高强度石英管连接接头制造技术

本实用新型专利技术揭示了一种高强度石英管连接接头，包括具有中空腔的连接公头，所述中空腔依次由可将PFA管锁止的第一空腔、第二空腔以及可将石英管锁止的第三空腔组成，所述连接公头远离所述PFA管的一端上设有用以将所述石英管锁止在所述第三空腔上的锁止机构，所述锁止机构由所述连接公头和与所述连接公头螺纹连接的连接母头相互配合将其限位。本实用新型专利技术的有益效果主要体现在：卡套与石英管热压配合，待冷却后两者紧紧配合成一体，大大提高连接的可靠性，杜绝液体流出的现象。另外，拆卸更换更为简单，拧动连接公头和连接母头即可实现快速拆卸更换，极大地提高工作效率。

High strength quartz pipe joint

【技术实现步骤摘要】
高强度石英管连接接头
本技术涉及半导体
，具体地，涉及一种半导体材料清洗设备的连接接头，更具体地，涉及一种石英管连接接头。
技术介绍
在半导体行业中，硅片的清洗通常在石英槽中进行。如中国专利CN201110198571.7揭示的一种硅片清洗用双层石英槽，包括内槽和外槽两部分，其中，内槽里面放置有待清洗的硅片，外槽和内槽的底部开设有排液口，将硅片清洗后的废液从该排液口排出；外槽和内槽之间也设置有清洗液循环管路。由于用于硅片清洗的清洗液一般是酸性，所以石英槽的排液口及循环管路的管口也都是采用的是石英管。现有的连接方式是在石英管的外侧设有外螺纹，待连接的管路与石英管之间为螺纹连接，但是螺纹拧紧的时候会对石英管产生压力，石英管因此而破碎，导致整个石英槽报废，造成极大的浪费。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种高强度石英管连接接头。本技术的目的通过以下技术方案来实现：一种高强度石英管连接接头，包括具有中空腔的连接公头，所述中空腔依次由可将PFA管锁止的第一空腔、第二空腔以及可将石英管锁止的第三空腔组成，所述连接公头远离所述PFA管的一端上设有用以将所述石英管锁止在所述第三空腔上的锁止机构，所述锁止机构由所述连接公头和与所述连接公头螺纹连接的连接母头相互配合将其限位。优选的，所述锁止机构包括紧套设在所述石英管上的一卡套，所述卡套的内壁上固设有与其一体的凸环，所述石英管上设有可容置所述凸环的凹环。优选的，所述连接公头与所述卡套贴近的端面上设有一缺口，所述卡套至少部分延伸置于所述缺口内与所述连接公头紧贴。优选的，所述连接母头呈凹框结构，其连接端上设有与所述连接公头的阳螺纹相匹配的阴螺纹。优选的，所述连接母头的限位端上设有与一与所述石英管直径相同的贯穿孔。优选的，所述卡套远离所述连接公头的端面为斜面，所述限位端上设有一与所述斜面相匹配的斜槽。优选的，所述石英管和卡套为热压配合连接。优选的，所述卡套、连接母头以及连接公头均为PFA件。本技术的有益效果主要体现在：卡套与石英管热压配合，待冷却后两者紧紧配合成一体，大大提高连接的可靠性，杜绝液体流出的现象。另外，拆卸更换更为简单，拧动连接公头和连接母头即可实现快速拆卸更换，极大地提高工作效率。附图说明下面结合附图对本技术技术方案作进一步说明：图1：本技术的剖视图。具体实施方式以下将结合附图所示的具体实施方式对本技术进行详细描述。但这些实施方式并不限于本技术，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本技术的保护范围内。不限于本技术，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本技术的保护范围内。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。如图1所示，本技术揭示了一种高强度石英管连接接头，包括具有中空腔11的连接公头1，所述中空腔11依次由可将PFA管锁止的第一空腔15、第二空腔12以及可将石英管200锁止的第三空腔13组成，所述PFA管与第一空腔15之间的锁止结构为现有技术，因此在此就不做赘述。