超声波喷淋清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种对清洗液施加超声波振动来进行清洗的超声波喷淋清洗装置，效率良好地对流道的清洗液施加超声波振动，能够在不会使清洗液扩散的情况下点状、线状地照射至被清洗物。本发明专利技术的超声波喷淋清洗装置1经由已施加超声波振动的清洗液75而对被清洗物77进行清洗，包括：供液口16，供给清洗液；流道48，从供液口中连续的流出清洗液；振动体20，构成流道的一部分而对清洗液施加超声波振动；以及喷出口47，从流道中喷出清洗液，并且振动体从流道的内部连续地突出于喷出口的外部。内部连续地突出于喷出口的外部。内部连续地突出于喷出口的外部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】超声波喷淋清洗装置


[0001]本专利技术涉及一种对清洗液施加超声波振动来进行清洗的超声波喷淋(shower)清洗装置，尤其涉及效率良好地对流道的清洗液施加超声波振动，能够在不会使清洗液扩散的情况下点状、线状地照射至被清洗物的超声波喷淋清洗装置。

技术介绍

[0002]之前，超声波清洗装置通常在清洗槽的下表面安装超声波振动器，将清洗液供给至清洗槽，将被清洗物浸渍于清洗槽中，从清洗槽的下表面施加超声波振动来进行清洗。
[0003]另外，在液晶面板或半导体晶片等的清洗中，已知一种喷淋型超声波清洗装置，其对清洗液施加超声波振动，喷淋状地喷出已施加超声波振动的清洗液，对这些被清洗物进行超声波清洗。
[0004]例如，专利文献1中公开有容易进行设置调整的点喷淋型超声波清洗装置，不需要严格地调整从喷嘴前端至被清洗物的距离。点喷淋型超声波清洗装置通过从喷嘴中对被清洗物喷出已施加超声波的清洗液，而去除颗粒等污垢。
[0005]根据专利文献1，点喷淋型超声波清洗装置包括：喷嘴，安装于框体的前端部；圆板状的超声波振动器，与喷嘴的后端部相向而配置；以及清洗液的供液口，形成于框体的侧面，并且将喷嘴的喷出孔形成为直径固定的直线状圆孔。
[0006]对从供液口供给的清洗液施加从超声波振动器发射的超声波，从喷嘴的前端喷射清洗液而对配置于喷嘴的前方的被清洗物进行清洗。由此，从喷嘴发射的超声波不会形成焦点，因此不需要严格地调整从被清洗物至喷嘴前端的距离。
[0007]另外，专利文献2中公开有一种喷嘴喷淋式的超声波清洗装置，通过使液体从容器的喷出口流出而与被清洗部位接触，从而形成超声波的传播路径，通过超声波振动来清洗生物体等的被清洗部位。
[0008]根据专利文献2，喷嘴喷淋式的超声波清洗装置利用包含弹性体的O形环等保持构件，将在一端部侧安装超声波振动器且另一端部侧的端面成为超声波发射面的超声波传达体，在超声波发射面的附近气密性地保持固定于外壳的内周面。因此，不会由保持构件来抑制发射面的侧面的超声波振动，并且能够保持超声波传达体。另外，能够防止超声波传达体的侧面或超声波振动器的部分与液体接触，实现高效率化。
[0009]另外，专利文献2中，作为现有技术，在此文献的图12中公开有振动传达体露出于壳体的外部的超声波清洗装置。此现有技术也如所述文献的段落“0007”中所记载，使超声波清洗装置的振动面与浸渍于容器中的水中的被清洗物的被清洗部位直接接触，利用数十kHz左右的超声波的振动能量来去除污垢。即，此现有技术中，与点喷淋型超声波清洗装置不同，使进行超声波振动的振动面与被清洗部位直接接触来进行清洗。
[0010]另外，专利文献3中公开有一种流水式超声波清洗机喷嘴，包括：喷嘴本体，包括形成清洗液所流动的流道的一部分的前端变细形状的空洞部，且在空洞部的前端包括将空洞部内的清洗液喷出的喷出口；以及振动体，密合固定于超声波振动器的前端面，包含耐化学
品性的非金属无机材料，且占有空洞部的内部空间的一半以上的容积，并且构成为经由振动体的外表面与空洞部的内壁面的间隙来流动清洗液。
[0011]根据专利文献3，在流水式超声波清洗机中，经由振动体的外表面与空洞部的内壁面的间隙而流动的清洗液作为流水而从喷出口喷出，在喷出时，利用超声波振动器以及振动体，使超声波重叠于清洗液。在此情况下，利用振动体，空洞部的内部空间的大部分预先被掩埋。另外，密合固定于超声波振动器的振动体在振动时成为负荷，因此在空洞部内未装满清洗液的状态下，若为短时间，也能够容许空烧。
[0012]另外，已知内藏有振动体的其他现有的流水式超声波清洗装置。图7是表示内藏有振动体的现有的流水式超声波清洗装置的结构的剖面图。
[0013]如图7所示，流水式超声波清洗装置80包括：框体81；振动体84，收纳于框体81的内部；超声波振动器88，设置于振动体84的其中一面；供液口82，供给清洗液75；以及喷嘴部90，构成流道94的一部分。喷嘴部90与振动体84一并构成流道94。即，喷嘴部90在其内侧包括喷嘴内壁91，振动体84包括清洗液75的接触面即外周面87，由这些喷嘴内壁91及外周面87来构成流道，来自供液口82的清洗液75经由流道94而从喷嘴内壁91的前端的喷出口92喷出。
[0014]图7的流水式超声波清洗装置80虽以剖面图来表示，但在此情况下，除了构成为点状地喷出清洗液的点喷淋型流水式超声波清洗装置的情况以外，也能够构成为线状地喷出清洗液的线喷淋型流水式超声波清洗装置。
[0015]如图7所示，位于振动体84的前端部85且对清洗液施加超声波振动而喷出的振动面86形成于比形成喷出口92的喷嘴内壁91而言更靠框体81的内部侧。另外，专利文献3所公开的流水式超声波清洗机对经由振动体的外表面与空洞部的内壁面的间隙而流动的清洗液重叠超声波，清洗液作为流水而从喷出口喷出。喷出清洗液的喷出口设置于喷嘴本体的前端。
[0016]如上所述，如图7及专利文献3所示，现有的流水式超声波清洗装置利用振动体及喷嘴本体的空洞部而形成流道，或利用喷嘴部90的喷嘴内壁91与振动体84的外周面87而形成流道，来自流道的清洗液流动至振动体的前端部，来自振动体的前端部的振动面的清洗液从喷出口喷出。
[0017]现有技术文献
[0018]专利文献
[0019]专利文献1：日本专利第3256198号
[0020]专利文献2：日本专利第3938129号
[0021]专利文献3：日本专利第6507358号

