【技术实现步骤摘要】
真空镀膜机抽气系统上具有导流作用的节流阀
本技术涉及真空镀膜机的
，尤其是涉及一种真空镀膜机抽气系统上具有导流作用的节流阀。
技术介绍
真空镀膜机是一种在真空密闭环境中对产品表面进行镀膜的设备，真空镀膜机包括：充气系统、镀膜部与抽气系统,充气系统设置在镀膜部的一侧，用于对镀膜部内部空间进行充气，抽气系统设置在镀膜部的另一侧，用于将存在于镀膜部内部空间中的气体抽走，镀膜部内部空间中环境的保持是通过充气系统的充气量与抽气系统的抽气量来达到的。抽气系统包括：抽气管、抽气泵与节流阀，抽气管与镀膜部连接，抽气泵与抽气管远离镀膜部的一端连接，节流阀设置在抽气管上且处于镀膜部与抽气泵之间，节流阀是用来控制流量的，节流阀包括方形管与栅格板，栅格板设置有若干，若干栅格板并排安装在方形管中，节流阀是通过若干栅格板并排放置在方形管中并可以进行转动来达到控制节流阀通断的目的的，在节流阀在需要通气时，若干栅格板一起向一个方向开始转动，形成向一个方向倾斜的状态，使得相邻栅格板之间形成空隙供气体流过。上述中的现有技术方案存在以下缺陷...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜机抽气系统上具有导流作用的节流阀，包括方形管(1)与栅格板，所述栅格板设置有若干，若干栅格板并排设置在所述方形管(1)中，其特征在于，若干所述栅格板分别定义为第一栅格板(2)与第二栅格板(6)，还包括：驱动腔(3)、第一驱动组件(4)与第二驱动组件(5)，所述驱动腔(3)设置在所述方形管(1)一端，所述第一栅格板(2)与所述第二栅格板(6)的同一端进入所述驱动腔(3)中并与所述驱动腔(3)侧壁转动连接，所述第一驱动组件(4)与所述第二驱动组件(5)均设置在所述驱动腔(3)中，所述第一驱动组件(4)驱动所述第一栅格板(2)转动，所述第二驱动组件(5)驱动所述第...
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机抽气系统上具有导流作用的节流阀，包括方形管(1)与栅格板，所述栅格板设置有若干，若干栅格板并排设置在所述方形管(1)中，其特征在于，若干所述栅格板分别定义为第一栅格板(2)与第二栅格板(6)，还包括：驱动腔(3)、第一驱动组件(4)与第二驱动组件(5)，所述驱动腔(3)设置在所述方形管(1)一端，所述第一栅格板(2)与所述第二栅格板(6)的同一端进入所述驱动腔(3)中并与所述驱动腔(3)侧壁转动连接，所述第一驱动组件(4)与所述第二驱动组件(5)均设置在所述驱动腔(3)中，所述第一驱动组件(4)驱动所述第一栅格板(2)转动，所述第二驱动组件(5)驱动所述第二栅格板(6)向所述第一栅格板(2)相反的方向转动。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机抽气系统上具有导流作用的节流阀，其特征在于，所述第一栅格板(2)靠近所述驱动腔(3)一端设置有第一连接杆(21)，所述第二栅格板(6)靠近所述驱动腔(3)一端设置有第二连接杆(61)，所述第一连接杆(21)、所述第二连接杆(61)均与所述驱动腔(3)侧壁转动连接。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜机抽气系统上具有导流作用的节流阀，其特征在于，所述第一驱动组件(4)包括：第一齿轮(41)、第一齿条(42)与气缸(43)，所述第一齿轮(41)固定套设在所述第一连接杆(21)上，所述第一齿条(42)滑动设置在所述驱动腔(3)中并与所述第一齿轮(41)啮合，所述气缸(43)设置在方形管(1)上且活塞杆与所述第一齿条(42)一端固定连接，所述气缸(43)活塞杆的伸缩方向与所述第一齿条(42)的延伸方向相同。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜机抽气系统上具有导流作用的节流阀，其特征在于，所述第二驱动组件(5)包括：第二齿轮(51)、第二齿条(52)与翘杆(53)，所述第二齿轮(51)固定...
【专利技术属性】
技术研发人员：张德军，
申请(专利权)人：深圳市创基真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。