具机构（4）步进式移动至右滑台转移机构（3）或左滑台转移机构（2）上；所述第二移料轨道（8）用于将右滑台转移机构（3）或左滑台转移机构（2）的挂具机构（4）转移至第二保持轨道（6），同时带动承载于第二保持轨道（6）上的挂具机构（4）步进式移动至左滑台转移机构（2）或右滑台转移机构（3）上；/n还包括并排设于机架（1）上的清洗槽（30）和清洗干燥槽（40），所述清洗槽（30）和清洗干燥槽（40）均位于第一保持轨道（5）或第二保持轨道（6）的下方，所述清洗干燥槽（40）的两内侧壁上设有喷气组件（50），所述喷气组件（50）用于对经过清洗后的晶圆进行干燥处理。/n...

【技术特征摘要】
1.一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，其特征在于，其特征在于，其特征在于（1）（1）（1），包括机架（1）、两个分别设于机架（1）左右两端的左滑台转移机构（2）和右滑台转移机构（3），以及多个挂具机构（4）、并排设于机架（1）上且位于左滑台转移机构（2）和右滑台转移机构（3）之间的第一保持轨道（5）和第二保持轨道（6），所述左滑台转移机构（2）和右滑台转移机构（3）均用于承载挂具机构（4）以及用于转移挂具机构（4），多个所述挂具机构（4）分别用于夹持定位住晶圆，所述第一保持轨道（5）转动设置有第一移料轨道（7），所述第二保持轨道（6）转动设置有第二移料轨道（8），所述第一保持轨道（5）上还固定有用于驱动第一移料轨道（7）转动的第一驱动件（10），所述第二保持轨道（6）上还固定有用于驱动第二移料轨道（8）转动的第二驱动件（20）；
所述第一移料轨道（7）用于将左滑台转移机构（2）或右滑台转移机构（3）上的挂具机构（4）转移至第一保持轨道（5）上，同时带动承载于第一保持轨道（5）上的挂具机构（4）步进式移动至右滑台转移机构（3）或左滑台转移机构（2）上；所述第二移料轨道（8）用于将右滑台转移机构（3）或左滑台转移机构（2）的挂具机构（4）转移至第二保持轨道（6），同时带动承载于第二保持轨道（6）上的挂具机构（4）步进式移动至左滑台转移机构（2）或右滑台转移机构（3）上；
还包括并排设于机架（1）上的清洗槽（30）和清洗干燥槽（40），所述清洗槽（30）和清洗干燥槽（40）均位于第一保持轨道（5）或第二保持轨道（6）的下方，所述清洗干燥槽（40）的两内侧壁上设有喷气组件（50），所述喷气组件（50）用于对经过清洗后的晶圆进行干燥处理。


2.根据权利要求1所述的一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，其特征在于，所述第一保持轨道（5）和第二保持轨道（6）的结构相同，所述第一保持轨道（5）和第二保持轨道（6）均包括两个并排且间隔设置的第一侧立板（60）以及两个对应设于两个第一侧立板（60）上的第二侧立板（70），第一侧立板（60）固定连接在机架（1）上，所述第二侧立板（70）固定在第一侧立板（60）的顶端；
所述第一移料轨道（7）与第二移料轨道（8）的结构相同，所述第一移料轨道（7）和第二移料轨道（8）均包括四个移料摆动架（80）以及两个移料定位板（90），四个所述移料摆动架（80）设于两个第一侧立板（60）之间、且呈矩形分布，所述移料摆动架（80）的一端转动连接在第一侧立板（60）上，所述移料摆动架（80）的另一端转动连接在移料定位板（90）上，每个所述移料定位板（90）的两端分别对应与移料摆动架（80）连接，所述第一驱动件（10）的输出端与第一移料轨道（7）的移料摆...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹七芳，
申请(专利权)人：荆门微田智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42