技术实现思路

[0022]专利技术所要解决的问题
[0023]图7所示的现有的流水式超声波清洗装置80由于喷嘴部90的喷嘴内壁91与振动体84的外周面87的间隙形成流道94，故而由振动体84施加于清洗液75的超声波振动经由清洗液75而传播至喷嘴内壁91。
[0024]由此，由振动体84的振动面86施加至清洗液75的超声波振动传播至喷嘴内壁91而
衰减，在清洗液75衰减的状态下从喷出口92中排出至被清洗物77。因此，重叠超声波振动的清洗液的声压下降，导致减弱对被清洗物的清洗作用。
[0025]另外，通过清洗液75沿着喷嘴内壁91流动，有时会在振动体84的前端部85的表面或附近积存气泡。通过在振动体84的表面积存气泡，振动体84成为空烧状态，存在超声波振动器88发生故障的可能性。
[0026]另外，根据喷嘴部90的前端部分的喷出口92的宽度，会发生以下所示的不良情况。例如，在喷出口92宽的情况下，通过所喷出的清洗液75的直径或宽度扩大，从振动体84传播至清洗液75的超声波振动扩散，超声波振动的声压衰减。
[0027]进而，由于喷出口92宽，故而所喷出的清洗液发生扩散、不均等，为了对这些紊流进行整流而需要供给大量的清洗液，清洗液的供水量增多，因此消耗大量的清洗液。
[0028]另一方面，在喷出口92窄的情况下，由于已施加超声波振动的清洗液难以通过，故而结果为超声波振动减弱，对被本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种超声波喷淋清洗装置，经由已施加超声波振动的清洗液而对被清洗物进行清洗，其特征在于包括：供液口，供给所述清洗液；流道，从所述供液口中连续的流出所述清洗液；振动体，构成所述流道的一部分而对所述清洗液施加超声波振动；以及喷出口，从所述流道中喷出所述清洗液，并且所述振动体从所述流道的内部连续地突出于所述喷出口的外部。2.根据权利要求1所述的超声波喷淋清洗装置，其特征在于，所述清洗液沿着所述振动体的突出方向而流出。3.根据权利要求1所述的超声波喷淋清洗装置，其特征在于，所述喷出口构成为点状，并且所述超声波喷淋清洗装置为点喷淋...

【专利技术属性】
技术研发人员：平野孝祐，今関康博，
申请(专利权)人：株式会社海上，
类型：发明
国别省市：