【技术实现步骤摘要】
用于对准纳米管的晶圆
本揭露涉及晶圆。
技术介绍
最近,纳米碳管(carbonnanotube,CNT)已用于场效晶体管(fieldeffecttransistors,FETs)。纳米碳管具有圆柱形几何形状,直径约1纳米(nm),并且可以提供优异的电学和机械性能。多种将纳米碳管放置在基板(substrate)上的方法已被使用。某些方法会导致纳米碳管随机性的放置(placement)、导向(orientation)或聚集成束(bundling)。
技术实现思路
本揭露的一实施方式提供一种用于对准纳米管的晶圆,包含:多个对准区以及多个间隔区。所述多个对准区具有第一极性的第一表面电荷,所述多个对准区的各对准区具有四个边缘、第一对角线介于第一顶点与第二顶点之间、以及第二对角线介于第三顶点与第四顶点之间,第一对角线沿第一方向延伸,第二对角线是短于第一对角线。所述多个间隔区具有第二极性的第二表面电荷,第二极性与第一极性不同,所述多个对准区的各对准区的所述四个边缘邻接所述多个间隔区的至少一间隔区。附图说 ...
【技术保护点】
1.一种用于对准纳米管的晶圆,其特征在于,包含:/n多个对准区,具有一第一极性的一第一表面电荷,所述多个对准区的各该对准区具有四个边缘、一第一对角线介于一第一顶点与一第二顶点之间、以及一第二对角线介于一第三顶点与一第四顶点之间,该第一对角线沿一第一方向延伸,该第二对角线是短于该第一对角线;以及/n多个间隔区,具有一第二极性的一第二表面电荷,该第二极性与该第一极性不同,所述多个对准区的各该对准区的所述四个边缘邻接所述多个间隔区的至少一该间隔区。/n
【技术特征摘要】
20180927 US 62/737,792;20190501 US 16/401,0421.一种用于对准纳米管的晶圆,其特征在于,包含:
多个对准区,具有一第一极性的一第一表面电荷,所述多个对准区的各该对准区具有四个边...
【专利技术属性】
技术研发人员:堤姆斯·文森,荷尔本·朵尔伯斯,马库斯琼斯亨利库斯·范达尔,麦特西亚斯帕斯拉克,
申请(专利权)人:台湾积体电路制造股份有限公司,
类型:发明
国别省市:中国台湾;71
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