超声波喷淋清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种对清洗液施加超声波振动来进行清洗的超声波喷淋清洗装置，效率良好地对流道的清洗液施加超声波振动，能够在不会使清洗液扩散的情况下点状、线状地照射至被清洗物。本发明专利技术的超声波喷淋清洗装置1经由已施加超声波振动的清洗液75而对被清洗物77进行清洗，包括：供液口16，供给清洗液；流道48，从供液口中连续的流出清洗液；振动体20，构成流道的一部分而对清洗液施加超声波振动；以及喷出口47，从流道中喷出清洗液，并且振动体从流道的内部连续地突出于喷出口的外部。内部连续地突出于喷出口的外部。内部连续地突出于喷出口的外部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】超声波喷淋清洗装置


[0001]本专利技术涉及一种对清洗液施加超声波振动来进行清洗的超声波喷淋(shower)清洗装置，尤其涉及效率良好地对流道的清洗液施加超声波振动，能够在不会使清洗液扩散的情况下点状、线状地照射至被清洗物的超声波喷淋清洗装置。

技术介绍

[0002]之前，超声波清洗装置通常在清洗槽的下表面安装超声波振动器，将清洗液供给至清洗槽，将被清洗物浸渍于清洗槽中，从清洗槽的下表面施加超声波振动来进行清洗。
[0003]另外，在液晶面板或半导体晶片等的清洗中，已知一种喷淋型超声波清洗装置，其对清洗液施加超声波振动，喷淋状地喷出已施加超声波振动的清洗液，对这些被清洗物进行超声波清洗。
[0004]例如，专利文献1中公开有容易进行设置调整的点喷淋型超声波清洗装置，不需要严格地调整从喷嘴前端至被清洗物的距离。点喷淋型超声波清洗装置通过从喷嘴中对被清洗物喷出已施加超声波的清洗液，而去除颗粒等污垢。
[0005]根据专利文献1，点喷淋型超声波清洗装置包括：喷嘴，安装于框体的前端部；圆板状的超声波振动器，与喷嘴的后端部相向而本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种超声波喷淋清洗装置，经由已施加超声波振动的清洗液而对被清洗物进行清洗，其特征在于包括：供液口，供给所述清洗液；流道，从所述供液口中连续的流出所述清洗液；振动体，构成所述流道的一部分而对所述清洗液施加超声波振动；以及喷出口，从所述流道中喷出所述清洗液，并且所述振动体从所述流道的内部连续地突出于所述喷出口的外部。2.根据权利要求1所述的超声波喷淋清洗装置，其特征在于，所述清洗液沿着所述振动体的突出方向而流出。3.根据权利要求1所述的超声波喷淋清洗装置，其特征在于，所述喷出口构成为点状，并且所述超声波喷淋清洗装置为点喷淋...

【专利技术属性】
技术研发人员：平野孝祐，今関康博，
申请(专利权)人：株式会社海上，
类型：发明
国别省市：