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提供可用于对准纳米碳管的晶圆，以及制备和使用纳米碳管的方法。这种晶圆包括具有四个侧边和表面电荷的对准区，其中对准区被具有不同极性的表面电荷的区域围绕。本揭露的一些实施方式的方法可以包括在基板上沉积并选择性地蚀刻多个硬罩幕。所述的方法还可以包...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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