晶圆盒抓取专用机械手制造技术

本实用新型专利技术揭示了一种晶圆盒抓取专用机械手，包括一L型固定板，所述L型固定板上垂直设置有支撑板；所述支撑板的一侧设置有马达；所述马达的输出轴穿过所述支撑板并通过联轴器与一偏心轴连接；所述偏心轴的两侧对称设置有两个旋转臂，所述旋转臂的第一端与所述支撑板垂直设置且两者间为枢轴连接，其相对于所述支撑板的第二端上固定有夹爪，所述马达驱动偏心轴转动，进而驱动两个旋转臂同时呈相反方向转动，使其夹爪产生夹持或松开动作。本实用新型专利技术的有益效果主要体现在：机械手的夹爪工作速度一致，能同时夹持物品且不会将被夹持物品碰倒；晶圆盒受力均匀，不至于损坏或者破裂。

Special manipulator for wafer box grabbing

【技术实现步骤摘要】
晶圆盒抓取专用机械手
本技术涉及半导体产品加工
，具体而言，尤其涉及一种晶圆盒抓取专用机械手。
技术介绍
晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆，而搬运该晶圆盒一般采用机械手来完成，因为机械手是机械抓取中最直接的执行结构，常见的机械手包括有液压夹持结构、气压夹持架构、机械连接杆结构等，但现有机械手的结构都较为单一，并且不够灵活，因此不能满足实际的需求。例如中国专利CN201110198571.7揭示了一种用于卸料机械手，其中通过两个气缸带动两个夹持头移动并对物品进行夹持，增强灵活性的同时又便于实际的使用。但是，由此也引出一些问题，例如上述结构中采用两个气缸带动夹持头夹持并移动物品，并不能保证两个气缸对物品的所施加的作用力相等，被夹持物品可能因一侧受力较大而致使物品损坏或者破裂；另外，上述结构中不能保证两个气缸能同时工作且速度相同，可能因两个气缸工作速度不同致使物品被一侧气缸碰倒。尤其是采用上述结构来抓取晶圆盒，触碰或者倾斜晶圆盒有可能会污染到晶圆，造成不必要的损失。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种晶圆盒抓取专用机械手。本技术的目的通过以下技术方案来实现：一种晶圆盒抓取专用机械手包括一L型固定板，所述L型固定板上垂直设置有支撑板；所述支撑板的一侧设置有马达；所述马达的输出轴穿过所述支撑板并通过联轴器与一偏心轴连接；所述偏心轴的两侧对称设置有两个旋转臂，所述旋转臂的第一端与所述支撑板垂直设置且两者间为枢轴连接，其相对于所述支撑板的第二端上固定有夹爪，所述马达驱动偏心轴转动，进而驱动两个旋转臂同时呈相反方向转动，使其夹爪产生夹持或松开动作。优选的，所述偏心轴由两个直径不一致的圆柱管组成，第一圆柱固设于第二圆柱中部段且所述第一圆柱与第二圆柱非同心设置，所述第一圆柱的直径大于所述第二圆柱的直径。优选的，所述两个旋转臂上临近其第一端处各固定有一导向块，所述导向块由所述偏心轴驱动而产生绕所述偏心轴的第二圆柱的轴线的旋转运动。优选的，所述导向块的固定端固定于所述旋转臂上，其自由端呈U型结构，所述偏心轴的第一圆柱置于所述U型结构的开口部。优选的，所述导向块的固定端通过螺栓夹持固定于所述旋转臂上。优选的，分别设置在所述两个旋转臂的导向块呈对称结构，各自的U型结构并排叉设在第一圆柱外侧。优选的，所述第一圆柱的两端分别套设有第一固定板和第二固定板用于限制所述偏心轴。优选的，所述旋转臂均穿过所述第二固定板，两者之间为轴承连接。优选的，所述夹爪下设置有一微动开关，用于感知所述夹爪是否夹取到晶圆盒。优选的，所述微动开关为距离传感器。本技术的有益效果主要体现在：1、机械手的夹爪工作速度一致，能同时夹持晶圆盒且不会将晶圆盒碰倒；2、晶圆盒受力均匀，不至于损坏或者破裂；3、提高工作效率，通过马达驱动旋转臂转动从而带动夹爪工作，因为马达工作速度快，所以一定程度上提高了工作效率。附图说明下面结合附图对本技术技术方案作进一步说明：图1：本技术的立体图；图2：本技术中偏心轴的结构示意图。具体实施方式以下将结合附图所示的具体实施方式对本技术进行详细描述。但这些实施方式并不限于本技术，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本技术的保护范围内。不限于本技术，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本技术的保护范围内。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。如图1至2所示，晶圆盒抓取专用机械手，包括一L型固定板1，所述L型固定板1可以是一体设置的，也可以是由两段固定板固定设置成L型；支撑板2垂直设置于所述L型固定板1的长端上；所述支撑板2的一侧设置有马达6用于驱动设备工作；所述马达6的输出轴穿过所述支撑板2并通过联轴器与一偏心轴4连接。具体如图2所示，所述偏心轴4由两个直径不一致的圆柱管组成，第一圆柱41固设于第二圆柱42中部段且所述第一圆柱41与第二圆柱42非同心设置，所述第一圆柱41的直径大于所述第二圆柱42的直径。两个旋转臂3对称设置在所述偏心轴4的两侧，所述旋转臂3的第一端与所述支撑板2垂直设置且两者间为枢轴连接，其相对于所述支撑板2的第二端上固定有夹爪31，所述夹爪31下设置有一距离传感器微动开关32，用于感知所述夹爪31是否夹取到晶圆盒。所述两个旋转臂3的第一端处各固定有一呈对称结构的导向块5，所述导向块5的固定端通过螺栓夹持固定于所述旋转臂3上，其自由端呈U型结构，所述偏心轴4的第一圆柱41置于所述U型结构的开口部内侧。导向块5的U型结构并排叉设在第一圆柱41外侧。所述导向块5由所述偏心轴4驱动而产生绕所述偏心轴4的第二圆柱42的轴线的旋转运动。所述第一圆柱41的两端分别套设有第一固定板411和第二固定板412用于限制所述偏心轴4。所述旋转臂3均穿过所述第二固定板412，两者之间为轴承连接。所述马达6驱动偏心轴4转动，进而驱动两个旋转臂3同时呈相反方向转动，使其夹爪31同时产生夹持或松开动作。整个设备通过马达驱动旋转臂转动从而带动夹爪工作，因为马达工作速度快，所以一定程度上提高了工作效率。旋转臂3同时由所述马达6驱动工作，两个旋转臂的工作速度一致，能同时晶圆盒，而且晶圆盒两侧同时受力，受力均匀不至于被损坏或者破裂，一定程度上保护了晶圆盒的完整性还延长了被夹持物的使用寿命。工作过程：在所述马达6通电后转动，所述偏心轴4通过联轴器的带动也将随之旋转。由于所述偏心轴4的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.晶圆盒抓取专用机械手，其特征在于：包括一L型固定板（1），所述L型固定板（1）上垂直设置有支撑板（2）；所述支撑板（2）的一侧设置有马达（6）；所述马达（6）的输出轴穿过所述支撑板（2）并通过联轴器与一偏心轴（4）连接；所述偏心轴（4）的两侧对称设置有两个旋转臂（3），所述旋转臂（3）的第一端与所述支撑板（2）垂直设置且两者间为枢轴连接，其相对于所述支撑板（2）的第二端上固定有夹爪（31），所述马达（6）驱动偏心轴（4）转动，进而驱动两个旋转臂（3）同时呈相反方向转动，使其夹爪（31）产生夹持或松开动作。/n

