用于扩散工序的源瓶制造技术

本实用新型专利技术提供了用于扩散工序的源瓶，其能充分利用源瓶内的三氯氧磷，节省生产成本。其包括瓶体，所述瓶体内腔通过竖板分隔成若干个独立的腔体，相邻的腔体的顶部相连通，所述瓶体的一侧的最外部的腔体上设置有顶部连通外部的第一进气管，其余的腔体内部分别设置有第二进气管，每个所述腔体的第二进气管的顶部分别连通一侧的腔体的顶部，所述第一进气管、第二进气管的下端分别位于对应腔体的底部位置，所述瓶体的另一侧的最外部的腔体的上部设置有出气管。

Source bottle for diffusion process

The utility model provides a source bottle for a diffusion process, which can make full use of the three oxychloride in the bottle and save the production cost. It comprises a bottle body, the bottle cavity is divided into a plurality of independent cavities through the top risers, adjacent cavity is communicated with the cavity, the external side of the bottle body arranged on the top of the first inlet pipe is communicated with an external cavity, the rest are respectively provided with second inlet pipe, the top of the cavity at the top of each of the the second cavity inlet pipe are respectively communicated with the side of the bottom of the position of the first inlet pipe, inlet pipe second are located in the corresponding cavity, the upper cavity of the other side of the outside of the bottle body is provided with a gas outlet pipe.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶体硅太阳能电池的
，具体为用于扩散工序的源瓶。
技术介绍
目前，P型晶体硅太阳能电池制造的扩散工序中，需要用三氯氧磷作为扩散源。三氯氧磷在常温下为液态，需存储在源瓶中。扩散时，源瓶放置在20度的恒温水箱中，通过载气将挥发的三氯氧磷气体带入扩散炉中。源瓶的结构如图1所示，包括玻璃瓶体、进气管和出气管，进气管与外围气体相连，出气管通入扩散炉中。由于源瓶内液体量的多少，影响到输出的载气中三氯氧磷的含量，从而影响到扩散。当源瓶内液位高度低于1cm时，输出的载气中三氯氧磷量已稀少，此时，需要将源瓶退还厂家，购买一瓶新的磷源。而源瓶内剩余的1cm高的三氯氧磷相当于浪费掉了，这无疑增加了生产成本。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提供了用于扩散工序的源瓶，其能充分利用源瓶内的三氯氧磷，节省生产成本。用于扩散工序的源瓶，其特征在于：其包括瓶体，所述瓶体内腔通过竖板分隔成若干个独立的腔体，相邻的腔体的顶部相连通，所述瓶体的一侧的最外部的腔体上设置有顶部连通外部的第一进气管，其余的腔体内部分别设置有第二进气管，每个所述腔体的第二进气管的顶部分别连通一侧的腔体的顶部，所述第一进气管、第二进气管的下端分别位于对应腔体的底部位置，所述瓶体的另一侧的最外部的腔体的上部设置有出气管。其进一步特征在于：所述第一进气管、第二进气管、出气管均垂直向布置；相邻的所述腔体的顶部连通位置上凸，形成通气空腔；优选地，一块竖板将瓶体分隔为左侧腔体、右侧腔体，所述左侧腔体、右侧腔体的相邻的顶部位置相连通，所述左侧腔体内设置有第一进气管，所述第一进气管的顶部上凸于所述左侧腔体，所述右侧腔体内设置有第二进气管，所述第二进气管的顶部连通所述通气空腔，所述右侧腔体的上部设置有出气管。采用本技术后，由于瓶体内腔通过竖板分隔成若干个独立的腔体，靠近进气管的腔体内的磷源被逐次耗尽，当气路上的最后一个腔体剩余1cm高的磷源时，再更换源瓶，从而可以更充分的利用磷源，节约成本。附图说明图1为现有的源瓶结构示意图；图2为本技术的结构示意图；图中各序号所对应的标注名称如下：瓶体1、竖板2、第一进气管3、第二进气管4、出气管5、通气空腔6、左侧腔体7、右侧腔体8、三氯氧磷溶液9。具体实施方式用于扩散工序的源瓶，见图2：其包括瓶体1，瓶体1内腔通过竖板2分隔成若干个独立的腔体，相邻的腔体的顶部相连通，瓶体2的一侧的最外部的腔体上设置有顶部连通外部的第一进气管3，其余的腔体内部分别设置有第二进气管4，每个腔体的第二进气管4的顶部分别连通一侧的腔体的顶部，第一进气管3、第二进气管4的下端分别位于对应腔体的底部位置，瓶体的另一侧的最外部的腔体的上部设置有出气管5。第一进气管3、第二进气管4、出气管5均垂直向布置；相邻的腔体的顶部连通位置上凸，形成通气空腔6；具体实施例、见图2，一块竖板2将瓶体1分隔为左侧腔体7、右侧腔体8，左侧腔体7、右侧腔体8的相邻的顶部位置相连通、形成通气空腔6，左侧腔体7内设置有第一进气管3，第一进气管3的顶部上凸于左侧腔体7，右侧腔体8内设置有第二进气管4，第二进气管4的顶部连通通气空腔6，右侧腔体8的上部设置有出气管5，图中阴影面域内为三氯氧磷溶液9。以上对本技术的具体实施例进行了详细说明，但内容仅为本技术创造的较佳实施例，不能被认为用于限定本技术创造的实施范围。凡依本技术创造申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本专利涵盖范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于扩散工序的源瓶，其特征在于：其包括瓶体，所述瓶体内腔通过竖板分隔成若干个独立的腔体，相邻的腔体的顶部相连通，所述瓶体的一侧的最外部的腔体上设置有顶部连通外部的第一进气管，其余的腔体内部分别设置有第二进气管，每个所述腔体的第二进气管的顶部分别连通一侧的腔体的顶部，所述第一进气管、第二进气管的下端分别位于对应腔体的底部位置，所述瓶体的另一侧的最外部的腔体的上部设置有出气管。

【技术特征摘要】
1.用于扩散工序的源瓶，其特征在于：其包括瓶体，所述瓶体内腔通过竖板分隔成若干个独立的腔体，相邻的腔体的顶部相连通，所述瓶体的一侧的最外部的腔体上设置有顶部连通外部的第一进气管，其余的腔体内部分别设置有第二进气管，每个所述腔体的第二进气管的顶部分别连通一侧的腔体的顶部，所述第一进气管、第二进气管的下端分别位于对应腔体的底部位置，所述瓶体的另一侧的最外部的腔体的上部设置有出气管。2.如权利要求1所述的用于扩散工序的源瓶，其特征在于：所述第一进气管...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱军辉，缪乾，王雪亮，程芳，陆佳，罗茂盛，张俊鹏，
申请(专利权)人：江阴鑫辉太阳能有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32