本技术揭示了一种高安全性密封带压封装置，包括清洗机壳体以及开设在所述清洗机壳体上的滑槽，所述滑槽上滑动设有一滑板，所述滑板的宽度大于所述滑槽的宽度，所述滑板的两侧设有枢轴设置的下滚轴，所述滑板上固设有支杆，所述支杆上固设有支架，每一所述...

本技术揭示了一种高稳定性清洗机抛动装置，包括基座以及固设在其上的轴座，所述轴座上枢轴设有一转轴，所述基座上固设有一驱动源，所述驱动源的输出端上固设有一偏心轮，所述偏心轮上枢轴设有一驱动臂，所述驱动臂的另一端枢轴设有一传动臂，所述传动臂的...

本技术揭示了一种快捷式晶圆自动换蓝装置，包括机架，所述机架固设有固定板，每一所述固定板上均设有一花篮，所述花篮的下方设有用以将所述花篮内的晶圆顶升的顶升组件；所述花篮的上方设置在所述机架上用以将晶圆夹持的夹持组件，所述夹持组件可由驱动组...

本技术揭示了一种三通换向阀，包括阀体，所述阀体内开设有主腔体，所述主腔体的两侧分别设有侧腔体Ⅰ和侧腔体Ⅱ，所述侧腔体Ⅰ和侧腔体Ⅱ与所述主腔体之间通过连接通道连通，所述主腔体上开设有进液口，所述侧腔体Ⅰ上开设有出液口Ⅰ，所述侧腔体Ⅱ上开设...

本实用新型揭示了一种适用于卧式炉管清洗机的机械臂组件，包括支杆以及设置在其上用以将炉管夹持的挂钩，所述支架上枢轴设有左传动臂和右传动臂，所述左传动臂和右传动臂可由驱动组件驱动其同步竖直移动，所述驱动组件上还设有驱动所述右传动臂相对所述左...

本实用新型揭示了一种晶圆框抓取移载装置，包括用以承载晶圆框的承载座，所述承载座至少包括框体，所述框体上设有用以将晶圆框限位的限位组件，所述框体的两端设有用以将所述晶圆框固定的固定杆，所述固定杆呈L形，其竖直端与所述框体固接，其水平端上设...

本实用新型揭示了一种用于晶圆自动清洗移载装置，包括机架，所述机架上设有一组具有容置槽的容置块，每一所述容置槽内均设有一用以承载晶圆的承载框，所述承载框的两侧固设有传动臂，所述传动臂至少部分延伸置于所述容置槽外，且延伸置于所述容置槽外的所...

本实用新型揭示了一种蒸汽干燥机，包括顶端设置有放料口的壳体；所述壳体内形成有加热区和烘干区，两者之间通过油浴加热板隔离；所述放料口居中设置于所述烘干区的顶端，且两者连通；所述壳体的加热区侧壁上设置有用于注入IPA溶液的IPA进口，所述加...

本实用新型揭示了一种单片清洗机，包括底板，所述底板上设置有清洗槽，以及同轴设置于所述清洗槽内部且可自转的承载座；所述承载座四周并用于固定晶圆位置的锁紧装置；有一喷淋机构的喷淋管道贯穿所述清洗槽的外壁，所述喷淋管道由直线驱动机构驱动其沿所...

本实用新型揭示了一种供液回收管道，包括连接气源的充气管道，充气管道的输出端连接有至少一个供液桶，并插接至供液桶的输出口内；供液桶的输出口上连接有输出管道；输出管道的出口与一气液分离装置的输入口连接，分离装置上设置有三个输出口，三个输出口...

本实用新型揭示了一种半导体均匀镀镍装置包括机架，所述机架两端支杆底部设置有抛动机构，所述机架上设置有水浴槽，所述水浴槽内通过恒温机构/加热机构+温度感应机构控制水浴槽内水温，所述水浴槽的内部设置有镀镍槽，所述水浴槽与镀镍槽连接支杆，并随...

本实用新型揭示了一种全自动半导体化学品药液桶清洗装置包括机架，所述机架包括进料口和出料口，所述进料口至出料口之间设置有辊轮输送线，所述辊轮输送线的上方可移动、可升降地设置有夹持机构，所述夹持机构包括通过夹持气缸控制伸缩的夹爪，所述夹爪内...

本实用新型揭示了一种自动化电子级化学品灌装装置，包括机柜，所述机柜包括进口和出口，所述机柜内设置有传输机构、灌装机构以及夹持机构。本方案利用自动化电子级化学品灌装装置实现灌装过程的全自动化，灌装全过程无需人工操作，确保了电子级半导体化学...

本实用新型揭示了一种半导体晶圆同步传输装置包括，机架，所述机架上由上到下依次设置有晶圆操作工位、同步滑轨、第一同步机构、第二同步机构以及动力传输机构。本方案通过半导体晶圆同步传输装置实现同步运输不同工序工位的工件，每组夹持机构按顺序逐步...

本实用新型揭示了一种半导体晶圆盒自动清洗设备包括机体，所述机体上设置有进料口和出料口，所述进料口到出料口之间依次设置有清洗机构和烘干机构，所述清洗机构包括槽洗区和喷淋区，所述槽洗区靠近所述进料口，所述喷淋区包括冷水喷淋区和热水喷淋区；所...

本实用新型揭示了一种晶圆全自动抓取装置，包括抓取盘以及固设在所述抓取盘上的支撑座，所述支撑座上通过轴承套设有一固定座，所述固定座上设有至少两个呈对称结构设置且通过连杆组件与其连接的抓取件，所述抓取件可在所述抓取盘上同步面向或背向所述支撑...

本实用新型揭示了一种晶圆高效抓取装置，包括呈圆柱状的基座，所述基座外圆周面的四周均布有一组抓取块，所述抓取块上固设有一滑杆，所述滑杆至少部分贯穿所述基座延伸置于所述基座的容置腔内，所述基座上固设有一可上下移动的驱动件，所述驱动件可驱动所...

本实用新型揭示了一种石英管无动力清洗装置，包括一箱体；一承载机构，设置在所述箱体内，用以承载倒扣放置的石英管；一驱动组件，设置在所述承载机构的一侧，用以驱动所述承载机构自转；一多方位喷嘴，设置在所述承载机构上，用以对所述石英管的内壁进行...

本实用新型揭示了一种晶圆旋转清洗装置，包括基座以及开设在其上的容置空间，所述容置空间内配置有用以容置晶圆的承载组件，所述承载组件的下方设有枢轴设置在所述基座上用以驱动所述晶圆转动和震荡的转辊组件，所述转辊组件的外表面承靠所述晶圆的边缘，...

本实用新型揭示了一种晶圆盒高安全性全自动夹持装置，包括支撑板以及设置在其上可沿其中轴线滑动的机架，所述机架上设有一可沿其轴线上下移动的驱动壳体，所述驱动壳体上设有用以将晶圆盒夹持的夹持件，所述驱动壳体上绕设有一安全绳，所述安全绳的一端延...