【技术特征摘要】
1.晶圆盒抓取专用机械手，其特征在于：包括一L型固定板（1），所述L型固定板（1）上垂直设置有支撑板（2）；所述支撑板（2）的一侧设置有马达（6）；所述马达（6）的输出轴穿过所述支撑板（2）并通过联轴器与一偏心轴（4）连接；所述偏心轴（4）的两侧对称设置有两个旋转臂（3），所述旋转臂（3）的第一端与所述支撑板（2）垂直设置且两者间为枢轴连接，其相对于所述支撑板（2）的第二端上固定有夹爪（31），所述马达（6）驱动偏心轴（4）转动，进而驱动两个旋转臂（3）同时呈相反方向转动，使其夹爪（31）产生夹持或松开动作。


2.根据权利要求1所述的晶圆盒抓取专用机械手，其特征在于：所述偏心轴（4）由两个直径不一致的圆柱管组成，第一圆柱（41）固设于第二圆柱（42）中部段且所述第一圆柱（41）与第二圆柱（42）非同心设置，所述第一圆柱（41）的直径大于所述第二圆柱（42）的直径。


3.根据权利要求2所述的晶圆盒抓取专用机械手，其特征在于：所述两个旋转臂（3）上临近其第一端处各固定有一导向块（5），所述导向块（5）由所述偏心轴（4）驱动而产生绕所述偏心轴（4）的第二圆柱（42）的轴线的旋转运动。


4.根据权利要求3所述的晶圆盒抓取专用...

【专利技术属性】
技术研发人员：高翔鹰，张少阳，裴文龙，陈晨，
申请(专利权)人：苏州芯矽电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32