一种扩散源瓶制造技术

技术编号:15673596 阅读:70 留言:0更新日期:2017-06-22 22:24
本实用新型专利技术公开了一种扩散源瓶,包括源瓶本体,所述源瓶本体的相对的两端均开设有通气孔,一端的通气孔连接进气管,另一端的通气孔连接出气管,所述出气管的连接的通气孔的位于底部,所述进气管的连接的通气孔的位于顶部。在实际使用的时候,不需要区分进气管和出气管与源瓶本体上的通气孔的连接关系,将进气管和出气管分别连接在源瓶本体的两端的通气孔上,再放置源瓶本体,使与进气管连接的通气孔位于下端,与出气管连接的通气孔位于上端即可,使用方便,不存在连接出错的问题,避免了危险,且进气管和出气管直接连接在通气孔,不需要深入到源瓶本体中,气体直接从源瓶本体的底端的通气孔直接进入溶液中,能最大限度的利用溶液,减少浪费。

Diffusion source bottle

The utility model discloses a diffusion source bottle, including the source of the bottle body, the opposite ends of the source bottle body are provided with vent holes, one end of the ventilation hole connected with the intake pipe and the vent hole on the other end connected with the air outlet pipe, the outlet pipe of the air vent connection is located at the bottom, at the top of the the air inlet pipe is connected to the vent. In actual use, do not need to distinguish between the intake pipe and a vent pipe and the connection between the body source on the bottle, the ventilation hole inlet pipe and the air outlet pipe are respectively connected with both ends of the bottle body of the source, then placed the source bottle body, and the intake pipe ventilation hole is connected in the lower end, convenient use with a vent pipe is connected at the upper end of the can, and there is no connection error problem, avoid the risk, and the intake pipe and the air outlet pipe is directly connected to the vent, do not need to go deep into the source of the bottle body, the vent gas directly from the source of the bottom of the bottle body directly into the solution, can use the solution to the maximum, reduce waste.

【技术实现步骤摘要】
一种扩散源瓶
本技术涉及太阳能电池片生产设备
,尤其涉及一种扩散源瓶。
技术介绍
太阳能电池片的生产工艺中,包括扩散工序,即:在P型硅的表面上渗透一层很薄的磷层,使该表面变成N型,成为PN结。其基本原理是通过气体(通常选用氮气)携带三氯氧磷(POCl3)溶液进入扩散炉管,使之反应生成磷沉淀在表层,磷在高温下渗透入硅片内部从而形成N区。现有的用于装载三氯氧磷(POCl3)溶液的扩散源瓶如图1所示,包括源瓶本体1′,源瓶本体1′的上端布置有进气管2′和出气管3′,进气管2′一般伸入到源瓶本体1′的底部,气体通过进气管2′进入溶液中形成气泡,气泡在上升的过程中携带POCl3的蒸气分子,脱离液面后,POCl3的蒸气分子经过出气管进入扩散炉管,在进气管2′和出气管3′上还设置有阀门4′。为了使得气泡容易携带POCl3的蒸气分子,气泡在溶液中需要较长的行程,因此进气管2′会比较接近瓶底,且位于进气管2′底部的溶液无法通过气泡带入到出气管3′中,因此,为避免浪费,进气管2′会尽量靠近瓶底。在实际使用过程中,进气管2′和出气管3′与源瓶本体1′上的进气口和出气口的连接关系不能出错,一旦接错后,本文档来自技高网...
一种扩散源瓶

【技术保护点】
一种扩散源瓶,其特征在于,包括源瓶本体(1),所述源瓶本体(1)的相对的两端均开设有通气孔(2),一端的所述通气孔(2)连接进气管(3),另一端的所述通气孔(2)连接出气管(4),工作时,所述出气管(4)连接的所述通气孔(2)位于上端,所述进气管(3)连接的所述通气孔(2)位于下端。

【技术特征摘要】
1.一种扩散源瓶,其特征在于,包括源瓶本体(1),所述源瓶本体(1)的相对的两端均开设有通气孔(2),一端的所述通气孔(2)连接进气管(3),另一端的所述通气孔(2)连接出气管(4),工作时,所述出气管(4)连接的所述通气孔(2)位于上端,所述进气管(3)连接的所述通气孔(2)位于下端。2.如权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述源瓶本体(1)的两端的所述通气孔(2)对称设置。3.如权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,两个所述通气孔(2)分别设置在源瓶本体(1)的顶面和底面。4.如权利要求3所述的扩散源瓶,其特征在于,所述源瓶本体(1)的两端的所述通气孔(2)到所述源瓶本体(1)的中部均形成横截面逐渐变大的漏斗形结构(5)。5.如权利要求4所述的扩散源瓶,其特征在于,所述漏斗形结构(5)的圆锥角为60°到75°。...

【专利技术属性】
技术研发人员:晏文春党继东郑旭然刘东旭李栋
申请(专利权)人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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