一种用于晶圆干燥工艺中的氮气加热器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆干燥工艺中的氮气加热器，包括支撑板，所述支撑板的上表面通过螺丝螺纹连接有箱体，所述箱体的前表面安装有压力传感器，所述箱体的内侧壁固定连接有隔板，所述箱体的内侧壁固定连接有第一固定板，所述第一固定板的一侧安装有内联加热器，所述内联加热器的两端均均匀安装有红外线加热管，所述箱体的内侧壁连通有第一管体，所述第一管体的一端贯穿所述箱体的外侧壁，所述第一管体的一端贯穿所述隔板的外侧壁且连通于所述内联加热器的进气口，在本装置的使用当中，通过压力调节阀和流量计的配合使用，可以使得氮气在加热的过程当中，流量的可控，可视，便于工作人员的调整。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆干燥工艺中的氮气加热器
本技术涉及氮气加热
，具体为一种用于晶圆干燥工艺中的氮气加热器。
技术介绍
在晶圆清洗以后，为了避免在晶圆上留下水渍，一般采用浓缩大量高纯氮气的气态的异丙基乙醇IPA吹扫晶圆表面进行干燥处理。异丙基乙醇是无色透明液体，沸点是65.3℃，为了保持异丙基乙醇的气态，高纯氮气也需加热。现有的氮气在加热的过程当中时长会出现压力过高的问题，而现有的氮气加热器在进行加热的过程当中并不能很好的对氮气加热时产生的压力进行控制，并且当氮气加热压力过大时也并不能及时的给予工作人员提示，一旦压力出现过高的现象，可能会造成很严重的损失，为此，提出一种用于晶圆干燥工艺中的氮气加热器。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种用于晶圆干燥工艺中的氮气加热器。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于晶圆干燥工艺中的氮气加热器，包括支撑板，所述支撑板的上表面通过螺丝螺纹连接有箱体，所述箱体的前表面安装有压力传感器，所述箱体的内侧壁固定连接有隔板，所述箱体的内侧壁固定连接有第一固定板，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶圆干燥工艺中的氮气加热器，包括支撑板（1），其特征在于：所述支撑板（1）的上表面通过螺丝螺纹连接有箱体（2），所述箱体（2）的前表面安装有压力传感器（3），所述箱体（2）的内侧壁固定连接有隔板（8），所述箱体（2）的内侧壁固定连接有第一固定板（9），所述第一固定板（9）的一侧安装有内联加热器（10），所述内联加热器（10）的两端均均匀安装有红外线加热管（11），所述箱体（2）的内侧壁连通有第一管体（6），所述第一管体（6）的一端贯穿所述箱体（2）的外侧壁，所述第一管体（6）的一端贯穿所述隔板（8）的外侧壁且连通于所述内联加热器（10）的进气口，所述支撑板（1）的上表面安装有压力调...

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆干燥工艺中的氮气加热器，包括支撑板（1），其特征在于：所述支撑板（1）的上表面通过螺丝螺纹连接有箱体（2），所述箱体（2）的前表面安装有压力传感器（3），所述箱体（2）的内侧壁固定连接有隔板（8），所述箱体（2）的内侧壁固定连接有第一固定板（9），所述第一固定板（9）的一侧安装有内联加热器（10），所述内联加热器（10）的两端均均匀安装有红外线加热管（11），所述箱体（2）的内侧壁连通有第一管体（6），所述第一管体（6）的一端贯穿所述箱体（2）的外侧壁，所述第一管体（6）的一端贯穿所述隔板（8）的外侧壁且连通于所述内联加热器（10）的进气口，所述支撑板（1）的上表面安装有压力调节阀（12），所述压力调节阀（12）的进气口连通于所述箱体（2）的内侧壁，所述压力调节阀（12）的出气口连通有第三管体（27），所述支撑板（1）的上表面固定连接有安全阀（13），所述安全阀（13）的出气端连通有第二管体（14），所述第三管体（27）远离所述压力调节阀（12）的一端连通于所述安全阀（13）的进气口，所述箱体（2）的前表面通过螺丝螺纹连接有流量计（4），所述箱体（2）的前表面安装有控制器（26），所述箱体（2）的前表面安装有显示器（28），所述箱体（2）的前表面固定连接有蜂鸣器（5），所述第一管体（6）的外侧壁安装有单向阀（7）。

【专利技术属性】
技术研发人员：高翔鹰，裴文龙，陈晨，张少阳，谷晓东，
申请(专利权)人：苏州芯矽电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32