内腔式磁控溅射镀膜室的装配式结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种内腔式磁控溅射镀膜室的装配式结构，包括内部可供镀膜管通过的连续镀膜室，所述连续镀膜室由外至内分别设有固定套管、环形的磁铁与环形的靶材，所述固定套管的两端设有真空密封阀，并且设有贯通内外的抽气口与布气管；所述靶材具有数个并且沿镀膜室的轴向拼接，相邻的靶材用绝缘条相互隔绝，数个靶材均连接有外部电源；所述磁铁呈片状，在镀膜室的轴向上依次层叠，与各个靶材分别对应布置。本实用新型专利技术可根据需镀膜层的不同要求，设计不同长度的靶材及其组合，然后根据靶材的组成情况，装配于相应长度的固定套管内，而磁铁也可根据靶材长度层叠至相应长度位置，提高内腔式镀膜设备的适应性。

Assembly structure of inner cavity magnetron sputtering coating chamber

【技术实现步骤摘要】
内腔式磁控溅射镀膜室的装配式结构
本技术涉及一种磁控溅射镀膜设备，特别是涉及一种槽式镜面集热管磁控溅射镀膜设备，属于太阳能光热生产设备领域。
技术介绍
目前，聚光型太阳能集热器按照接收器的形状不同，主要分为槽式、塔式、碟式以及复合抛物面式几种类型，其中槽式聚光系统是目前国内外开发利用最多的一种集热器类型，主要是因为其具有安装方便，结构简单，安全且可靠性高等优点。太阳能槽式集热器在太阳能利用系统中占据主导地位，它为系统提供热源，其效率和投资成本会影响到整个集热系统的效率和经济性。太阳能集热器作为太阳能热利用的主要元件，具有十分广泛的应用价值，但相比之下，太阳能槽式集热器比传统的太阳能集热器具有更高的热效率，尤其在热发电领域具有相当成熟的应用技术。槽式集热器是一种利用的是光热转化方式，通过聚焦、反射和吸收等过程实现光能到热能的转化，使换热介质达到一定温度，以满足不同负载的需求的集热装置。槽式集热器属于中高温集热器的范畴，可以使换热工质得到比较高的温度，可被用到热发电、海水淡化处理、供暖工程、吸收式制冷等生活和生产领域。由于太本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种内腔式磁控溅射镀膜室的装配式结构，其特征在于：包括内部可供镀膜管通过的连续镀膜室，所述连续镀膜室由外至内分别设有固定套管、环形的磁铁与环形的靶材，其中：/n所述固定套管的两端设有真空密封阀，并且设有贯通内外的抽气口与布气管；/n所述靶材具有数个并且沿镀膜室的轴向拼接，相邻的靶材用绝缘条相互隔绝，数个靶材均连接有外部电源；/n所述磁铁呈片状，在镀膜室的轴向上依次层叠，与各个靶材分别对应布置。/n

【技术特征摘要】
1.一种内腔式磁控溅射镀膜室的装配式结构，其特征在于：包括内部可供镀膜管通过的连续镀膜室，所述连续镀膜室由外至内分别设有固定套管、环形的磁铁与环形的靶材，其中：
所述固定套管的两端设有真空密封阀，并且设有贯通内外的抽气口与布气管；
所述靶材具有数个并且沿镀膜室的轴向拼接，相邻的靶材用绝缘条相互隔绝，数个靶材均连接有外部电源；
所述磁铁呈片状，在镀膜室的轴向上依次层叠，与各个靶材分别对应布置。


2.根据权利要求1所述的内腔式磁控溅射镀膜室的装配式结构，其特征在于：在连续镀膜室的一端连通有进管室，另一端连通...

【专利技术属性】
技术研发人员：李峰，薛道荣，韩成明，李强，刘子毓，
申请(专利权)人：河北道荣新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13