本技术中，所述连接公头1远离所述PFA管的一端上设有用以将所述石英管200锁止在所述第三空腔13上的锁止机构4，所述锁止机构4由所述连接公头1和与所述连接公头1螺纹连接的连接母头5相互配合将其限位。具体的，所述锁止机构4包括紧套设在所述石英管200上的一卡套41，所述卡套41的内壁上固设有与其一体的凸环42，所述石英管200上设有可容置所述凸环42的凹环43，所述石英管200和卡套41为热压配合，采用热压配合是利用两者热压冷却后两者紧紧配合成一体，大大提高连接的可靠性，杜绝液体流出的现象。所述凸环42和凹环43的设置对所述卡套41在所述石英管200上的位置精准定位。本技术的另一设计要点在于：所述连接母头5呈凹框结构，其连接端51上设有与所述连接公头1的阳螺纹相匹配的阴螺纹，所述连接母头5的限位端52上设有与一与所述石英管200直径相同的贯穿孔53。所述卡套41远离所述连接公头1的端面为斜面45，所述限位端52上设有一与所述斜面45相匹配的斜槽54。连接公头1与所述卡套41贴近的端面上设有一缺口14，所述卡套41至少部分延伸置于所述缺口14内与所述连接公头1紧贴。由所述斜面45和斜槽54相匹配以及所述卡套41延伸置于所述缺口14内与所述连接公头1紧贴配合，即可实现将卡套的精准限位。优选的，所述卡套41、连接母头5以及连接公头1均为PFA件，或其他材质，均属于本技术的保护范畴，不做具体限定。下面简单阐述一下本技术的工作过程：通过贯穿孔53将连接母头5套设在所述石英管200上后，将所述卡套41利用热压过盈配合套设在所述石英管200上，直至所述凸环42置于凹环43，再将所述连接母头5拧紧在所述连接公头1上，即可实现PFA管和石英管200的连通。当需要拆卸时，仅需拧动所述连接母头5即可完成拆卸。用于螺纹拧动仅仅限于母头5和连接公头1，不会对石英管200产生压力，因此就会防止石英管200受力破碎。应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本技术的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本技术的保护范围，凡未脱离本技术技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.高强度石英管连接接头，包括具有中空腔（11）的连接公头（1），所述中空腔（11）依次由可将PFA管锁止的第一空腔（15）、第二空腔（12）以及可将石英管（200）锁止的第三空腔（13）组成，其特征在于：所述连接公头（1）远离所述PFA管的一端上设有用以将所述石英管（200）锁止在所述第三空腔（13）上的锁止机构（4），所述锁止机构（4）由所述连接公头（1）和与所述连接公头（1）螺纹连接的连接母头（5）相互配合将其限位。/n

【技术特征摘要】
1.高强度石英管连接接头，包括具有中空腔（11）的连接公头（1），所述中空腔（11）依次由可将PFA管锁止的第一空腔（15）、第二空腔（12）以及可将石英管（200）锁止的第三空腔（13）组成，其特征在于：所述连接公头（1）远离所述PFA管的一端上设有用以将所述石英管（200）锁止在所述第三空腔（13）上的锁止机构（4），所述锁止机构（4）由所述连接公头（1）和与所述连接公头（1）螺纹连接的连接母头（5）相互配合将其限位。


2.根据权利要求1所述的高强度石英管连接接头，其特征在于：所述锁止机构（4）包括紧套设在所述石英管（200）上的一卡套（41），所述卡套（41）的内壁上固设有与其一体的凸环（42），所述石英管（200）上设有可容置所述凸环（42）的凹环（43）。


3.根据权利要求2所述的高强度石英管连接接头，其特征在于：所述连接公头（1）与所述卡套（41）贴近的端面上设有一缺口（14），所述卡套（41）至少部分延伸置于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：高翔鹰，张少阳，裴文龙，陈晨，
申请(专利权)人：苏州芯矽电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32