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本实用新型涉及一种真空镀膜机抽气系统上具有导流作用的节流阀，其包括方形管与栅格板，栅格板设置有若干，若干栅格板并排设置在方形管中，其特征在于，若干栅格板分别定义为第一栅格板与第二栅格板，还包括：驱动腔、第一驱动组件与第二驱动组件，驱动腔设置...
该专利属于深圳市创基真空科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市创基真空科技有限公司授权不得商用。

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