本发明专利技术属于半导体烘箱技术领域，尤其是一种半导体烘箱氮气调节装置，针对没有对氮气进行加热的问题，现提出以下方案，包括底板，所述底板的顶部外壁设置有氮气瓶、加热箱和烘干箱，且加热箱的一侧外壁设置有电子气泵，电子气泵的输入端和加热箱的一侧内壁设置有同一个第三导辊，所述氮气瓶的输出端和加热箱的顶部内壁设置有同一个第一导管，且加热箱的内壁两侧均设置有加热器。本发明专利技术通过设置有加热器、电子气泵、加热箱、喷气盘、喷头、第五导管、第四导管、第一电磁阀和第二电磁阀，在对半导体进行烘干时，打开加热器和电子气泵，将加热后的氮气导入到烘干箱中，既可以起到对半导体进行烘干的作用又可以防止半导体被氧化。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体烘箱氮气调节装置
本专利技术涉及半导体烘箱
，尤其涉及一种半导体烘箱氮气调节装置。
技术介绍
目前，在半导体生产时，需要对半导体半成品进行干燥，半导体半成品在空气中干燥极容易发生氧化，因此，工业生产时，在烘箱内加入氮气以防止半导体半成品氧化。经检索，中国专利授权号为CN104896908B的专利，公开了一种半导体烘箱氮气调节装置，包括箱体、前门、支架、内胆、进气接口、氮气调节阀、风机、托盘。上述专利还存在有以下不足之处：在将氮气导入到烘箱时，刚释放出来的氮气的温度较低，会降低烘箱内部的温度，导致半导体烘干的效果较差，不能够很好的对半导体进行烘干，降低了烘箱的烘干质量。
技术实现思路
基于
技术介绍
中提出的在将氮气导入到烘箱时，刚释放出来的氮气的温度较低，会降低烘箱内部的温度，导致半导体烘干的效果较差，不能够很好的对半导体进行烘干，降低了烘箱的烘干质量的技术问题，本专利技术提出了一种半导体烘箱氮气调节装置。本专利技术提出的一种半导体烘箱氮气调节装置，包括底板，所述底板的顶部外壁设置有氮气瓶、加热箱和烘干箱，且加热箱的一侧外壁设置有电子气泵，电子气泵的输入端和加热箱的一侧内壁设置有同一个第三导辊，所述氮气瓶的输出端和加热箱的顶部内壁设置有同一个第一导管，且加热箱的内壁两侧均设置有加热器，所述烘干箱的内壁两侧均设置有喷气盘，且喷气盘的一侧外壁设置有等距离分布的喷头，喷头的倾斜角度各不相同，所述喷气盘的一侧内壁设置有第二导管，且第二导管的另一端设置于电子气泵的输出端，所述烘干箱的一侧内壁设置有第五导管，且第五导管的另一端通过三通管连接有两个规格相同的第四导管，第四导管的一侧外壁分别设置有第一电磁阀和第二电磁阀。优选地，所述烘干箱的顶部内壁设置有温度传感器，且烘干箱的一侧外壁设置有显示屏，显示屏的信号输入端通过信号线连接有处理器，温度传感器的信号输出端和处理器的信号输入端通过信号线相连接。优选地，所述烘干箱的底部内壁两侧均设置有风机，且风机均为倾斜结构。优选地，所述烘干箱的内壁设置有等距离分布的透气放置板，且透气放置板的顶部外壁设置有大小规格不同的半导体放置槽。优选地，所述加热箱的顶部外壁设置有电机，且电机的输出轴通过联轴器连接有转杆，转杆的外壁两侧均设置有不规则分布的横杆，横杆的另一端设置有第一搅拌杆。优选地，所述第一搅拌杆为弧形结构，且第一搅拌杆的一侧外壁设置有连接板。优选地，所述连接板为折线形结构，且连接板的一侧外壁开设有等距离分布的大小不同的过滤孔。优选地，所述横杆的一侧外壁设置有连接杆，且连接杆的一侧外壁设置有大小规格相互交错分布的搅拌块，连接杆的另一侧外壁设置有Y形搅拌杆。优选地，所述横杆的一侧外壁设置有搅拌环，且横杆的一侧外壁设置有开口方向相反的弧形杆，搅拌环为三角形的环状结构。优选地，还包括设置于烘干箱一侧内壁的阻流箱，所述阻流箱的顶部外壁和底部外壁分别开设有等距离分布的出气口和进气口，且阻流箱的内壁设置有等距离分布的阻流通道，阻流通道为折线形结构。本专利技术中的有益效果为：1、该便于对氮气加热的氮气调节装置，通过设置有加热器、电子气泵、加热箱、喷气盘、喷头、第五导管、第四导管、第一电磁阀和第二电磁阀，在对半导体进行烘干时，打开加热器和电子气泵，将加热后的氮气导入到烘干箱中，既可以起到对半导体进行烘干的作用又可以防止半导体被氧化，喷头的角度各不相同可对烘干箱内部的各个地方的半导体进行烘干，通过第五导管和第四导管可将加热后的气体重新导入到加热箱中，氮气的重复利用产生的流动可加速半导体的烘干效果。2、该便于对氮气加热的氮气调节装置，通过设置有电机、转杆、连接板、第一搅拌杆、横杆、搅拌框、搅拌块、弧顶杆和Y形搅拌杆，打开电机，电机带动转杆进行转动，进而横杆和第一搅拌杆开始旋转，可将氮气进行充分的混合加热，连接板的一侧外壁开设有等距离分布的大小不同的过滤孔，搅拌环为三角形的环状结构和Y形搅拌杆在进行旋转时可产生不同大小不同高度和不同形状的漩涡，可有效的对氮气进行混合，均匀加热的氮气可提高半导体的烘干效果。3、该便于对氮气加热的氮气调节装置，通过设置有风机，风机设置在烘干箱底部内壁两侧，打开风机可将加热后的氮气在烘干箱的内部进行充分的混合，另外通过设置有阻流通道、阻流箱、进气口和出气口，阻流通道为折线型结构，阻流箱和阻流通道可有效降低氮气的流动速度，提高氮气在烘干箱内部的停留时间，进一步的提高半导体的烘干效果，提高了装置的实用性。该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。