引线键合方法以及引线键合装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够抑制引线断裂的产生的引线键合方法。本发明专利技术的一个方式的引线键合方法通过使毛细管以及插通于所述毛细管的引线(1)与载置于XY载台的引脚的第2键合点(16)加压接触而使所述引线接合于所述引脚，在使所述毛细管与所述引脚加压接触的状态下使所述XY载台移动，使所述毛细管沿着包含多个圆弧部分的移动轨迹移动。

Wire bonding method and wire bonding device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】引线键合方法以及引线键合装置
本专利技术涉及引线键合方法以及引线键合装置。
技术介绍
在专利文献1中记载了以下的现有技术。准备键合装置，该键合装置包含：载置有设置有引脚面的键合对象的键合载台；被插通键合引线的毛细管；载置于键合载台的键合对象的引脚面，使毛细管以及插通于该毛细管的键合引线加压接触的加压接触单元；在使毛细管与引脚面加压接触时，在与毛细管的加压方向正交的方向上使毛细管以漩涡状旋转的擦拭(scrub)单元；和控制部。接下来，利用基于键合装置的控制部的指令的加压接触单元，使在载置于键合载台的键合对象的引脚面加压接触插通有键合引线的毛细管以及插通于该毛细管的键合引线。接下来，通过基于键合装置的控制部的指令(图9的(B)所示的X轴指令位置x以及Y轴指令位置y)的擦拭单元，在毛细管与引脚面加压接触时，使得毛细管在与毛细管的加压方向正交的方向上以漩涡状旋转。该漩涡状旋转是指，将毛细管与引脚面接触的位置作为基准位置，一边从该基准位置起扩大直径一边使毛细管以漩涡状旋转之后，一边缩小直径一边使毛细管以漩涡状旋转，而返回基准位置(参考图9的(A))。在此，对擦拭动作进行说明。图9的(A)是表示进行擦拭动作的毛细管的移动轨迹的图，图9的(B)是表示用于使X轴直线电动机以及Y轴直线电动机驱动的指令位置的图。另外，X轴直线电动机以及Y轴直线电动机是用于使键合头移动的单元。如图9的(A)所示，擦拭动作通过使X轴直线电动机以及Y轴直线电动机驱动来使保持于键合头的毛细管以漩涡状旋转，从而使毛细管相对于引脚面以漩涡状旋转。具体而言，将毛细管与引脚面接触时的位置作为基准位置(0、0)，一边使该旋转半径从该基准位置起扩大，一边使毛细管以漩涡状旋转，当该旋转半径成为最大时，一边使旋转半径缩小一边使毛细管以漩涡状旋转，使毛细管返回到基准位置。在上述的现有技术中，一边从基准位置起扩大直径一边使毛细管以漩涡状旋转后，一边缩小直径一边使毛细管以漩涡状旋转，因此，至少两处的毛细管通过相同的位置。其结果是，容易引起引线断裂，存在生产率降低的担心。在先技术文献专利文献专利文献1：JP专利第4595018号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术的一个方式的课题在于提供一种能够抑制引线断裂的产生的引线键合方法或引线键合装置。用于解决课题的手段以下，对本专利技术的各种方式进行说明。[1]一种引线键合方法，通过使毛细管以及插通于所述毛细管的引线与载置于XY载台的引脚加压接触，从而使所述引线接合于所述引脚，其特征在于，在使所述毛细管与所述引脚加压接触的状态下使所述XY载台移动，使所述毛细管沿着包含多个圆弧部分的移动轨迹移动。[2]根据上述[1]中的引线键合方法，其特征在于，所述毛细管沿着没有交叉部分的移动轨迹移动。[3]根据上述[1]或[2]中的引线键合方法，其特征在于，所述多个圆弧部分的长度被设定为越是位于所述移动轨迹的终点侧的圆弧部分则越长。[4]根据上述[1]至[3]的任一项中的引线键合方法，其特征在于，所述多个圆弧部分被配置为相邻的圆弧部分中的位于所述移动轨迹的终点侧的圆弧部分的始端和位于所述移动轨迹的起点侧的圆弧部分的终端接近，在所述移动轨迹中包含将所述终点侧的圆弧部分的始端和所述起点侧的圆弧部分的终端相连的连接部分，所述移动轨迹具有由所述多个圆弧部分和将各圆弧部分相连的连接部分形成的曲折形状。[5]根据上述[1]至[4]的任一项中的引线键合方法，其特征在于，在使所述XY载台移动之前或之后、或者使所述XY载台移动的同时，对所述毛细管施加超声波振动。