【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳电池制造
,尤其涉及一种扩散源喷涂机。
技术介绍
在晶体硅太阳电池制造过程中,通过扩散工艺形成PN结是非常关键的步骤。扩 散工艺包括链式扩散或管式扩散,链式扩散具有工艺简单高效的优点。由于业界通常使用 P型掺杂的硅片制造晶体硅太阳电池,在链式扩散设备中进行扩散制结时,通常先通过扩散 源喷涂机在硅片表面喷涂磷酸水溶液。现有技术中,扩散源喷涂机采用滚轴传动,在滚轴上 套装有一定数量的用于支撑硅片的滚轮环,滚轮环采用橡胶材料制成,滚轴转动时,滚轮环 通过与硅片之间的摩擦力驱动硅片向前勻速运动,同时硅片上方的喷头将磷酸水溶液均勻 喷涂在硅片上。在具体生产过程中,前后两块硅片之间难免会存在间隙,会有少量的磷酸喷 到滚轴上的橡胶滚轮环上,随后传动来的硅片的背面会粘附有少量磷酸;硅片经过后续的 PECVD (等离子体增强化学气相沉积)镀氮化硅膜工序后,硅片背面粘附有磷酸的部位会产 生白斑,导致硅片因外观不合格而降级,造成大量返工,严重影响生产,增加了硅片的生产 成本。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中存在的不足,提供一种扩散源喷涂机,所 述喷涂机的滚轮环不易粘附磷酸,可以有效克服硅片背面产生白斑的问题,并提高硅片外 观合格率。按照本技术提供的技术方案,扩散源喷涂机,包括滚轴,滚轴上套装有用于支 撑和传送硅片的滚轮环,所述滚轮环采用氟素塑料制成。优选地,所述氟素塑料包括聚四氟乙烯和聚偏氟乙烯。优选地,所述扩散源为磷酸水溶液。优选地,所述滚轮环依靠自身弹性箍紧在滚轴上。本技术与现有技术相比,优点在于滚轮环采用氟素塑料制成,磷酸不易粘附 在滚轮 ...
【技术保护点】
1.扩散源喷涂机,包括滚轴(1),滚轴(1)上套装有用于支撑和传送硅片(3)的滚轮环(2),其特征在于:所述滚轮环(2)采用氟素塑料制成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陈彦博,高琦,左凯峰,
申请(专利权)人:无锡尚德太阳能电力有限公司,
类型:实用新型
国别省市:32
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