【技术实现步骤摘要】
本技术属于一种高温耐火产品
，具体涉及一种在制备太阳电 池过程中使用的石英炉管。
技术介绍
太阳电池在制备过程中必须通过掺杂形成PN结，通常有杂质扩散、离子 注入等方式，杂质扩散是最常用的PN结制备方法。在太阳电池制造行业，杂 质扩散工艺通常采用国产化设备，使用直径150 — 300mm不等的石英炉管在炉 膛尾部收尾的方式接入各种工艺气体，通入的气体从炉膛尾部通向炉膛口， 在炉管尾部的扩散气氛相对于炉管口处要重一些，在横向上掺杂氛围浓度存 在不均匀分布，因此影响到杂质扩散效果的均匀性。另外，由于推舟机构速 度较慢，靠近炉尾处的硅片在高温下的时间相对炉口处的硅片时间要长，引 起炉尾处硅片的扩散程度浓度高，也引起了批次间的不均匀性，直接对太阳 能电池光电转换效率有影响，因此造成产品扩散均匀性差，制造成本高，使 用寿命短等问题。
技术实现思路
本技术要解决的问题是在制备太阳电池的过程中提高杂质扩散均匀 性，本技术为解决问题提出一种制备太阳电池的石英炉管，该石英炉管 是将通常使用的封口式石英炉管改造为两端开口的形式，其通过开口处安装 两根细长的小石英气管固定在炉管内壁上...
【技术保护点】
制备太阳电池的石英炉管，其特征在于，石英炉管［１］为两端开口的高纯度石英玻璃制体，其内壁装有两根细长的小石英气管［２］；所述小石英气管［２］上设有均匀分布的气孔，工艺气体通过均匀分布的气孔进入气腔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郭唯博，李达非，
申请(专利权)人：上海太阳能科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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