【技术实现步骤摘要】
芯片带检测装置
本专利技术涉及半导体
,特别涉及一种芯片带检测装置。
技术介绍
芯片是智能芯片卡上一个非常重要的配件,芯片的制作过程中有一个工序为晶圆的封装,该工序是把晶圆焊接到金属层表面上,并在焊接完成后对晶圆表面加注一层胶,把晶圆保护起来。目前,芯片加工设备在这个工序完成后就直接把产品收为成品,将芯片包装在编带内形成芯片带,方便运输。没有对晶圆焊接和加注保护胶后的位置及高度进行检测,这样就会导致芯片的晶圆的位置及高度参数差异性较大,最终造成整个芯片高度不合格。智能芯片卡有一个芯片封装工序,即是把芯片安装到卡体对应的凹槽上,当芯片的位置及高度与这个凹槽的位置及深度不匹配时,晶圆就会受到挤压,直接导致晶圆损坏,使得智能芯片卡的废品率增高。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本专利技术提出一种芯片带检测装置,能够检测芯片带上的芯片的位置以及高度参数是否合格,间接测出芯片晶圆的封装是否合格,及时提醒人员调整晶圆封装的参数,有郊地提高了芯片卡的合格率。根据本专 ...
【技术保护点】
1.一种芯片带检测装置,其特征在于,包括:/n压盖(100),所述压盖(100)上开设有若干个导向孔(110);/n检测座(200),所述检测座(200)上设有与所述导向孔(110)相匹配的定位柱(210),所述检测座(200)上表面可和所述压盖(100)下表面贴合,所述检测座(200)上表面开设有若干个可容纳芯片的凹槽(220),所述凹槽(220)的深度大小和所述芯片的最大设计高度大小一致。/n
【技术特征摘要】
1.一种芯片带检测装置,其特征在于,包括:
压盖(100),所述压盖(100)上开设有若干个导向孔(110);
检测座(200),所述检测座(200)上设有与所述导向孔(110)相匹配的定位柱(210),所述检测座(200)上表面可和所述压盖(100)下表面贴合,所述检测座(200)上表面开设有若干个可容纳芯片的凹槽(220),所述凹槽(220)的深度大小和所述芯片的最大设计高度大小一致。
2.根据权利要求1所述的芯片带检测装置,其特征在于:所述压盖(100)在与所述凹槽(220)对应的位置设有镂空结构(120),所述镂空结构(120)的镂空图案和所述芯片的外形相互匹配。
3.根据权利要求1或2所述的芯片带检测装置,其特征在于:所述压盖(100)上表面设有连接槽(130),所述连接槽(130)的底面和所述压盖(100)的下表面平行。
4.根据权利要求1所述的芯片带检测装置,其...
【专利技术属性】
技术研发人员:何思博,涂祥佳,程治国,
申请(专利权)人:东信和平科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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