附图说明图1为本专利技术实施例1提出的一种半导体烘箱氮气调节装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例1提出的一种半导体烘箱氮气调节装置的搅拌框的结构示意图；图3为本专利技术实施例1提出的一种半导体烘箱氮气调节装置的过滤孔的结构示意图；图4为本专利技术实施例1提出的一种半导体烘箱氮气调节装置的半导体放置槽的结构示意图；图5为本专利技术实施例2提出的一种半导体烘箱氮气调节装置的阻流箱的结构示意图。图中：1底板、2氮气瓶、3第一导管、4加热箱、5连接板、6加热器、7电机、8转杆、9第一搅拌杆、10第二导管、11横杆、12第三导管、13电子气泵、14第四导管、15第一电磁阀、16第二电磁阀、17第五导管、18温度传感器、19喷头、20显示屏、21喷气盘、22风机、23透气放置板、24搅拌框、25弧形杆、26搅拌块、27连接杆、28Y形搅拌杆、29过滤孔、30半导体放置槽、31进气口、32出气口、33阻流箱、34阻流通道。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。实施例1参照图1-4，一种半导体烘箱氮气调节装置，包括底板1，底板1的顶部外壁设置有氮气瓶2、加热箱4和烘干箱，且加热箱4的一侧外壁通过螺钉固定有电子气泵13，电子气泵13的输入端和加热箱4的一侧内壁通过法兰连接有同一个第三导辊12，氮气瓶2的输出端和加热箱4的顶部内壁通过法兰连接有同一个第一导管3，且加热箱4的内壁两侧均通过螺钉固定有加热器6，烘干箱的内壁两侧均通过螺钉固定有喷气盘21，且喷气盘21的一侧外壁通过螺钉固定有等距离分布的喷头19，喷头19的倾斜角度各不相同，喷气盘21的一侧内壁通过法兰连接有第二导管10，且第二导管10的另一端设置于电子气泵13的输出端，烘干箱的一侧内壁通过法兰连接有第五导管17，且第五导管17的另一端通过三通管连接有两个本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种半导体烘箱氮气调节装置，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的顶部外壁设置有氮气瓶(2)、加热箱(4)和烘干箱，且加热箱(4)的一侧外壁设置有电子气泵(13)，电子气泵(13)的输入端和加热箱(4)的一侧内壁设置有同一个第三导辊(12)，所述氮气瓶(2)的输出端和加热箱(4)的顶部内壁设置有同一个第一导管(3)，且加热箱(4)的内壁两侧均设置有加热器(6)，所述烘干箱的内壁两侧均设置有喷气盘(21)，且喷气盘(21)的一侧外壁设置有等距离分布的喷头(19)，喷头(19)的倾斜角度各不相同，所述喷气盘(21)的一侧内壁设置有第二导管(10)，且第二导管(10)的另一端设置于电子气泵(13)的输出端，所述烘干箱的一侧内壁设置有第五导管(17)，且第五导管(17)的另一端通过三通管连接有两个规格相同的第四导管(14)，第四导管(14)的一侧外壁分别设置有第一电磁阀(15)和第二电磁阀(16)。/n
【技术特征摘要】
1.一种半导体烘箱氮气调节装置，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的顶部外壁设置有氮气瓶(2)、加热箱(4)和烘干箱，且加热箱(4)的一侧外壁设置有电子气泵(13)，电子气泵(13)的输入端和加热箱(4)的一侧内壁设置有同一个第三导辊(12)，所述氮气瓶(2)的输出端和加热箱(4)的顶部内壁设置有同一个第一导管(3)，且加热箱(4)的内壁两侧均设置有加热器(6)，所述烘干箱的内壁两侧均设置有喷气盘(21)，且喷气盘(21)的一侧外壁设置有等距离分布的喷头(19)，喷头(19)的倾斜角度各不相同，所述喷气盘(21)的一侧内壁设置有第二导管(10)，且第二导管(10)的另一端设置于电子气泵(13)的输出端，所述烘干箱的一侧内壁设置有第五导管(17)，且第五导管(17)的另一端通过三通管连接有两个规格相同的第四导管(14)，第四导管(14)的一侧外壁分别设置有第一电磁阀(15)和第二电磁阀(16)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体烘箱氮气调节装置，其特征在于，所述烘干箱的顶部内壁设置有温度传感器(18)，且烘干箱的一侧外壁设置有显示屏(20)，显示屏(20)的信号输入端通过信号线连接有处理器，温度传感器(18)的信号输出端和处理器的信号输入端通过信号线相连接。
3.根据权利要求2所述的一种半导体烘箱氮气调节装置，其特征在于，所述烘干箱的底部内壁两侧均设置有风机(22)，且风机(22)均为倾斜结构。
4.根据权利要求3所述的一种半导体烘箱氮气调节装置，其特征在于，所述烘干箱的内壁设置有等距离分布的透气放置板(23)，且透气放置板(23)的顶部外壁设置有大小规格不同的半...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯丽新，顾洪军，李士军，周婧，
申请(专利权)人：吉林农业大学，
类型：发明
国别省市：吉林;22
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