[6]一种引线键合装置，其特征在于，具备：载置引脚的XY载台；使所述XY载台沿着X方向移动的机构；使所述XY载台沿着Y方向移动的机构；被插通引线的毛细管；使所述毛细管与所述引脚加压接触的机构；向所述毛细管施加超声波振动的机构；和对使得沿着所述X方向移动的机构、使得沿着所述Y方向移动的机构、使所述毛细管与所述引脚加压接触的机构、以及施加所述超声波振动的机构进行控制的控制部，所述控制部在使所述毛细管以及插通于所述毛细管的所述引线与载置于所述XY载台的引脚加压接触的状态下，使所述XY载台移动，对使得沿着所述X方向移动的机构以及使得沿着所述Y方向移动的机构进行控制，使得所述毛细管沿着包含多个圆弧部分的移动轨迹移动。[7]根据上述[6]中的引线键合装置，其特征在于，所述控制部在使所述毛细管以及所述引线与所述引脚加压接触的状态下，对使得沿着所述X方向移动的机构以及使得沿着所述Y方向移动的机构进行控制，使得所述毛细管曲折移动。[8]根据上述[6]或[7]中的引线键合装置，其特征在于，所述控制部在使所述XY载台移动之前或之后、或者使所述XY载台移动的同时，对施加所述超声波振动的机构进行控制，使得对所述毛细管施加超声波振动。[9]根据上述[1]至[5]中的任一项中的引线键合装置，其特征在于，所述多个圆弧部分的全部或一部分为同心圆的圆弧部分。专利技术效果根据本专利技术的一个方式，能够提供一种能够抑制引线断裂的产生的引线键合方法或引线键合装置。附图说明图1的(A)是表示毛细管的移动轨迹的图，(B)是表示在第2键合点16的引脚上接合有引线的形状的俯视图。图2是表示用于如图1的(A)所示的轨迹那样用于使XY载台38移动的X轴振幅和Y轴振幅、以及施加超声波的定时的图。图3是表示比较例的引线1的接合部的形状的俯视图。图4是表示本专利技术的一个方式所涉及的引线键合装置的示意图。图5是表示图4所示的引线键合装置的XY驱动机构11的立体图。图6的(A)是表示在图5所示的箭头100的方向观察的X轴驱动机构以及Y轴驱动机构的图，(B)是表示沿图5所示的箭头101的方向观察的X轴驱动机构以及Y轴驱动机构的图。图7的(A)～(D)是说明利用图4所示的引线键合装置进行引线键合的工序的图。图8是用于进一步具体说明将图7的(D)所示的引脚14和引线1接合的工序的图。图9的(A)、(B)是用于说明现有的引线键合方法的图。具体实施方式以下，使用附图对本专利技术的实施方式进行详细地说明。但是，本领域技术人员容易理解，本专利技术并不限定于以下的说明，在不脱离本专利技术的主旨以及其范围的情况下能够对其方式以及详细内容进行各种变更。因此，本专利技术不被解释为限定于以下所示的实施方式的记载内容。图4是表示本专利技术的一个方式所涉及的引线键合装置的示意图。该引线键合装置是将电极和引脚通过引线进行电连接的装置。另外，电极例如是半导体芯片的电极，引脚例如是引线框的引脚。图5是表示图4所示的引线键合装置的XY驱动机构11的立体图。图6的(A)是表示在图5所示的箭头100的方向观察的X轴驱本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种引线键合方法，通过使毛细管以及插通于所述毛细管的引线与载置于XY载台的引脚加压接触而使所述引线接合于所述引脚，/n所述引线键合方法的特征在于，/n在使所述毛细管与所述引脚加压接触的状态下使所述XY载台移动，使所述毛细管沿着包含多个圆弧部分的移动轨迹移动。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种引线键合方法，通过使毛细管以及插通于所述毛细管的引线与载置于XY载台的引脚加压接触而使所述引线接合于所述引脚，
所述引线键合方法的特征在于，
在使所述毛细管与所述引脚加压接触的状态下使所述XY载台移动，使所述毛细管沿着包含多个圆弧部分的移动轨迹移动。


2.根据权利要求1所述的引线键合方法，其特征在于，
所述毛细管沿着没有交叉的部分的移动轨迹移动。


3.根据权利要求1或2所述的引线键合方法，其特征在于，
所述多个圆弧部分的长度被设定为越是位于所述移动轨迹的终点侧的圆弧部分则越长。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的引线键合方法，其特征在于，
所述多个圆弧部分被配置为相邻的圆弧部分中的位于所述移动轨迹的终点侧的圆弧部分的始端和位于所述移动轨迹的起点侧的圆弧部分的终端接近，
在所述移动轨迹中包含将所述终点侧的圆弧部分的始端和所述起点侧的圆弧部分的终端相连的连接部分，
所述移动轨迹具有由所述多个圆弧部分和将各圆弧部分相连的连接部分形...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村荣二，铃木宏明，田代善一，
申请(专利权)人：株式会社海上，
类型：发明
国别省市：日本;JP