【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】超声波振动子以及使用超声波振动子的超声波洗净装置
本专利技术涉及一种用以对液体施加超声波振动的超声波振动子以及使用超声波振动子的超声波洗净装置，且特别涉及一种小型且可进行低频的超声波振动的超声波振动子、以及使用所述超声波振动子的低频的点射丛(spotshower)型或洗净槽型的超声波洗净装置。
技术介绍
以往，超声波洗净装置通常在洗净槽的下表面安装超声波振动子，将洗净液供给于洗净槽并将被洗净物浸渍于洗净槽中，自洗净槽的下表面施加超声波振动而进行洗净。另外，在液晶面板或半导体晶片等的洗净中，已知有使洗净液与超声波一并以射丛(shower)状喷出，对这些被洗净物进行超声波洗净的射丛型超声波洗净装置。例如，在专利文献1中，公开有一种无须严格调整自喷嘴前端至被洗净物的距离而设置调整容易的点射丛型超声波洗净装置。点射丛型超声波洗净装置通过将施加有超声波的洗净液自喷嘴喷出至被洗净物，而将颗粒(particle)等污垢去除。根据专利文献1，点射丛型超声波洗净装置具有安装于框体的前端部的喷嘴(nozzle)、与喷嘴的后端部相向地配置的圆板状的超声波振动子、及形成于框体的侧面的洗净...
【技术保护点】
1.一种超声波振动子，用于对液体施加超声波振动，且所述超声波振动子的特征在于包括：板状的压电元件，具有扩展振动模式；以及振动构件，由远离所述压电元件的主面且与所述主面平行地配置并且与液体接触的振动面、与所述压电元件的侧面接触而固定所述压电元件的压电元件收纳部、及将所述振动面与所述压电元件收纳部连接的振动传递部所构成，所述振动构件通过所述振动面、所述压电元件收纳部及所述振动传递部而形成围绕所述主面的空间，所述振动面通过所述压电元件收纳部及所述振动传递部而使所述压电元件的振动传递，在与扩展振动模式的振动方向正交的方向上振动。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种超声波振动子，用于对液体施加超声波振动，且所述超声波振动子的特征在于包括：板状的压电元件，具有扩展振动模式；以及振动构件，由远离所述压电元件的主面且与所述主面平行地配置并且与液体接触的振动面、与所述压电元件的侧面接触而固定所述压电元件的压电元件收纳部、及将所述振动面与所述压电元件收纳部连接的振动传递部所构成，所述振动构件通过所述振动面、所述压电元件收纳部及所述振动传递部而形成围绕所述主面的空间，所述振动面通过所述压电元件收纳部及所述振动传递部而使所述压电元件的振动传递，在与扩展振动模式的振动方向正交的方向上振动。2.根据权利要求1所述的超声波振动子，其特征在于，所述超声波振动的振动频率为200kHz以下。3.根据权利要求2所述的超声波振动子，其特征在于，所述扩展振动模式为横效应的振动，且为长度振动、面积振动或径向振动。4.根据权利要求2所述的超声波振动子，其特征在于，所述压电元件构成为圆板状，所述振动构件构成为以所述振动面为前端的圆锥台状或圆柱状。5.根据权利要求2所述的超声波振动子，其...
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