扩散炉用石英管装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种扩散炉用石英管装置，包括外层石英管、收容于外层石英管内部的内层石英管及向所述外层石英管和内层石英管通入气体的进气管，所述内层石英管内设有环形表面及位于环形表面内侧的腔室，所述环形表面上设有贯通所述腔室的开孔部，所述开孔部凸伸入所述腔室。本实用新型专利技术通过设置相互独立的内层石英管和外层石英管，使得拆卸、清洗更为便捷，而且利用内层石英管上特殊的开孔部结构，可改善扩散均匀性，而且在不更改扩散炉恒温区长度的情况下，还可以缩短石英舟片间距，增加产量。

Quartz tube device for diffusion furnace

The utility model provides a diffusion furnace device comprises an outer quartz tube, quartz tube, quartz tube contained in the outer layer of quartz tube and inlet internal to the outer quartz tube and inner quartz tube inlet gas tube, the inner surface of the quartz tube is provided with an annular ring and chamber located inside the surface. The annular surface of the chamber is provided with a through hole, the opening part convexly extending into the chamber. The utility model is provided with independent of the inner and outer quartz tube, quartz tube, the disassembly and cleaning more convenient, and the use of the inner quartz tube on the opening of the special structure, which can improve the uniformity of diffusion, and the diffusion length does not change under the condition of constant temperature zone furnace, shorten the quartz boat spacing can also. Increase production.

