本实用新型揭示了一种晶圆盒全自动夹持装置，包括机架，所述机架上设有一可沿其轴线上下移动的驱动壳体，所述驱动壳体上枢轴设有夹持轴，所述夹持轴上设有用以将晶圆盒夹持的夹持件，所述夹持轴可由设置在所述驱动壳体内的驱动组件驱动其相向或相背转动。...

本实用新型公开了一种用于晶圆干燥工艺中的氮气加热器，包括支撑板，所述支撑板的上表面通过螺丝螺纹连接有箱体，所述箱体的前表面安装有压力传感器，所述箱体的内侧壁固定连接有隔板，所述箱体的内侧壁固定连接有第一固定板，所述第一固定板的一侧安装有...

本实用新型揭示了一种石英管全自动化高洁净清洗装置，包括机架，所述机架上设有用以容置清洗液的清洗池和用以夹持石英管的夹持组件，所述夹持组件可由驱动组件驱动其相对所述清洗池上下移动；所述驱动组件上还固设有用以驱动所述夹持组件绕其枢轴点a转动...

本实用新型揭示了一种石英管逐级清洗装置，包括机架，所述机架上设有三个以上并列横置的清洗池和用以将石英管夹持的夹持组件，所述夹持组件可由驱动组件驱动其相对所述清洗池上下移动；所述机架上还设有用以将所述清洗池密封的封箱组件和用以驱动所述驱动...

本实用新型揭示了一种全自动化石英管清洗装置，包括箱体以及设置在所述箱体内用以承载倒扣放置的石英管的承载机构，所述承载机构的圆心设有一开口；所述开口下放置有喷头，可面向所述石英管的内壁进行喷淋；所述箱体上还设有驱动所述承载机构绕所述喷头转...

本实用新型揭示了一种晶圆换面防污装置，包括矩形的晶圆架，其上设置用于排列安放晶圆的直槽，直槽相互平行以致于晶圆相互之间也平行设置；第一旋升机构，设置在晶圆架的下方，用于驱动晶圆架整体升降或沿其中心轴向旋转；选择夹取机构，有选择地夹取一组...

本实用新型揭示了一种用于高密封性晶圆清洗槽，包括清洗腔，其上方设置有密封盖板，密封盖板上设有密封槽，清洗腔内放置有晶圆架；晶圆架两侧固定于一组平行设置的机械臂的下端；机械臂的上端连接驱动机构，机械臂的下端穿过密封槽并带动晶圆架在清洗腔中...

本实用新型揭示了一种硅片清洗用石英槽，包括具有方形结构的外槽和内槽，所述外槽和内槽套设呈双层结构，所述内槽的槽口面低于所述外槽的槽口面，所述内槽的槽口位置为锯齿结构，用于使所述内槽中的清洗液溢流至外槽中，所述外槽和内槽之间设置有循环管路...

本实用新型揭示了一种高强度石英管连接接头，包括具有中空腔的连接公头，所述中空腔依次由可将PFA管锁止的第一空腔、第二空腔以及可将石英管锁止的第三空腔组成，所述连接公头远离所述PFA管的一端上设有用以将所述石英管锁止在所述第三空腔上的锁止...

本实用新型揭示了一种晶圆盒抓取专用机械手，包括一L型固定板，所述L型固定板上垂直设置有支撑板；所述支撑板的一侧设置有马达；所述马达的输出轴穿过所述支撑板并通过联轴器与一偏心轴连接；所述偏心轴的两侧对称设置有两个旋转臂，所述旋转臂的第一端...

本实用新型揭示了一种高灵敏度微动开关，包括开关盒以及固设在其上的触动开关，其特征在于：所述开关盒的下方固设有一具有中空腔的固定块，所述中空腔内设有一与其相匹配且可沿其轴线上下滑动的滑杆；所述滑杆的第一端与所述触动开关的触头底面紧贴，第二...

本发明揭示了一种晶圆换面防污装置及方法，包括矩形的晶圆架，其上设置用于排列安放晶圆的直槽，直槽相互平行以致于晶圆相互之间也平行设置；第一旋升机构，设置在晶圆架的下方，用于驱动晶圆架整体升降或沿其中心轴向旋转；选择夹取机构，有选择地夹取一...

本发明揭示了一种石英钟全自动化高洁净清洗装置及方法，包括机架，所述机架上设有用以容置清洗液的清洗池和用以夹持石英钟的夹持组件，所述夹持组件可由驱动组件驱动其相对所述清洗池上下移动；所述驱动组件上还固设有用以驱动所述夹持组件绕其枢轴点a转...

本实用新型涉及一种可调式定位旋转气缸，包括缸体、旋转机构和驱动机构，缸体设有收容腔，旋转机构和驱动机构置于收容腔内，旋转机构套设在驱动机构上，本可调式定位旋转气缸还包括设置在旋转机构一端的多个可调节拆卸的感应装置和设置在另一端的制动装置...

本实用新型涉及一种蚀刻药液槽用冷却系统，包括压缩机、与压缩机分别相连的冷媒流出管路和冷媒流入管路、设置在药液槽内的双层冷却盘管、设置于药液槽底部的水平冷却盘管，在药液槽的槽体内设置有内外两层槽体，双层冷却盘管盘绕在内层槽体的内外两侧周面...