【技术实现步骤摘要】
扩散炉用石英管装置
本技术涉及光伏电池片制造领域，尤其涉及一种扩散炉用石英管装置。
技术介绍
扩散炉是光伏电池片生产工艺中重要的工艺设备之一，其主要用途是在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制硅片内杂质的类型、浓度和分布。目前，常见的扩散炉一般都具备石英管装置，从石英管的尾部进气，但是在实际应用中，时常因气体流动性差，导致炉内气体混合不均匀，从而使得扩散方阻的均匀性较差，烧结后的光伏电池片的效率降低。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供一种扩散炉用石英管装置，以改善光伏电池片扩散均匀性较差的问题。具体地，本技术是通过如下技术方案实现的：一种扩散炉用石英管装置，包括外层石英管、收容于外层石英管内部的内层石英管及向所述外层石英管和内层石英管通入气体的进气管，所述内层石英管内设有环形表面及位于环形表面内侧的腔室，所述环形表面上设有贯通所述腔室的开孔部，所述开孔部凸伸入所述腔室。进一步地，所述内层石英管与外层石英管均具有与所述进气管相邻的进气端，且内层石英管的进气端和外层石英管的进气端之间设有气体混合腔。进一步地，所述进气管连接至所述外层石英管的进气端，并连通所述气体混合腔，且所述进气管与所述外层石英管的中心位置对应设置，所述开孔部朝向所述外层石英管的中心位置凸伸入所述腔室内。进一步地，所述开孔部沿所述环形表面的圆周方向设置，并且沿内层石英管的长度方向分布。进一步地，所述内层石英管和外层石英管之间设有夹层间隙及位于夹层间隙内的支撑件。进一步地，所述扩散炉用石英管装置还包括排气管，所述排气管的高度低于所述进气管的高度。进一步地，所述内层石英管设有与所述排气管相邻的排气端，所述内层石英管的排气端设有朝向所述外层石英管延伸的延伸段，该延伸段通过所述夹层间隙抵接至所述外层石英管，使得所述夹层间隙的末端被所述延伸段封闭起来本技术通过设置相互独立的内层石英管和外层石英管，使得拆卸、清洗更为便捷，而且利用内层石英管上特殊的开孔部结构，可改善扩散均匀性，而且在不更改扩散炉恒温区长度的情况下，还可以缩短石英舟片间距，增加产量。附图说明图1是本技术所述扩散炉用石英管装置的结构简图。图2是本技术所述扩散炉用石英管装置的内部结构示意图。图3是本技术所述扩散炉用石英管装置另一角度的结构示意图。具体实施方式这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本技术相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本技术的一些方面相一致的装置和方法的例子。在本技术使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本技术。在本技术和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。应当理解，尽管在本技术可能采用术语第一、第二、第三等来描述各种信息，但这些信息不应限于这些术语。这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区分开。例如，在不脱离本技术范围的情况下，第一信息也可以被称为第二信息，类似地，第二信息也可以被称为第一信息。取决于语境，如在此所使用的词语“如果”可以被解释成为“在……时”或“当……时”或“响应于确定”。如图1至图3所示，本技术公开一种扩散炉用石英管装置，包括外层石英管10、收容于外层石英管10内部的内层石英管20及接入所述外层石英管10的进气管30和排气管40，其中，所述外层石英管10和内层石英管20均呈圆筒形结构，所述进气管30用于将气体通入所述外层石英管10和内层石英管20内，以下具体描述前述各个部件的详细结构。所述外层石英管10的长度大于所述内层石英管20的长度，且外层石英管10和内层石英管20均设有与所述进气管30相邻的进气端及与排气管40相邻的排气端，所述外层石英管10的进气端与内层石英管20的进气端未齐平设置，两者之间设有一气体混合腔11，该气体混合腔11位于外层石英管10内但位于内层石英管20外，其可使得气体均匀混合，并改善扩散方阻均匀性，而所述外层石英管10的排气端和内层石英管20的排气端则齐平设置。另外，所述内层石英管20内设有腔室21，且内层石英管20的环形表面上设有大量贯通所述腔室21的开孔部22，所述开孔部22沿所述环形表面的圆周方向设置，并且沿内层石英管20的长度方向分布，在本技术较佳实施例中，所述开孔部22的孔径优选为0.5-1.5cm，孔间距为1.5-3cm，这样设置的气体利用率更高，且所述开孔部22进一步向所述腔室21内凸伸，且凸伸的距离为1-2cm，这样设置有利于固定气体流向，使气体可更快捷地流向所述腔室21的中央区域，到达硅片中心处，增加扩散均匀性，而且在不更改扩散炉恒温区长度的情况下，还可以缩短石英舟片间距，增加产量。为了提高内外层石英管10的稳固性，所述内层石英管20和外层石英管10之间设有夹层间隙23及位于夹层间隙23内的支撑件24，所述夹层间隙23可供气流通过(气流方向如图2中箭头所示)，所述支撑件24固定于所述外层石英管10的内壁面上，用于支撑所述内层石英管20。所述内层石英管20的排气端设有朝向所述外层石英管10延伸的延伸段25，该延伸段25将内层石英管20和外层石英管10连接起来，使得所述夹层间隙23的末端被封闭起来，改善了内、外层石英管10、20之间的气密性。所述进气管30连接至所述外层石英管10的进气端，并连通所述气体混合腔11，且所述进气管30与所述外层石英管10的中心位置对应设置，所述排气管40连接至所述外层石英管10的排气端，且排气管40的高度低于所述进气管30。可见，本技术通过设置相互独立的内层石英管20和外层石英管10，使得拆卸、清洗更为便捷，而且利用内层石英管20上特殊的开孔部22结构，可改善扩散均匀性，而且在不更改扩散炉恒温区长度的情况下，还可以缩短石英舟片间距，增加产量。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术保护的范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扩散炉用石英管装置，其特征在于，包括外层石英管、收容于外层石英管内部的内层石英管及向所述外层石英管和内层石英管通入气体的进气管，所述内层石英管内设有环形表面及位于环形表面内侧的腔室，所述环形表面上设有贯通所述腔室的开孔部，所述开孔部凸伸入所述腔室。

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉用石英管装置，其特征在于，包括外层石英管、收容于外层石英管内部的内层石英管及向所述外层石英管和内层石英管通入气体的进气管，所述内层石英管内设有环形表面及位于环形表面内侧的腔室，所述环形表面上设有贯通所述腔室的开孔部，所述开孔部凸伸入所述腔室。2.如权利要求1所述的扩散炉用石英管装置，其特征在于，所述内层石英管与外层石英管均具有与所述进气管相邻的进气端，且内层石英管的进气端和外层石英管的进气端之间设有气体混合腔。3.如权利要求2所述的扩散炉用石英管装置，其特征在于，所述进气管连接至所述外层石英管的进气端，并连通所述气体混合腔，且所述进气管与所述外层石英管的中心位置对应设置，所述开孔部朝向所述外层石英管的中心位置凸伸...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫新春，陈军，夏正月，许涛，邢国强，
申请(专利权)人：阿特斯阳光电力集团有限公司，常熟阿特斯阳光电力科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32